日前,，華虹宏力副總裁周衛(wèi)平在 2020 年第 23 屆中國(guó)集成電路制造年會(huì)暨廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇上發(fā)表了題為《雙核引擎,，綠色智造，贏芯未來(lái)》的報(bào)告,，對(duì)華虹集團(tuán)的“8+12”雙核引擎戰(zhàn)略進(jìn)行全面的分析,。
華虹集團(tuán)目前擁有金橋基地、張江基地,、康橋基地和無(wú)錫基地,，共有 7 座工廠，其中華虹宏力有 3 座 8 英寸廠和 1 座 12 英寸廠,。8 英寸合計(jì)月產(chǎn)能 17.8 萬(wàn)片,，12 英寸月產(chǎn)能 6.5 萬(wàn)片。華虹集團(tuán)在全球集成電路代工業(yè)中排位,，從 2016 年第 7 位,，到 2017 年第 6 位，2019 年首次進(jìn)入第 5 位,。
周衛(wèi)平副總裁強(qiáng)調(diào),，華虹宏力響應(yīng)國(guó)家綠色發(fā)展戰(zhàn)略，打造集綠色技術(shù),、綠色生產(chǎn),、綠色建筑于一體的綠色企業(yè)，實(shí)現(xiàn)環(huán)境友好和可持續(xù)發(fā)展,。
華虹“芯”速度
2017 年 8 月,，華虹集團(tuán)與無(wú)錫市政府簽署協(xié)議，一期項(xiàng)目建設(shè)一條工藝等級(jí) 90～65/55 納米,、月產(chǎn) 4 萬(wàn)片的 12 英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)（華虹七廠）,，支持 5G 和物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的應(yīng)用。這是華虹集團(tuán)融入長(zhǎng)三角一體化高質(zhì)量發(fā)展戰(zhàn)略,，在上海市域以外,、長(zhǎng)三角布局的第一個(gè)研發(fā)制造基地，在華虹發(fā)展戰(zhàn)略中具有標(biāo)志性意義,。華虹無(wú)錫項(xiàng)目是全國(guó)最先進(jìn)的特色工藝生產(chǎn)線(xiàn),、全國(guó)第一條 12 英寸功率器件代工生產(chǎn)線(xiàn),、江蘇省第一條自主可控 12 英寸生產(chǎn)線(xiàn)。項(xiàng)目建設(shè)速度非?？?，做到了當(dāng)年開(kāi)工、當(dāng)年封頂,，17 個(gè)月建成投片,。基于集團(tuán)自有技術(shù),，研發(fā)團(tuán)隊(duì)提前一年攻關(guān),，研發(fā)成果加速走上生產(chǎn)線(xiàn)，特色工藝研發(fā)順利推進(jìn),，產(chǎn)品工藝通線(xiàn)一次成功,。在市場(chǎng)開(kāi)拓方面，與國(guó)內(nèi)外多家設(shè)計(jì)公司進(jìn)行良好合作,。無(wú)錫基地 12 英寸致力于打造多元化,、綜合化的客戶(hù)解決方案，基地發(fā)展開(kāi)始提速,。在穩(wěn)步推進(jìn)多個(gè)技術(shù)平臺(tái)的認(rèn)證工作的同時(shí),，也實(shí)現(xiàn)了高良率出貨。截止 2020 年第二季度,，無(wú)錫基地 12 英寸生產(chǎn)線(xiàn)交付客戶(hù)的產(chǎn)品包括智能卡芯片、功率器件和 CIS 產(chǎn)品,；在下半年超結(jié)產(chǎn)品也將開(kāi)始出貨,，以滿(mǎn)足新能源汽車(chē)等新興市場(chǎng)的需求。并加快推進(jìn)產(chǎn)能建設(shè)和生產(chǎn)運(yùn)行,，已形成 1 萬(wàn)片的月產(chǎn)能,，即將形成 2 萬(wàn)片月產(chǎn)能。
聚焦特色工藝
