1月19日晚,,國內(nèi)半導體材料公司晶瑞股份發(fā)表公告,,宣稱購得ASML公司光刻機一臺,,將用于高端光刻膠項目,。
晶瑞表示,,自公司開展設備采購活動以來,,受到投資者廣泛密切關注,。
經(jīng)公司多方協(xié)商,、積極運作,順利購得ASML XT1900 Gi型光刻機一臺,。該設備于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室,。
下一步,公司將積極組織相關資源,,盡快完成設備的安裝調(diào)試工作,。
從晶瑞公司的信息來看,公司采購的光刻機設備為ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻機,,可用于研發(fā)最高分辨率達28nm的高端光刻膠,。
此外,28nm級別的光刻機在ASML公司中并不算多先進的型號了,,官網(wǎng)上列出的沉浸式光刻機最舊的型號也是XT1965CI了,,可用于20nm以下的工藝。
不過晶瑞公司購買的這臺光刻機花了1102.5萬美元,,約合人民幣7129萬元,,價值不菲。
晶瑞公司表示,,公司量產(chǎn)光刻膠近30年,,組建了國內(nèi)領先的光刻膠研發(fā)團隊,,具有豐富的光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗,先后承擔了國家“85”攻關,、“863”重大專項,、科技部創(chuàng)新基金等科技項目、承擔了國家02重大專項“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目,,并順利通過國家02重大專項驗收,。
公司完成中試的 KrF光刻膠已進入客戶測試階段,達到0.15&mu,;m的分辨率,。
本次購買的 ASML光刻機設備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目的必要實驗設備,旨在研發(fā)出更高端的 ArF 光刻膠,,若研發(fā)工作進展順利,,將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到 ArF 光刻膠的跨越,并最終實現(xiàn)應用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局,。