芯片是什么,？

　　一顆小小的硅片上布滿了排列整齊的集成電路,，陽光下，像一種五彩斑斕的昆蟲,。

　　但正是這種“昆蟲”實(shí)實(shí)在在地控制著科技時(shí)代的紛紜萬物：手機(jī),、電腦、家居電器,、汽車機(jī)械,、能救命的高科技醫(yī)療器械、飛機(jī)火箭,，乃至無數(shù)軍工產(chǎn)品,，都離不開芯片。

　　舉個(gè)例子,，站在街頭環(huán)顧一圈,，能載客行駛的交通工具，人們兜里揣的,、包里裝的,、耳朵上別著的智能小玩意，街頭閃爍的廣告屏,、紅綠燈……全仰仗芯片存儲(chǔ)信息,、發(fā)號(hào)施令。沒有芯片,，雖不至于回到原始社會(huì),，但足以打亂人類正常的生產(chǎn)生活。

　　可以這么說,，“芯片”成就了現(xiàn)代社會(huì)登上科技之巔,。

　　但自然，高處不勝寒,。

　　這個(gè)夏天,，“芯片之困”成了必須直面的問題。

　　芯片之難 難于光刻機(jī)

　　不過處在“芯片之困”的陰霾下,，就意味著和芯片相關(guān)的事,，我們都干不了嗎？非也,。

　　若干年來,，依賴無數(shù)人才的奮力追趕，中國的芯片設(shè)計(jì)和制作工藝,，發(fā)展得并不慢,。芯片之難,，實(shí)則難于芯片制造。巧婦難為無米之炊,，造不出高級(jí)芯片,，再頂尖的設(shè)計(jì)技術(shù)也無處施展。也正是此,，讓華為領(lǐng)先全球的麒麟系列芯片或成絕版,，讓華為消費(fèi)者業(yè)務(wù)CEO余承東連呼遺憾。

　　而芯片制造,，“光刻機(jī)”是繞不開的終極神器,。可以說,，沒有光刻機(jī)就沒有芯片,，所謂的芯片之痛，真正的痛點(diǎn)就是光刻機(jī),。這個(gè)長久以來的隱于幕后的大boss最近熱度頗高,，中國科協(xié)近日發(fā)布的“10個(gè)工程技術(shù)難題”，光刻機(jī)技術(shù)名列其中,。坊間更是傳聞華為大力挖掘光刻機(jī)工程師,，要自建光刻機(jī)。

　　光刻機(jī),，講原理并不難,。

　　通俗易懂地說，就是高級(jí)版“投影儀+照相機(jī)”：光刻機(jī)有光源,，光源發(fā)光,，然后通過一個(gè)帶圖形的光罩，給上附有光刻膠的硅片曝光,，借助光刻膠感光后的性質(zhì)變化,，光罩上的圖形就可以被印到硅片上，于是硅片就有了電子線路圖般的作用,。

　　但聽起來簡單,，制造光刻機(jī)有多難？

　　有人形容光刻機(jī)“是集合了數(shù)學(xué),、光學(xué),、流體力學(xué)、高分子物理與化學(xué),、表面物理與化學(xué),、精密儀器、機(jī)械、自動(dòng)化,、軟件,、圖像識(shí)別領(lǐng)域頂尖技術(shù)的產(chǎn)物”,。還有人賦予其一個(gè)極美的稱呼,，“半導(dǎo)體行業(yè)皇冠上的明珠”?；使谏献畲笞钪行牡拿髦?，僅此一顆，也說明了光刻機(jī)在芯片制造中無可爭議的地位,。

　　因?yàn)榫戎?，光刻之“刻”靠普通刀子自然?shí)現(xiàn)不了，于是要以“光”為刀進(jìn)行雕刻,，目前的精度7nm,，相當(dāng)于把病毒大卸八塊，把一根頭發(fā)絲劈成幾萬份,。

　　有資料顯示,，1臺(tái)光刻機(jī)包含13個(gè)分系統(tǒng)，3萬個(gè)機(jī)械件,，200多個(gè)傳感器,。其中，光源產(chǎn)生極紫外光EUV的難度相當(dāng)于在颶風(fēng)中心,，以每秒5萬次的頻率用乒乓球擊中同一只蒼蠅兩次,；冷卻激光器，每秒需要能填滿6個(gè)浴缸那么多的水,；光刻機(jī)的分辨率,，則相當(dāng)于把48萬個(gè)單詞的《指環(huán)王》在同一張紙上印刷2625遍；每一步都難度頗大,，但制作一顆芯片大概需要3000道工序,，要想保證光刻機(jī)完美運(yùn)轉(zhuǎn)，每一步的成功率都要高于99.99%,。

