光刻機作為芯片制造最重要的設備,，目前在全球市場上都是稀缺資源,。在光刻機設備市場上,，尤其是EUV光刻機設備,，幾乎被ASML壟斷,。全球光刻機出貨量99%集中在ASML、尼康和佳能,，ASML份額最高,。由于美國的技術封鎖，我國收購ASML技術幾乎毫無可能，那么同樣有高端EUV光刻機技術的日本尼康和佳能是否可以合作共贏,？
除華為外,，國內(nèi)晶圓大廠半導體進口設備也遭斷供，另據(jù)路透社報道,，美國正考慮對半導體制造設備及相關軟件、激光器,、傳感器等技術的出口進行新的限制,，美對我半導體產(chǎn)業(yè)的打壓已有蔓延之勢。而芯片制造始終是我國半導體產(chǎn)業(yè)的薄弱環(huán)節(jié),，唯有突破光刻機技術,，才能掌握芯片自主。
一,、自主與合作
光刻機被譽為“半導體工業(yè)皇冠上的明珠”,，要造出造芯片的機器，并不是一件容易的事,，它不僅僅是擁有約10萬個零部件般復雜,，也不僅僅是集合了數(shù)學、光學,、流體力學,、自動化、圖像識別等10余個領域般綜合,，還要都是頂級的,，一個技術突破不算突破，全部突破才算整體前進一步,，這是最難的,。
說阿斯麥光刻機代表西方制造工業(yè)的最高水平并不為過，一臺最先進的EUV光刻機,，鏡頭來自德國卡爾蔡司,，大功率光源來自美國賽摩，精密加工技術來自瑞典,，浸沒雙工作臺來自荷蘭,，特殊復合材料來自日本等等，在阿斯麥供應商中有很多隱形冠軍,，它們可能并不太知名,，但無法忽視的是，這些幾乎都是同行業(yè)中的佼佼者,。
如果說在某一個領域做好或許不是難事,，比如中微公司2017年就成功研發(fā)出了世界上第一臺5納米刻蝕機，但這并不代表國內(nèi)芯片制造工藝達到5納米水平，到目前為止最先進的國產(chǎn)光刻機僅為90納米,，最薄弱的環(huán)節(jié)才代表真實的水平,，國產(chǎn)光刻機要出頭，勢必要做到與阿斯麥更接近的水平,，但也意味著要在細分領域全部做好,。
誰也不是三頭六臂，神通廣大,，造好光刻機,，除了發(fā)展自主技術，開放合作是很有必要的,。
二,、日經(jīng)遞橄欖枝
最近日經(jīng)新聞有一篇關于中國半導體產(chǎn)業(yè)的報道，文章指出,，隨著美國的封鎖和打壓,，長遠來看，美國此舉可能會助推重工半導體產(chǎn)業(yè)的自立與發(fā)展,，目前中國半導體仍可迂回以對,。
文章主要提到幾點：
一是中國有1000多家新興的半導體相關公司，如果華為和中芯從這些公司購買進口的半導體芯片,、設計軟件以及生產(chǎn)設備,，實際上就可以進行半導體采購并擴充制造設備；Synopsis共同執(zhí)行長Aart de Geus表示：“在中國有很多半導體相關企業(yè)（除華為外）都在大量購買,，這種情況無法避免國內(nèi)的轉售,。”
二是聯(lián)發(fā)科對美國的銷售額很少,，該公司雖已停止對華為供貨,，但也有可能會繼續(xù)接受華為的訂單并準備接受美國制裁，聯(lián)發(fā)科可以在不投訴最終用戶詳細信息的情況下訂單生產(chǎn),，臺積電同樣可以,。
對上世紀70/80年代崛起的日本半導體產(chǎn)業(yè)來說，通過不同的方法將技術從美國帶回日本,，從模仿再到超越,，成就90年代的半導體霸主是可能的，但時代背景不同,，通過規(guī)避限制出口并不是長遠之計,，SWIFT跨國結算系統(tǒng)掌握在美國手上，所有國際賬戶信息,，都在美國的掌控之中,，會導致更多的企業(yè)被限制,。
文章提到的另一方案或許更有前景，EUV以外的光刻機,，日本的尼康和佳能也可以制造,，業(yè)界有關人士表示：“中國企業(yè)擬向兩家日本公司提供資金，要求共同開發(fā)除EUV以外的新型光刻機,?！?/p>
目前只有荷蘭的阿斯麥能夠制造EUV光刻機，而大部分基礎技術的知識產(chǎn)權都由美國掌握,，如果走別人的路,，知識產(chǎn)權的約束會很多，當芯片制程工藝接近摩爾定律極限,，3D堆疊技術正在成為延續(xù)摩爾定律的主角，研發(fā)新的光刻機或許是彎道超車的機會,，就像2000年前后阿斯麥憑借浸入式光刻技術超越尼康一樣,，每一次彎道超車都離不開新技術、新材料的顛覆,。
當年美國建立EUV LLC聯(lián)盟搞高端光刻機,，幾乎半導體業(yè)界所有的巨頭都被邀請來了，唯獨尼康排除在外,，最后單打獨斗的尼康,，自然干不過人家聯(lián)盟，不知尼康是否因此耿耿于懷,？如今國產(chǎn)光刻機需要合作,，尼康正好有技術積累，尼康是否有心被阿斯麥碾壓二十年后再扳回一城,？結果值得期待,。
現(xiàn)在尼康最先進的光刻機是45-22納米，雖然跟阿斯麥有幾代的差距,，但在單打獨斗的日子里,，技術幾乎都是自己的，受美國方面的制約更少,。
三,、結語
2012年日本存儲芯片企業(yè)爾必達被美光收購，去年11月,，原社長坂本幸雄就任紫光集團高級副總裁,，紫光旗下核心企業(yè)長江存儲主打存儲芯片；
曾就職瑞晶總經(jīng)理的陳正坤,，后瑞晶被美光收購,，陳正坤加入聯(lián)電，后來到大陸協(xié)助福建晉華建存儲芯片廠，當被問及為什么加入聯(lián)電和中國大陸DRAM技術合作研發(fā)計劃,，陳感性地說,，當年瑞晶被兼并對他沖擊很大，且自主開發(fā)DRAM技術一直是他心中的夢想,，希望這個夢想在這里播種開花,。
中國半導體產(chǎn)業(yè)崛起，除了開放合作,，還要尋找合適的領頭羊,。