華虹宏力從 2002 年開(kāi)始自主創(chuàng)“芯”路,，成立國(guó)內(nèi)第一條 8 英寸 Trench MOSFET 代工生產(chǎn)線(xiàn),，是全球第一家提供功率器件代工服務(wù)的 8 英寸純晶圓代工廠。2002 年到 2010 年,，陸續(xù)完成先進(jìn)的溝槽型中低壓 MOSFET/SGT/TBO 等功率器件技術(shù)開(kāi)發(fā),；2010 年，高壓 600V-700V 溝槽型,、平面型 MOSFET 工藝進(jìn)入量產(chǎn)階段,；2011 年，第一條 8 英寸 IGBT 代工生產(chǎn)線(xiàn)量產(chǎn),，同年第一代深溝槽超級(jí)結(jié)工藝進(jìn)入量產(chǎn)階段,，同年 1200V 溝槽型 NPT IGBT 工藝也完成研發(fā)進(jìn)入量產(chǎn)階段,；2013 年，第 2 代深溝槽超級(jí)結(jié)工藝推向市場(chǎng),，同時(shí) 600V-1200V 溝槽型場(chǎng)截止型 IGBT（FDB 工藝）也成功量產(chǎn),。2020 年，12 英寸功率產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),。
功率器件累計(jì)出貨超過(guò) 800 萬(wàn)片 8 英寸晶圓,；2020 年月產(chǎn)能突破 10 萬(wàn)片（折合 8 英寸晶圓）； 高端功率器件（超級(jí)結(jié) SJ 和 IGBT）占比快速上升,，在 2015 到 2019 年的銷(xiāo)售額以及出貨量
的年復(fù)合增長(zhǎng)率超過(guò) 50%,。功率器件制造領(lǐng)域擁有 341 項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利，包括美國(guó)發(fā)明專(zhuān)利 18 項(xiàng),；其中 IGBT 背面工藝 25 項(xiàng),，正面工藝 67 項(xiàng)，低壓 MOSFET 有 94 項(xiàng) 超級(jí)結(jié) SJ 有 155 項(xiàng),。
作為華虹宏力的核心業(yè)務(wù)之一,，公司在功率器件方面主要聚焦在以下方面：
一是 DMOS/SGT 方面，擁有溝槽柵 MOSFET,、底部厚柵氧（BTO） MOSFET,、上下結(jié)構(gòu) SGT、左右結(jié)構(gòu) SGT 等多種工藝結(jié)構(gòu) ,。硅基 MOSFET 是功率器件工藝的基礎(chǔ),，后續(xù)工藝都是基于這個(gè)工藝平臺(tái)不斷升級(jí)、完善,，華虹宏力致力于優(yōu)化 pitch size,，提升元胞密度，擁有業(yè)界先進(jìn)的導(dǎo)通電阻,。華虹宏力的 MOSFET 產(chǎn)品已通過(guò)車(chē)規(guī)認(rèn)證,，并配合客戶(hù)完成相對(duì)核心關(guān)鍵部件如汽車(chē)油泵、轉(zhuǎn)向助力系統(tǒng)等的應(yīng)用,。
二是超級(jí)結(jié)（SJ）,，超級(jí)結(jié) MOSFET 是華虹宏力功率半導(dǎo)體工藝平臺(tái)的中流砥柱。2011 年,，第一代超級(jí)結(jié) MOSFET 工藝開(kāi)始量產(chǎn),；2013 年，通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新,，pitch 尺寸越來(lái)越小,，同時(shí) Pitch 垂直度越來(lái)越大，降低結(jié)電阻，推出第二代超級(jí)結(jié) MOSFET 工藝,；2015 年,，進(jìn)一步優(yōu)化，推出 2.5 代超級(jí)結(jié) MOSFET 工藝,；2017 年,，第三代超級(jí)結(jié) MOSFET 工藝試生產(chǎn)。
華虹宏力擁有獨(dú)創(chuàng)的擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的深溝槽超級(jí)結(jié)技術(shù)方案,，可大幅降低導(dǎo)通電阻,，同時(shí)，在生產(chǎn)制造過(guò)程中可大幅縮短加工周期,、降低生產(chǎn)成本,。超級(jí)結(jié) MOSFET 適用于 150V-900V 電壓段，電流范圍 1-100A,，它的電阻更小,，效率更高，散熱相對(duì)低,，所以在要求嚴(yán)苛的開(kāi)關(guān)電源里有大量的應(yīng)用,，高度契合當(dāng)前熱門(mén)的大功率快充電源、LED 照明電源及新能源汽車(chē)充電樁等應(yīng)用需求,。