　　還有工程師說：“光刻機(jī)的一個(gè)小零件,，工程師就需要調(diào)整高達(dá)十年之久，尺寸的調(diào)整就要高達(dá)百萬次以上,?！狈婚g傳言，就算給出圖紙,，別人也造不出來一說正源于此,。

　　隨著工藝越發(fā)高精尖，依靠著獨(dú)一無二的售后服務(wù)，光刻機(jī)設(shè)備商的話語權(quán)越發(fā)提升,。

　　而目前,，掌握全球領(lǐng)先光刻技術(shù)的正是荷蘭 ASML公司。

　　在盛產(chǎn)風(fēng)車,、郁金香,，風(fēng)景如畫的荷蘭，靜靜臥著一頭“猛獸”——憑一己之力就吞掉了光刻機(jī)全球市場(chǎng)份額近80%的ASML,，精度在7nm 及以下的光刻機(jī),，只有他能生產(chǎn)。

　　名為“光刻機(jī)”,，實(shí)則“印鈔機(jī)”,，每生產(chǎn)一臺(tái)就可售1.2億美元。

　　但每年生產(chǎn)力有限,，只能生產(chǎn)20余臺(tái),，物以稀“更貴”。每出廠一臺(tái),，都被全球芯片制造商虎視眈眈,，誰“搶”得到最新的光刻機(jī)，就意味著誰更有可能造出更高端芯片,，掌握科技時(shí)代命脈,。

　　但屹立科技之巔的ASML公司究竟是如何煉成的？

　　成立于1984年的ASML,，在一個(gè)看起來連蛋糕渣都沒有的尷尬時(shí)機(jī)入局,，彼時(shí)光刻機(jī)領(lǐng)域老牌大佬GCA還寶刀未老，尼康佳能雙雄又強(qiáng)勢(shì)崛起,，然而坐落于飛利浦大廈外垃圾桶旁,，一排簡易廠房的ASML 攜47名員工入局，并許下壯志“只做第一”,。

　　今天的成功讓那時(shí)的決心顯得分外慷慨勇敢,，但可以想象的是，那時(shí),，大家都認(rèn)為它瘋了,。

　　36年間，從幾近破產(chǎn)的小公司到行業(yè)內(nèi)當(dāng)之無愧的一哥,，這不是一個(gè)順風(fēng)順?biāo)巳硕紣鬯慕芸颂K敘事史,，也不全是一個(gè)苦心孤詣苦哈哈的逆襲之路。天才與智慧,，偏執(zhí)與勇敢,，機(jī)遇與奮斗……ASML不缺故事,。

　　機(jī)緣巧合 巨頭煉成

　　即使身負(fù)絕世之功，ASML卻習(xí)慣低調(diào),。但因?yàn)榻?jīng)歷太過傳奇,，不必傳揚(yáng)，江湖上也飄蕩著他的傳說,。

　　源遠(yuǎn)流長的第一段是他與臺(tái)積電鬼才林本堅(jiān)的惺惺相惜,。

　　上世紀(jì)90年代，整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)都陷入了一個(gè)共同的難題,，光刻機(jī)光源波長被卡死在193nm,。

　　光刻畫不出更精致的線條,，自然就造不出更精細(xì)的,，性能更強(qiáng)的芯片。

　　面對(duì)難題,，雖然實(shí)踐成功率低,、回報(bào)率也低，但老巨頭尼康等廠商依然采用傳統(tǒng)解題方法,，強(qiáng)行將光源縮短到157nm波長,。

　　另一邊，一個(gè)年輕人提出了創(chuàng)新想法,，為什么非要改變波長,？時(shí)任臺(tái)積電研發(fā)副經(jīng)理的林本堅(jiān)想出了浸沒式光刻法：在鏡頭和光刻膠之間加一層水，經(jīng)過水的折射,，天塹一躍而過,，光線波長可以由193nm變?yōu)?32nm。

　　但當(dāng)他拿著新型創(chuàng)意前往巨頭大廠毛遂自薦時(shí),，得到的卻全是拒絕,。甚至尼康、佳能,、IBM等所有巨頭要聯(lián)合起來封殺冷藏林本堅(jiān),。原因可以想象，面對(duì)一堵門,，有人扛來長槍短炮重型武器轟炸不止時(shí),，另一個(gè)人卻建議，找找鑰匙開門,，雖然成功的路上,，獨(dú)辟蹊徑往往意味著降維打擊，但巨人轉(zhuǎn)身慢,，巨人怕成本,。

　　而同樣在光刻機(jī)難題中掙扎求存的ASML如同大海中的一葉小舟,，體量較小，但卻可以靈活轉(zhuǎn)向,，全力沖刺,，同是滿腔壯志無處可酬，ASML向林本堅(jiān)伸出了手——選擇浸潤式技術(shù),，不僅意味著臺(tái)積電的訂單和深厚的友誼,，還意味著一場(chǎng)豪賭，一條少有人走的創(chuàng)新之路,。

