根據(jù)韓國媒體《Etnews》報導(dǎo)指出,目前全球3大DRAM存儲器中尚未明確表示采用EUV極紫外光刻機的美商美光(Micron),,因日前招聘網(wǎng)站開始征求EUV工程師,,揭露美光也在進行EUV運用于DRAM先進制程,準備與韓國三星,、SK海力士競爭,。
報導(dǎo)指出,美光招聘敘述是“企業(yè)內(nèi)部開發(fā)EUV應(yīng)用技術(shù),,并管理新EUV系統(tǒng),,以及與EUV設(shè)備制造商阿斯麥(ASML)溝通”,工作地點就在美光總部美國愛達荷州,。美光已開始生產(chǎn)第3代10納米級(1z)DRAM存儲器,,預(yù)計2021上半年開始大量生產(chǎn)第4代10納米級(1a)DRAM存儲器。
與競爭對手三星,、SK海力士不同的是,,美光不打算將EUV技術(shù)運用在第4代10納米級DRAM存儲器,而是未來第7代10納米級(1d)DRAM存儲器,。
存儲器與CPU邏輯制程一樣,,近年面臨制程微縮的問題,。如果使用EUV光刻技術(shù),可減少多重曝光過程,,提供更細微的制程精度與良率,,進一步減少產(chǎn)品生產(chǎn)時間并降低成本,還可提高效能,。不過,,EUV光刻設(shè)備每部單價近1.5億歐元,初期投資成本較深紫外光光刻設(shè)備(DUV)高許多,,因此會讓廠商考慮再三,。美光先前就是因成本考量,加上采用DUV設(shè)備打造的DRAM符合市場需求,,因此時程落后三星及SK海力士,。
目前三星已在第3代10納米級DRAM存儲器生產(chǎn)導(dǎo)入EUV技術(shù),且還預(yù)計2021年發(fā)表第4代10納米級的DRAM存儲器生產(chǎn)增加EUV技術(shù),。至于SK海力士則將在2021年量產(chǎn)第4代10納米級DRAM存儲器導(dǎo)入EUV技術(shù),,目前SK海力士也分批導(dǎo)入EUV設(shè)備,預(yù)計在京畿道利川市的新DRAM工廠建立EUV技術(shù)產(chǎn)線,。
相較兩家競爭對手已導(dǎo)入或正導(dǎo)入EUV技術(shù),,美光顯然落后,。外界解讀這次美光招聘EUV工程人員,,目的在于先研究EUV運作技術(shù),以在未來正式推出相關(guān)技術(shù)的產(chǎn)品,。因市場預(yù)期存儲器市場將逐漸迎接正循環(huán)周期,,美光也藉此儲備未來市場競爭的最佳能量。