光學(xué)元件的微缺陷就是其外表存在污染物或者細(xì)微瑕疵,。

　　其中瑕疵問(wèn)題主要原因是光學(xué)元件在制作過(guò)程及時(shí)運(yùn)用拋光技術(shù),，也容易因?yàn)楣に嚥僮鞑划?dāng),，使其表面還可能存在劃痕,、氣泡、麻點(diǎn)多種 缺陷問(wèn)題,，這類(lèi)微缺陷會(huì)直接影響光學(xué)元件的質(zhì)量,，甚至影響光學(xué)系統(tǒng)正常使用，使得光學(xué)儀器和設(shè)備難以順利應(yīng)用在具體工作當(dāng)中,。

　　由此可以看出，在光學(xué)元件制作環(huán)節(jié),，應(yīng)該高度重視其表面微缺陷問(wèn)題的控制,，利用可視化檢測(cè)方法能夠提高元件質(zhì)量檢測(cè)效率，因此需要對(duì)檢測(cè)技術(shù)具體應(yīng)用進(jìn)行分析,。

　　如果光學(xué)元件的外表存在微缺陷問(wèn)題,，就會(huì)導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)整體質(zhì)量受到影響，具體而言主要表現(xiàn)在如下方面：

　　第一,，發(fā)出光束的質(zhì)量達(dá)不到要求,，因?yàn)闄z測(cè)光學(xué)元件時(shí)，缺陷處能夠產(chǎn)生光線散射這一效應(yīng),，光束通過(guò)缺陷位置,，可能損失過(guò)多光束能量，導(dǎo)致光束質(zhì)量達(dá)不到要求,；

　　第二,，使缺陷位置出現(xiàn)熱效應(yīng)現(xiàn)象，因?yàn)槿毕莶课粫?huì)吸收大量熱,，就會(huì)出現(xiàn)效應(yīng)熱力,，進(jìn)而導(dǎo)致局部變形,；

　　第三，導(dǎo)致其他元件受損,，如果缺陷處衍射光線,，還能使其他元件難以接受均勻形式光照， 如果強(qiáng)度高于元件承受范圍,，那么就會(huì)損毀元件,，光學(xué)系統(tǒng)也會(huì)崩潰；

　　第四,，影響系統(tǒng)精度,，當(dāng)缺陷處出現(xiàn)衍射現(xiàn)象，那么就會(huì)產(chǎn)生干擾,， 形成噪聲光斑,，導(dǎo)致光束自然聚集，灼傷元件,。

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