　　命運(yùn)總是嘉獎(jiǎng)勇敢者,。

　　2004年，ASML全力趕出了第一臺(tái)浸潤式光刻機(jī)樣機(jī),，波長132nm,，力壓尼康的157nm。

　　2007年,，在原有光源與鏡頭的條件下,，ASML又顯著提升蝕刻精度，繼而拿到60%的光刻機(jī)市場(chǎng)份額,，首次超過尼康,。

　　如果傳奇的第一篇章彰顯了技術(shù)突破與創(chuàng)新魄力的重要，而接下來,，ASML在EUV光刻上的赫赫戰(zhàn)果,，更說明合縱連橫，合作共贏的戰(zhàn)略意義,。

　　ASML最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),，涉及上游5000多家供應(yīng)商，3萬多個(gè)零部件90%需要進(jìn)口,，想要澆灌出這株盛放在荷蘭的技術(shù)之花,，既需要德國的光學(xué)設(shè)備與超精密儀器，也需要美國的計(jì)量設(shè)備與光源……

　　對(duì)高科技密集的半導(dǎo)體行業(yè)來說,，自己爬山不太現(xiàn)實(shí),，想要贏者通吃，就要伴隨不斷的并購與聯(lián)盟,。

　　收購全球領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光器廠商Cymer,，為光源技術(shù)提供保障；收購電子束檢測(cè)設(shè)備廠商漢微科,，為先進(jìn)工藝提供了晶圓缺陷檢測(cè)技術(shù)支持,；收購德國卡爾蔡司子公司24.9%股份，布局微影鏡頭關(guān)鍵技術(shù),；收購競爭對(duì)手Mapper的知識(shí)產(chǎn)權(quán)資產(chǎn)順便接受優(yōu)質(zhì)人才……

　　不僅如此,，ASML還超越尼康,，加入了EUV LLC聯(lián)盟。

　　EUV LLC聯(lián)盟的誕生也與光刻機(jī)光源波長193nm難題息息相關(guān),。

　　這是一家由英特爾攢局,，美國能源部牽頭，匯集了摩托羅拉,、AMD,、IBM，以及能源部下屬勞倫斯利弗莫爾,、桑迪亞和勞倫斯伯克利三大國家實(shí)驗(yàn)室的真正的高級(jí)玩家聚會(huì),。有多高級(jí)？其中三大國家實(shí)驗(yàn)室就堪稱美國科技發(fā)展的幕后英雄,，研究成果包括核武器,、超級(jí)計(jì)算機(jī)、國家點(diǎn)火裝置……覆蓋物理,、化學(xué),、制造業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等各種前沿方向,。

　　押注更激進(jìn)的極紫外技術(shù)是EUV LLC聯(lián)盟的目標(biāo)，用僅有十幾納米的極紫外光,，刻十納米以下的芯片制程,。

　　但EUV光刻機(jī)幾乎集成了人類精密制造的技術(shù)極限，聯(lián)盟必須從尼康和AMSL這兩家當(dāng)時(shí)發(fā)展最好的光刻機(jī)企業(yè)中,，挑選一家進(jìn)行吸納,，擔(dān)憂吸取了精良技術(shù)的日本企業(yè)未來將壓過美國，聯(lián)盟最終選中了ASML,。

　　由此,，ASML獲得了世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體技術(shù)、材料學(xué),、光學(xué)以及精密制造等相關(guān)技術(shù)的優(yōu)先使用資格,。“單打獨(dú)斗”行不通了,，屬于尼康的時(shí)代悄然過去,，而匯集了資金、技術(shù)與人才,，集制造業(yè)全體智慧精華于一身的,，則被世界級(jí)先進(jìn)的工業(yè)體系托舉而出。

　　除了科技 還有故事

　　既是荷蘭半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新突圍的結(jié)果,，也是全球科技高度分工的結(jié)果,，為大眾所熟知的ASML企業(yè)史往往從以上兩段開始,，但羅馬并非一日建成。講成功史只從后半段風(fēng)光史講起的不免讓人“干著急”,，只能仰視崇拜,，但卻沒法借鑒學(xué)習(xí)。

　　在ASML成立三個(gè)十年中,，第三個(gè)十年,，他登上山頂，藐視群雄,；第二個(gè)十年,，他狂甩對(duì)手，壟斷市場(chǎng),；而第一個(gè)十年,，因何決定去開啟傳奇，以及如何艱難爬坡,，九死一生中,，才真正隱藏著奠定勝利的絕密基因。

