國內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國際18日宣布,,公司在2019年3月12日至2020年2月17日的12個月期間就機器及設備向泛林團體發(fā)出一系列購買單,,花費斥資6.01億美元(約合42億元人民幣)
泛林Lam Research是一家美國公司,也是全球半導體裝備行業(yè)的巨頭之一,,與應用材料,、KLA科磊齊名,,2019年營收95億美元,在全球半導體裝備行業(yè)位列第四,,僅次于ASML,、TEL日本東京電子及KLA。
泛林生產(chǎn)的設備主要是蝕刻機,、CVD(化學氣相沉積),、清洗、鍍銅等設備,,其中來自中國市場的客戶是第一大來源,。
結(jié)合中芯國際最新財報中的說法,,過去一年中花費42億元購買泛林半導體設備(采購自泛林的只是其中一部分)顯然是為了擴大14nm工藝生產(chǎn),,在去年底開始量產(chǎn)之后,14nm工藝的產(chǎn)能就是中芯國際的重點,。
根據(jù)根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法,,14nm月產(chǎn)能將在今年3月達到4K,7月達到9K,,12月達到15K,。
中芯國際的14nm產(chǎn)能在15K晶圓/月之后應該不會繼續(xù)提升了,還有更新的工藝,。
除了14nm及改進型的12nm工藝之外,,中芯國際的N+1、N+2代工藝也會陸續(xù)在今年底開始試產(chǎn),,相當于臺積電7nm低功耗,、7nm高性能工藝級別,未來一兩年也會是產(chǎn)能建設的重點,。
在美國封殺華為等中國公司日趨瘋狂的背景下,,國產(chǎn)14nm工藝加快產(chǎn)能建設將有助于國產(chǎn)芯片發(fā)展,,避免受制于人。
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