《電子技術(shù)應(yīng)用》
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創(chuàng)新性技術(shù)工藝研發(fā),!士蘭微電子推出1350V RC-IGBT

2019-05-06
關(guān)鍵詞: IGBT器件 士蘭微電子

  近期,士蘭微電子推出了應(yīng)用于家用電磁爐的1350V RC-IGBT系列產(chǎn)品,。據(jù)悉,,士蘭微電子的600V單管 IGBT產(chǎn)品已經(jīng)在電焊機(jī)和IPM領(lǐng)域大規(guī)模應(yīng)用,獲得了業(yè)內(nèi)一致好評,,此次推出的系列產(chǎn)品有1200V與1350V兩檔電壓規(guī)格,,覆蓋了從15A至30A的電流規(guī)格。

  士蘭微電子的RC-IGBT產(chǎn)品是基于士蘭微電子獨立自主開發(fā)的第三代場截止(Field-Stop III)工藝平臺,,實現(xiàn)在場截止型IGBT器件內(nèi)部集成了續(xù)流二極管結(jié)構(gòu)?,F(xiàn)在,士蘭微電子在自有的8英寸芯片生產(chǎn)線上已經(jīng)全部實現(xiàn)了幾類關(guān)鍵工藝的研發(fā)與批量生產(chǎn),,是目前國內(nèi)唯一一家全面掌握上述核心技術(shù)的大尺寸功率半導(dǎo)體器件廠家,。

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  士蘭微電子此次推出的RC-IGBT系列產(chǎn)品可以實現(xiàn)最高1350V的額定擊穿電壓,同時針對家用電磁爐工作頻率提升的應(yīng)用需求,,重新優(yōu)化了器件的飽和壓降Vce(sat)以及內(nèi)部集成二極管的正向壓降VF,,從而實現(xiàn)器件在開關(guān)過程中具有低損耗的要求。值得注意的是,,為了達(dá)到上述目標(biāo)要求,,器件工程師重新優(yōu)化了IGBT的器件晶胞結(jié)構(gòu),調(diào)整器件發(fā)射區(qū)元胞間距尺寸,,進(jìn)而提升了IGBT器件在導(dǎo)通時柵極下方PIN二極管區(qū)域的少數(shù)載流子的濃度,,降低器件飽和壓降。

  此外,,對于特定耐壓指標(biāo)的IGBT器件,,其芯片厚度也是特定的,需要減薄到200um以下,。比如在100~200um的量級,,當(dāng)硅片磨薄到如此地步后,后續(xù)的加工處理就比較困難了,,特別是對于8寸以上的大硅片,,極易破碎,難度非常大,。而士蘭微電子的該款RC-IGBT產(chǎn)品采用了士蘭微子公司--士蘭集昕的8寸超薄晶圓加工工藝進(jìn)行開發(fā),,芯片厚度<150um,。在工藝開發(fā)過程中,為突破超薄晶圓的加工難題,,士蘭微電子投資近2000萬美元引入了領(lǐng)先的Taiko減薄,、光刻、高能注入,、激光退火等全套先進(jìn)后段設(shè)備,,解決了Taiko超薄晶圓背面光刻勻膠、光刻,、顯影等工藝難點,,最終實現(xiàn)1350V RC-IGBT產(chǎn)品的量產(chǎn)。這些士蘭微電子的創(chuàng)新性工藝研發(fā)保證了該產(chǎn)品的技術(shù)優(yōu)勢,。

  為應(yīng)對市場需求,,突出差異化特點,士蘭微電子根據(jù)不同細(xì)分市場客戶制定不同的策略,,為終端制造商提供一站式服務(wù),,建立了長期的客戶資源優(yōu)勢。通過多渠道的市場推廣,,士蘭微電子已經(jīng)摸清了國內(nèi)IGBT行業(yè)的市場情況,,對每個細(xì)分市場的需求也有了較為清晰的認(rèn)識,可根據(jù)客戶的要求,,針對性的對方案進(jìn)行定制和測試,,以滿足客戶不同類型產(chǎn)品的應(yīng)用需求。

  針對IGBT模塊多芯片組裝的特殊質(zhì)量要求,,士蘭微電子投資建設(shè)了自己的功率模塊封裝生產(chǎn)線,,較好地提升和穩(wěn)定了質(zhì)量,同時控制了成本,,使得產(chǎn)品在價格,、供貨以及技術(shù)支持方面也有著一定的優(yōu)勢。

  如針對電磁爐細(xì)分市場,,士蘭微電子的IGBT產(chǎn)品可以為客戶提供全套解決方案和技術(shù)支持,,使客戶先于競爭對手推出安裝方便和質(zhì)量可靠的整機(jī)產(chǎn)品,并持續(xù)進(jìn)行質(zhì)量提升和成本優(yōu)化,,擴(kuò)大市場占有率和競爭優(yōu)勢,,積極與市場行業(yè)領(lǐng)航者合作,建立了信息共享和深度合作機(jī)制,,實現(xiàn)了強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,。后期士蘭微電子將在商用電磁爐、電焊機(jī),、變頻器領(lǐng)域持續(xù)投入研發(fā),,并瞄準(zhǔn)工業(yè)控制,、汽車、電力等更高標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)市場逐步推進(jìn),。

  通過耕耘細(xì)分市場,,并與部分家電制造企業(yè)進(jìn)行了深入地交流合作,士蘭微電子打破了國外公司對于IGBT器件的長期壟斷,,產(chǎn)品處于國內(nèi)領(lǐng)先水平,。經(jīng)過客戶的積極配合和反復(fù)驗證,士蘭微電子所開發(fā)的IGBT已在多個領(lǐng)域通過了客戶的嚴(yán)格測試并導(dǎo)入量產(chǎn),。


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