　　為什么要做光刻機(jī),？沒人能想到偉大或許誕生于一次打賭,。

　　ASML脫胎于大名鼎鼎的飛利浦公司，一次,，有人前往美國考察,，回來時(shí)帶來一顆“芯片”，面對(duì)這顆來自美國的芯片,，飛利浦人感到遺憾——錯(cuò)失了與世界先進(jìn)技術(shù)同步發(fā)展的機(jī)會(huì),，他們下定決心“要放下一切工作，集中精力投入集成電路的技術(shù)研發(fā)”,。

　　但一開始,，飛利浦只投入到電路技術(shù)研發(fā)，并沒打算自造光刻機(jī),，畢竟購買其他公司的成品光刻機(jī)足夠可行方便,。

　　不過伴隨著芯片的更新，其他公司的成品設(shè)備既不夠精準(zhǔn),，也過于耗費(fèi)人力,。因此，飛利浦的半導(dǎo)體和材料部 Elcoma 的技術(shù)經(jīng)理定期與前沿技術(shù)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室Natlab 的領(lǐng)導(dǎo)時(shí)常聚在一起聊天,，討論這些難題,。

　　再一次，當(dāng)Natlab的研究人員“吹噓”他們的靜壓軸承和氣動(dòng)技術(shù)時(shí),，Elcoma掩模中心的主任“刻薄”接茬,，技術(shù)這么強(qiáng),，也并不能用來制造那些生產(chǎn)芯片的機(jī)器啊,？Natlab聽到后,，自然是一頓爭吵，但爭吵之后,，兩個(gè)部門更達(dá)成約定——合作制造一臺(tái)光刻機(jī),。

　　1967 年，研究人員就在公司內(nèi)部的展覽中展示了6 鏡頭重復(fù)曝光光刻機(jī)的原型,，這臺(tái)光刻機(jī)吸引了若干圍觀群眾,，連飛利浦的時(shí)任董事會(huì)成員都被吸引而來。但還沒來得及聽完主講人的介紹,，下一個(gè)展臺(tái)又吸引了董事的注意——一臺(tái)帶有自動(dòng)平衡系統(tǒng)的新型洗衣機(jī),。

　　和用來制造電腦芯片的復(fù)雜尖端設(shè)備相比，一款流水線上可以批量生產(chǎn)上萬臺(tái)的普通洗衣機(jī),，對(duì)飛利浦高管來說更有吸引力,。

　　在很長一段時(shí)間內(nèi)，光刻機(jī)項(xiàng)目都被飛利浦內(nèi)部認(rèn)定——沒發(fā)展沒前途,?！胺艞壈桑瑒e再燒錢了”是項(xiàng)目組同事最常聽到的話,。

　　但又是什么樣的人在為彼時(shí)看起來“一片晦暗”的光刻機(jī)付出青春,、汗水與智慧？

　　聽起來也頗有傳奇色彩：工程師克洛斯特曼小時(shí)候是位失讀癥患者,，閱讀和數(shù)學(xué)對(duì)他來說都是難題，但長大后,，失讀癥奇跡般地痊愈,；光學(xué)工程師梅耶，這是位足夠幸運(yùn)的男青年,，經(jīng)歷過第二次世界大戰(zhàn),，兩次從斯維辛集中營逃脫。第一次被送入集中營時(shí),，因?yàn)檫\(yùn)氣好躲過一劫,，第二次被送入時(shí)，因?yàn)樯瞄L機(jī)械而被派去修理火車車廂,，這還不算完,。第一次即將被送進(jìn)毒氣室時(shí)，被德國納粹漏掉,，第二次又被及時(shí)趕到的蘇聯(lián)紅軍搭救,。差一點(diǎn)成為膠,、化肥或鞋油，病重,、像鉛筆那么瘦的梅耶返回荷蘭,，開始了一生的光刻機(jī)事業(yè)……

　　除此之外，光刻機(jī)的系統(tǒng)架構(gòu)師范?？耸俏粺嶂杂诹襞^士發(fā)型,，覺得向領(lǐng)導(dǎo)做季度總結(jié)寫兩個(gè)句子以上都浪費(fèi)時(shí)間的富二代；研發(fā)了一種精確度最高的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的工程師布休斯一度沒上過大學(xué),，在賣酒的商店洗過瓶子算過賬,，從被聘為飛利浦的一名助理，腳踏實(shí)地做到了頂尖工程師……

　　正是這些人在暗夜中前行,，撐著如燭火一般微弱的光刻機(jī)項(xiàng)目,，直到在一個(gè)恰當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)，飛利浦遇到業(yè)內(nèi)的另一位傳奇人物,，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備開創(chuàng)者德爾·普拉多,，1984年，ASML成立,，開啟了崛起之路,。