三是 IGBT,，華虹宏力是國(guó)內(nèi)最早布局、最完善,、最完整的全套 IGBT 薄晶圓背面加工工藝,，是國(guó)內(nèi)首家量產(chǎn)深溝槽場(chǎng)截止型 IGBT 產(chǎn)品的公。硅基 IGBT 作為電動(dòng)汽車(chē)的核心,，非?？简?yàn)晶圓制造的能力和經(jīng)驗(yàn)。從器件結(jié)構(gòu)來(lái)看,，IGBT 芯片正面類(lèi)似普通的 MOSFET，難點(diǎn)在于實(shí)現(xiàn)背面結(jié)構(gòu),。作為國(guó)內(nèi)最早布局的公司,，華虹宏力擁有最完善、最完整的全套 IGBT 薄晶圓背面加工工藝,，包括背面薄片,、背面高能離子注入、背面激光退火以及背面金屬化等,，使得客戶(hù)產(chǎn)品能夠比肩業(yè)界主流的國(guó)際 IDM 產(chǎn)品,。
華虹宏力 IGBT 產(chǎn)品線(xiàn)的電壓范圍涵蓋 600~1700V；電流范圍涵蓋 10~400A，逐漸從消費(fèi)類(lèi)跨入工業(yè)商用,、新能源汽車(chē)等領(lǐng)域
周衛(wèi)平副總裁認(rèn)為功率器件領(lǐng)域的未來(lái)前景可期,，公司在做大做強(qiáng)方面提出了四點(diǎn)：一是立足“8+12”戰(zhàn)略，深耕功率器件領(lǐng)域,，在技術(shù)上不斷更新迭代,，追求功率器件所需的更高功率密度和更低損耗；二是充分發(fā)揮 12 英寸更小線(xiàn)寬特性,，持續(xù)開(kāi)發(fā)優(yōu)化 DMOS,、SGT、超級(jí)結(jié) SJ,、IGBT 技術(shù),，加速進(jìn)軍高端功率器件市場(chǎng)；三是“8+12”齊頭并進(jìn),，為客戶(hù)提供更為充足的產(chǎn)能和更具優(yōu)勢(shì)的綠色“芯”代工解決方案,；四是深化戰(zhàn)略合作，全力支持產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè),，促進(jìn)全球集成電路制造供應(yīng)鏈的協(xié)同共贏,。
開(kāi)拓車(chē)規(guī)市場(chǎng)
智能電動(dòng)汽車(chē)發(fā)展趨勢(shì)強(qiáng)力驅(qū)動(dòng)汽車(chē)電子中的半導(dǎo)體元器件數(shù)量大幅增加。在汽車(chē)電子領(lǐng)域,，微控制器,、模擬芯片、功率器件三大類(lèi)半導(dǎo)體芯片市場(chǎng)規(guī)模大,、未來(lái)的成長(zhǎng)性較好,，這也是華虹集團(tuán)旗下華虹宏力在汽車(chē)電子領(lǐng)域布局的重點(diǎn)。
華虹宏力已在汽車(chē)電子的車(chē)載動(dòng)力 / 引擎數(shù)據(jù)等存儲(chǔ),、引擎及安全氣囊控制,、油泵系統(tǒng)、AC/DC 轉(zhuǎn)換器,、車(chē)身穩(wěn)定（ESP）系統(tǒng),、電動(dòng)汽車(chē)逆變器、信息娛樂(lè)系統(tǒng),、語(yǔ)音系統(tǒng)等獲得了大量應(yīng)用,，工業(yè)及汽車(chē)已成為公司第二大應(yīng)用市場(chǎng)，占公司總營(yíng)收的 25%左右,。
為符合汽車(chē)的嚴(yán)苛安全要求,，華虹宏力實(shí)施全面的汽車(chē)電子質(zhì)量管控，建立了零缺陷管理模式,，通過(guò) IATF 16949 汽車(chē)質(zhì)量管理體系認(rèn)證和多家客戶(hù)的 VDA 6.3（德國(guó)汽車(chē)質(zhì)量流程審計(jì)標(biāo)準(zhǔn)）標(biāo)準(zhǔn)審計(jì),，并擁有符合汽車(chē)電子 AEC-Q100 Grade-1 標(biāo)準(zhǔn)的高可靠性嵌入式閃存技術(shù)。通過(guò)“安全、可靠,、高性能”的多種工藝平臺(tái)靈活組合,，華虹宏力將為持續(xù)攀升的汽車(chē)半導(dǎo)體市場(chǎng)需求提供更優(yōu)質(zhì)服務(wù)。
贏芯未來(lái)
華虹宏力通過(guò)建設(shè) 12 英寸生產(chǎn)線(xiàn),，延伸 8 英寸特色工藝優(yōu)勢(shì),，拓寬護(hù)城河，提高技術(shù)壁壘,，拉開(kāi)與身后競(jìng)爭(zhēng)者的差距,。而在擴(kuò)充產(chǎn)能的同時(shí)，技術(shù)節(jié)點(diǎn)也推進(jìn)到 90/55 納米,，以實(shí)現(xiàn)“人無(wú)我有,，人有我精”的產(chǎn)品工藝，給客戶(hù)提供更先進(jìn)的工藝支持,，攜手再上新臺(tái)階,。