3月3日晚間,中芯國(guó)際通過(guò)港交所發(fā)布公告,宣布公司已于2021年2月1日,,就購(gòu)買(mǎi)用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥(ASML)產(chǎn)品與ASML上海公司簽訂了經(jīng)修訂和重述的采購(gòu)協(xié)議,根據(jù)購(gòu)買(mǎi)的ASML產(chǎn)品定價(jià)計(jì)算,,該協(xié)議購(gòu)買(mǎi)ASML產(chǎn)品的總代價(jià)約為12億美元(約合人民幣77.6億元),。
根據(jù)該協(xié)議,中芯國(guó)際將先行向ASML支持30%的預(yù)付款,,余款將于產(chǎn)品交付時(shí)支付,。
從采購(gòu)金額來(lái)看,12億美金夠買(mǎi)十多臺(tái)先進(jìn)的DUV光刻機(jī),,即便是1.2億美金一臺(tái)的EUV光刻機(jī),,也能賣(mài)個(gè)10臺(tái)左右。
根據(jù)公告顯示,,ASML批量采購(gòu)協(xié)議的期限從原來(lái)的2018年1月1日至2020年12月31日延長(zhǎng)至從2018年1月1日至2021年12月31日,。中芯國(guó)際根據(jù)批量采購(gòu)協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間就購(gòu)買(mǎi)用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團(tuán)簽訂購(gòu)買(mǎi)單。
也就是說(shuō),,此次的協(xié)議是此前采購(gòu)協(xié)議(2018年1月1日至2020年12月31日)的延長(zhǎng),,延長(zhǎng)至2021年12月31日。換句話(huà)來(lái)說(shuō)就是,,這是一個(gè)覆蓋了2018-2021年三年間的采購(gòu)協(xié)議,,并且公告顯示,在2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間,,已經(jīng)在執(zhí)行購(gòu)買(mǎi)協(xié)議,。
所以,,這個(gè)12億美元的采購(gòu)并不是全新的采購(gòu)訂單,只是之前簽訂的采購(gòu)協(xié)議的延期和重新修改,,之前已經(jīng)完成了部分的采購(gòu),。
而且,這個(gè)采購(gòu)協(xié)議里可能還包含了之前2018年采購(gòu)的那臺(tái)至今未交付的EUV光刻機(jī)的訂單的延期,。
早在2018年5月,,中芯國(guó)際就向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)最新型的EUV光刻機(jī),原計(jì)劃在2019年初交付,。但是由于美國(guó)方面的阻撓,,ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證,這也導(dǎo)致了ASML一直無(wú)法向中芯國(guó)際交付EUV光刻機(jī),。
不過(guò)由于中芯國(guó)際訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)遲遲無(wú)法拿到許可,,該訂單也有可能已經(jīng)取消或替換成了等價(jià)的DUV光刻機(jī),畢竟在美國(guó)的阻撓下,,今年年內(nèi)可能還是難以實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的交付,。
此前,ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪(fǎng)中表示:如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義,,ASML將能夠從荷蘭向中國(guó)客戶(hù)(包括中芯國(guó)際)提供DUV光刻系統(tǒng),,且無(wú)需出口許可證。不過(guò),,如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類(lèi)客戶(hù)的零件或系統(tǒng),,ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。
即便中芯國(guó)際未來(lái)能夠拿到EUV光刻機(jī),,由于美國(guó)的禁令,,限制對(duì)于中芯國(guó)際供應(yīng)10nm及以下工藝所需的美系半導(dǎo)體設(shè)備,這也使得中芯難以對(duì)7nm以下制程實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)突破,,畢竟半導(dǎo)體生產(chǎn)并不只是靠光刻機(jī)就行的,。未來(lái),中芯國(guó)際可能還是要依靠與國(guó)產(chǎn)及非美系設(shè)備廠(chǎng)商在先進(jìn)制程上的協(xié)作來(lái)突破,。