《電子技術(shù)應(yīng)用》
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臺積電準(zhǔn)備采用國產(chǎn)5nm光刻機(jī)

2018-12-27

  眾所周知,,半導(dǎo)體工藝是非常高精密的高科技工藝,,像臺積電這種新工藝界的帶頭人也不可能自己完全搞定,,而是依賴整個產(chǎn)業(yè)鏈的設(shè)備和技術(shù)供應(yīng),,比如大家比較熟悉的光刻機(jī),但是設(shè)備僅僅來自荷蘭ASML(阿斯麥)一家,。

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  ASML一年最多可以生產(chǎn)12臺EUV光刻機(jī)(NXE:3400B),單臺價格超過8億人民幣,媲美一架美軍F35戰(zhàn)機(jī),。臺積電在去年砸錢搶到了幾臺,才讓其7nm EUV極紫外光刻工藝芯片完成首次流片,,并且臺積電的7nm產(chǎn)線已經(jīng)被AMD等大廠預(yù)定,。

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  不過從更先進(jìn)的5nm工藝時代開始,這一壟斷恐怕要打破了,。近日有實錘在臺積電的5nm生產(chǎn)線中,,就有來自我國深圳中微半導(dǎo)體的5nm等離子體蝕刻機(jī),完全自主研發(fā),,并且已經(jīng)通過了臺積電的驗證,,臺積電的5nm工藝就靠它。中微半導(dǎo)體CEO尹志堯驕傲地形容說:“在米粒上刻字的微雕技藝上,,一般能刻200個字已經(jīng)是極限,,而我們的等離子刻蝕機(jī)在芯片上的加工工藝,,相當(dāng)于可以在米粒上刻10億個字的水平?!眹a(chǎn)能有這樣的成就,,中國芯片將屹立世界之巔可不是玩笑話了。


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