臺積電是否會在3nm工藝上繼續(xù)選擇FinFET,,這將影響到整個行業(yè)先進制程的走勢。
繼三星之后,,臺積電也正式對外公布了其3nm工藝計劃,。
在剛結束不久的說法會上,臺積電宣布,,其2020年的開支大約會在150到160億美元之間,,其中80%將投向先進產能擴增,包括7nm,、5nm及3nm,。其中,關于3nm工藝的具體情況,,臺積電稱將會在4月份的發(fā)布會上公開,。
目前,業(yè)內普遍認為3nm工藝決定了未來半導體新制程的發(fā)展方向,,因此半導體制造領域的巨頭們最終會在3nm工藝上選擇什么路線,,成為業(yè)內格外關注的話題。
此前三星就宣布了3nm工藝計劃,,明確表示會放棄FinFET晶體管,,轉向GAA環(huán)繞柵極晶體管技術。具體來說,,三星的3nm工藝分為3GAE,、3GAP,后者的性能更好,不過首發(fā)的是第一代GAA晶體管工藝3GAE,。
根據官方說法,,基于全新的GAA晶體管結構,三星通過使用納米片設備制造出了MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,,多橋-通道場效應管),,該技術可以顯著增強晶體管性能;此外,,MBCFET技術還能兼容現(xiàn)有的FinFET制造工藝的技術及設備,,從而加速工藝開發(fā)及生產。
在2019年的日本SFF會議上,,三星還公布了3nm工藝的具體指標,與現(xiàn)在的7nm工藝相比,,3nm工藝可將核心面積減少45%,,功耗降低50%,性能提升35%,。
三星計劃在2030年前投資1160億美元打造半導體王國,,由于在7nm、5nm節(jié)點上都要落后于臺積電,,所以三星押注3nm節(jié)點,,希望在這個節(jié)點上超越臺積電成為第一大晶圓代工廠,因此三星對3GAE工藝寄予厚望,,最快會在2021年就要量產,。
至于臺積電,在3nm節(jié)點他們也大舉投資,,去年宣布斥資195億美元建設3nm工廠,,2020年會正式開工,不過技術細節(jié)一直沒有透露,,尤其是臺積電是否會像三星那樣選擇GAA晶體管還是會繼續(xù)改進FinFET晶體管,,這將影響到整個行業(yè)走勢。
作者:Lynn