8月24日,，作為中國電科布局“電科裝備”和“電科能源”品牌領(lǐng)域的扛旗單位，中電科電子裝備集團有限公司（簡稱電科裝備）正式發(fā)布了“SEMICORE爍科”系列品牌,，用以“打造爍科裝備,，鑄就國芯基石”。

集成電路芯片及其制造技術(shù)是信息時代的基石,，是保障國家安全和國防建設(shè)的戰(zhàn)略性資源,。面向國家戰(zhàn)略需求，在中國電科“1+8”品牌體系建設(shè)的部署下,，電科裝備集團形成了中國電科“電科裝備—裝備制造”領(lǐng)域和“電科能源”領(lǐng)域第一個民品品牌,，“SEMICORE爍科”應(yīng)運而生。

公司董事長,、黨委書記劉濟東介紹說,，“爍”,，有熾熱,、錘煉之意，象征著公司能吃苦,、講奉獻,、肯堅守的“十年磨一劍”裝備精神；“爍”又有光彩閃耀之意，蘊含著將爍科品牌打造成國家裝備領(lǐng)域“大國重器”的決心與信心,?！翱啤保却碇袊娍频纳矸?；又有科技之意,，喻示公司將承載勇于創(chuàng)新、以科技追求卓越的精神,。同時英文名稱“SEMICORE”則代表公司要牢牢把握核心技術(shù)這個關(guān)鍵,，立志成為半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)核心企業(yè)的責任擔當。

在統(tǒng)一品牌的基礎(chǔ)上,，公司形成了“爍科裝備SEMICORE-EQ（裝備制造）”,、“爍科紅太陽 SEMICORE-RS（光伏能源）”、“爍科國際 SEMICORE-INT（國際業(yè)務(wù)）”三大品牌,，旨在展現(xiàn)公司在國家電子工藝裝備研發(fā),、制造及服務(wù)領(lǐng)域的技術(shù)能力和行業(yè)地位。

隨著品牌的發(fā)布,，爍科電子裝備有限公司也正式成立,。后續(xù)，爍科電子裝備有限公司將以國資委“雙百行動”為契機,，充分利用國家和中國電科相關(guān)改革政策,，先行先試，大膽探索,，實施股權(quán)多元化,，開展骨干員工股權(quán)激勵，引入外部戰(zhàn)略投資者,，建立符合半導(dǎo)體裝備發(fā)展規(guī)律的現(xiàn)代企業(yè)管理體制,；同時實施科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)投資“雙輪驅(qū)動”，搭建裝備研發(fā)與工藝驗證平臺,，持續(xù)聚集行業(yè)領(lǐng)軍人才,、海內(nèi)外優(yōu)秀人才，不斷突破集成電路裝備核心技術(shù),，推動離子注入機,、CMP（化學機械拋光）等裝備進入生產(chǎn)線批量應(yīng)用，實現(xiàn)進口替代,、自主可控,，具備國際競爭能力。

聚焦離子注入機和CMP

電科裝備總經(jīng)理王斌表示,，將把離子注入機和CMP設(shè)備注入爍科裝備,。目前，電科裝備的離子注入機和CMP設(shè)備在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位。

離子注入機是集成電路制造的核心設(shè)備,，用于將粒子注入到半導(dǎo)體材料中,，從而控制半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能，進而形成PN結(jié)等集成電路的基本單元,。

據(jù)悉,，電科裝備已經(jīng)形成中束流離子注入機、大束流離子注入機,、高能離子注入機,、特種離子注入機等覆蓋6~12英寸的離子注入機制造體系。目前擁有中束流,、低能大束流和高能離子注入機等系列產(chǎn)品,，并開發(fā)出了首臺用于量子通信領(lǐng)域的國產(chǎn)離子注入機，其SiC高溫離子注入機已進入國內(nèi)一線企業(yè),。

 2015年,，電科裝備12英寸中束流離子注入機在中芯國際先后完成了55nm、45nm和40nm小批量產(chǎn)品工藝驗證,，并開始批量生產(chǎn),，逐步提升產(chǎn)能，增加驗證機臺的數(shù)量,。同年,，中束流設(shè)備實現(xiàn)了批量銷售，量產(chǎn)晶圓超過300萬片,。2016年,，用于45nm~22nm低能大束流離子注入機與中束流離子注入機通過了28nm工藝制程同步驗證，已經(jīng)實現(xiàn)銷售,。

2017年,，電科裝備離子注入機批量制造條件廠房及工藝實驗室已投入使用，重點打造離子注入機零部件檢測,、模塊裝配及局部成套三大平臺,，可實現(xiàn)10臺設(shè)備同時組裝調(diào)試，具備年產(chǎn)20臺以上的批量制造能力,，具備集成電路裝備系統(tǒng)集成能力及局部成套工藝生產(chǎn)能力,。

CMP方面，2017年8月,，電科裝備成功研發(fā)出了國內(nèi)首臺擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的200mm化學機械拋光商用機,，研發(fā)團隊在3年的時間里突破了10余項關(guān)鍵技術(shù)，完成技術(shù)改進50余項,，經(jīng)過3個批次近10000片的馬拉松測試,，性能指標獲得中芯國際工程師的好評，并于2017年11月21日成功在中芯國際天津廠8英寸大生產(chǎn)線裝機驗證,，已經(jīng)進入24小時生產(chǎn)階段,。

未來展望

中國集成電路裝備和材料在國家“02專項”的大力支持和推動下，在部分領(lǐng)域取得了重點突破,，甚至可以與海外跨國公司實現(xiàn)同臺競技,。

然而，在進步的同時,，我們也要清醒地認識到,，重點突破不等于全面突破，關(guān)鍵技術(shù)突破不等于整體超越,，我們與海外跨國半導(dǎo)體制造裝備公司還是存在相當?shù)牟罹唷?/p>

未來,，電科裝備將以“爍科”系列品牌發(fā)布為契機，進一步突出核心主業(yè),，充分調(diào)動各方積極性參與改革,，發(fā)揮整體合力，提升知識,、技術(shù),、管理、資本的效率和效益,，爭當國家集成電路裝備領(lǐng)域的排頭兵,，切實履行好“大國重器”的責任。