德中合作新平臺——江蘇MEMS智能傳感器研究院于不久前在南京正式揭牌成立了，這是由陳立新博士人才團隊,、德國國家微系統(tǒng)傳感器研究院,、德爾森集團、江寧開發(fā)區(qū)多方共同設立運營,，致力于打造成從事智能MEMS傳感器技術開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化解決方案的傳感器研發(fā)平臺,。

德爾森一直專注于工業(yè)級壓力,、差壓傳感器的開發(fā)與制造，是國內(nèi)第一家擁有自己單晶硅傳感器芯片的企業(yè),，填補了我國工業(yè)級MEMS單晶硅傳感器芯片無法自主研發(fā)與制造的空白,。在近日舉辦的2018中國（上海）傳感器技術與應用展覽會（SENSOR CHINA 2018）上，德爾森帶來了一款超小型的重量級產(chǎn)品——WET TO WET的單晶硅壓力芯片,。

江蘇MEMS智能傳感器研究院銷售總監(jiān)王崢

顛覆性的單晶硅壓力芯片

“傳統(tǒng)的單晶硅壓力和差壓傳感器芯片不能直接接液,，腐蝕性的氣體或者液體對它都會造成腐蝕或短路，導致?lián)p壞,?！?江蘇MEMS智能傳感器研究院銷售總監(jiān)王崢說道，“我們現(xiàn)在推出的第七代WMD芯片是可以直接接觸腐蝕性氣體或液體的,，稱為WET TO WET,，不需要再充硅油做隔離保護，是目前整個行業(yè)里唯一一家推出此款芯片,，將來產(chǎn)品實現(xiàn)量產(chǎn),，傳統(tǒng)的利用惰性硅油做隔離傳導的觀念可能就會一去不復返?！?/p>

該芯片的應用場景與德爾森第五代、第六代的MD和HMD的芯片一樣,，都可以用于工業(yè),、醫(yī)療等行業(yè)。由于不需要充油保護,，它的靈敏度和傳導性都有很大的提升,，測量精度和穩(wěn)定性會進一步提高。

高性價比的陶瓷/金屬單晶硅芯片

展會中還展出了陶瓷/金屬單晶硅芯片,，主要優(yōu)點是性價比高,。王崢介紹：“該產(chǎn)品毫伏輸出信號比較大，用于小量程和抗腐蝕性傳感器都是很不錯的,，相比傳統(tǒng)行業(yè)的壓力傳感器如：陶瓷電容,、陶瓷壓阻、擴散硅,、金屬電容,，都有很大的優(yōu)勢?！?/p>

研究院開發(fā),，子公司量產(chǎn)   

據(jù)王崢介紹，江蘇MEMS智能傳感器研究院旗下孵化了很多子公司,，由研究院首先針對存在的問題和前端技術做開發(fā),，研發(fā)成果之后就會轉移旗下的這些子公司去生產(chǎn),、銷售，量產(chǎn)是由生產(chǎn)企業(yè)來完成,。

WMD芯片剛剛發(fā)布,，預計在明年會實現(xiàn)芯片的封裝與小批量生產(chǎn)。王崢介紹：“德國主要給我們提供流片加工,，芯片的封裝及應用開發(fā)都是在國內(nèi)完成,。WMD芯片樣片已經(jīng)出來了，提供給我院,，我院將會著手研發(fā)后期封裝及應用,。”

目前德爾森的產(chǎn)品較大部分應用于石油化工行業(yè),，由于整個化工廠區(qū)非常大,，里面人員又相對很少，流量,、液位,、管道壓力的控制都需要用到相應的傳感器。對于智能家居,、智慧城市,、工業(yè)物聯(lián)，在將來會逐步實現(xiàn)全面的智能化,，傳感器的應用市場也會加速壯大,。

“目前國內(nèi)MEMS加工技術還有很多路要走，我們和德國緊密結合,，目的是探索和發(fā)現(xiàn)國外的管理理念和新的技術,，我們通過研究院把這些先進的東西帶到國內(nèi)，造福我們國人,?！?/p>

隨著國內(nèi)傳感器行業(yè)的發(fā)展，流片的需求越來越大,，王崢透露將來可能會在南京建立一套全新的流片工藝線：“目前和德國是一個合作的關系,，那邊對流片的生產(chǎn)工藝輕車熟路，到了一個恰當?shù)臅r機,，我們完全有可能上一條自己的生產(chǎn)線,。”

據(jù)介紹,，目前德爾森在中國設立了兩個研發(fā)中心,，一個在重慶，一個在南京,，后期可能會規(guī)整到南京,，以集團的形式出現(xiàn),，南京將成為其唯一的研發(fā)出口。

中國是德爾森最重要的市場之一,，也是目前最大的市場,。基于在中國的生產(chǎn)基地,，德爾森的策略是首先把根扎好,，先把中國市場發(fā)展好，再往外走,，最新的WMD芯片也將首先在國內(nèi)市場推出,，相信不久就能體驗其顛覆性成果了。