自1960年首臺(tái)激光器問世以來,，經(jīng)過近70年的發(fā)展,，激光技術(shù)已經(jīng)形成了龐大的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工,、醫(yī)療美容、商業(yè),、科研,、信息和軍事等多個(gè)領(lǐng)域。不同的應(yīng)用場景對(duì)激光的功率,、波長,、光斑形狀等有著不同的要求，而要實(shí)現(xiàn)光斑形狀的改變,，則離不開光束整形器,。而衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements) 簡稱DOE， 又稱二元光學(xué)器件,，主要用于激光束整形,，比如均勻化、準(zhǔn)直,、聚焦,、形成特定圖案等。

    衍射光學(xué)元件(Difractive Optical Element,，DOE)是相位元件,，它使用嵌入在元件中的薄微結(jié)構(gòu)將輸入激光束控制為各種輸出輪廓和形狀。衍射光學(xué)器件可實(shí)現(xiàn)許多功能和光操作,，而這在標(biāo)準(zhǔn)折射光學(xué)器件中是不可行的,。

    在許多應(yīng)用中，這些功能非常有益,，可以顯著提高系統(tǒng)性能,。采用衍射光學(xué)元件進(jìn)行光束整形是近年發(fā)展起來的非常方便、靈活,、功能強(qiáng)大的光束整形方式,。DOE可適用于多種類型的輸入激光(如單模高斯激光,、多模激光等)，在激光焦面上形成指定的光斑形狀和光強(qiáng)分布,，還可以實(shí)現(xiàn)在激光傳播方向特定的光強(qiáng)分布,。

    典型的功能包括：產(chǎn)生平頂分布圓光斑或矩形光斑;產(chǎn)生線形分布光斑;將非均勻多模激光進(jìn)行勻化;產(chǎn)生環(huán)形以及多環(huán)等光斑分布;產(chǎn)生一維、二維多束激光分布;在傳輸方向上形成多焦點(diǎn)以及長焦深分布等,。

    1,、衍射的概念

    光沿著直線傳播，當(dāng)光穿過一個(gè)小孔或經(jīng)過一個(gè)輪廓分明的邊緣時(shí),，沿小孔邊緣產(chǎn)生了干涉圖形,，結(jié)果得到了一個(gè)模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣,。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了,。這種現(xiàn)象被稱作衍射。

    2,、衍射效率

    衍射效率是評(píng)價(jià)衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的重要指標(biāo)之一,。光線通過衍射光學(xué)元件后，會(huì)產(chǎn)生多個(gè)衍射級(jí)次,，一般只是關(guān)注主衍射級(jí)次的光線,，其他衍射級(jí)次的光線在主衍射級(jí)像面上形成雜散光，降低像面的對(duì)比度,。因此,，衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量，對(duì)衍射光學(xué)元件衍射效率的精確測量是十分必要的,。

    3,、掩膜版的衍射

    光的衍射和光刻密切相關(guān)，因?yàn)橥队把谀ぐ嫔嫌行〉那逦鷪D形并且間距很窄,。曝光時(shí),，光必須通過這些圖形。衍射圖樣奪走了曝光能量,，并使光發(fā)散,，導(dǎo)致光刻膠上不要曝光的區(qū)域被曝光。這個(gè)問題在孔小時(shí)更嚴(yán)重,，例如小到200nm的接觸孔,。由衍射引起的干涉圖樣能使小接觸孔和小線條很難被光刻。

    隨著國內(nèi)外市場對(duì)激光光束變換的迫切需求,，基于衍射光學(xué)的各類解決方案越來越受到市場的重視,，尤其在平頂整形領(lǐng)域，多焦點(diǎn)切割等方面應(yīng)用擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),。不僅如此,，諸如分束,、勻光、長焦深,、渦旋光束,、點(diǎn)陣、特征圖形等元件及模塊在各領(lǐng)域也有重要應(yīng)用,。