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不久前的1月20日,，全球光刻機龍頭ASML正式交付了一臺晶圓量測設備YieldStar 385。相比于售價動輒過億美元的光刻機,，這臺新設備并未引起過多關注,。
但實際上，在量測設備領域,，ASML已投入了十年的研發(fā),。而ASML最新推出的YieldStar 385設備，可用于最領先的3nm制程產線,。
那么,，這種得到全球光刻王者青睞的量測設備到底是什么？
在芯片制造全程中,，晶圓廠需要在刻蝕、光刻等每一個步驟結束后,，對晶圓進行檢測,，以確認加工參數(shù)達到設計要求、排除晶圓表面缺陷,，從而保證良率和控制成本,。
這種貫穿芯片制造全程的檢測工藝，就被稱為“前道量測”,，又稱“過程工藝檢測”,。
據(jù)SEMI和申港證券研究所統(tǒng)計，前道量測設備（工藝控制檢測設備）的價值,，占到晶圓廠制造設備總額的10%,。
▲前道檢測設備約占晶圓廠制造設備總額的10%（2018年數(shù)據(jù)）
今天，芯東西著眼全球市場,，解讀前道量測設備背后的技術邏輯,，以及領先玩家背后的故事,。
前道量測設備：與光刻機聯(lián)系緊密的關鍵設備
翻開ASML 2020年的財務報告，可以看到在2020年,，ASML向客戶交付了四套前道量測系統(tǒng),，分別為三套eScan1000多光束檢測系統(tǒng)、一套YieldStar 385系統(tǒng),。
全球光刻之王為何布局前道量測設備市場,？或者說，前道量測設備會對光刻工藝造成怎樣的影響,？
在2020年7月18日ASML官方Facebook賬號發(fā)布的一條推文中,，我們可以找到答案。根據(jù)推文《ASML關鍵量測機臺的誕生》,，2000年代早期,，半導體制造商在使用光學系統(tǒng)檢測轉印在晶圓上的線路圖案時，遇到了瓶頸,。
具體來說,，2000年以后，芯片制程推進至0.13?m（130nm）時,，要在0.13?m光刻分辨率的芯片上檢測出缺陷,，晶圓廠有可能需要中斷芯片制造過程。不僅如此,，隨著摩爾定律向前發(fā)展,、光刻精度日益提升，晶圓前道量測的任務日益加重,，迫切需要更加智能的量測機臺,。
▲ASML官方Facebook賬號推文《ASML關鍵量測機臺的誕生》
基于此，ASML量測部門工作人員Arie den Boef在約十年前開始研發(fā)YieldStar系列量測設備,。據(jù)ASML官方資料,，YieldStar設備可實時將檢測資料回傳給光刻設備，從而矯正芯片制造過程中的錯誤,。
▲ASML量測部門研究人員Arie den Boef
目前,，前道量測設備主要用到光學技術和電子束技術。前者通過分析光的反射和衍射光譜,，間接進行測量,，是晶圓廠主要使用的檢測技術；后者根據(jù)電子掃描直接放大成像,。
▲光學量測,、電子束量測對比（圖源：華創(chuàng)證券）
國外廠商占據(jù)主導，日本廠商斬獲臺積電/三星訂單
據(jù)SEMI及國金證券的測算,，全球半導體檢測類設備市場規(guī)模超800億元,，其中前道量測設備市場規(guī)模約為406億元,。
放眼全球前道量測設備市場，外國廠商占據(jù)主導地位,。
其中,，僅行業(yè)龍頭科磊（KLA）就占據(jù)過半市場份額，市占率高達約53%,。此外,，美國應用材料、日本日立,、美國耐諾,、中國臺灣Hermes Microvision、以色列Nova等廠商亦排名前列,。
▲半導體前道量測設備市場競爭格局（圖源：SEMI,、國金證券研究所）
除去上述幾家廠商，全球晶圓前道量測設備市場中,，還有一家日本廠商不得不提——Lasertec,。
Lasertec的產品可用于當今最先進極紫外光刻（EUV）的前道工藝檢測。目前,，Lasertec是該領域唯一一家設備制造商,。
目前，全球范圍內僅有臺積電和三星電子能夠利用EUV技術生產芯片,。而這兩家企業(yè)已確認訂購了Lasertec的EUV檢測設備,。
隨著利用EUV技術生產的5nm制程芯片紛紛落地商用，Lasertec公司的業(yè)績表現(xiàn)水漲船高,。
從2019年初以來,，Lasertec公司的股價已經飆升逾900%。
▲Lasertec公司近五年股價變化
揭秘三大國產化玩家
把目光放回國內,，據(jù)市場研究機構國金證券測算,，目前，中芯國際,、長江存儲、長鑫存儲占據(jù)了國內前道量測設備年需求的40～50%左右,。
而在供應端,，科磊等外國廠商在大陸的市占率達到約70%。
國產玩家方面,，中國企業(yè)起步較晚,，目前上海睿勵、中科飛測,、精測電子等對前道量測設備有所布局,。
其中,，上海睿勵成立于2005年，主要產品包括光學薄膜測量設備,、光學關鍵尺寸測量設備等,。工商平臺顯示，國家大基金持股上海睿勵約12.1%,。
深圳中科飛測成立于2014年,，公司由中科院微電子所和創(chuàng)業(yè)團隊共同創(chuàng)立。2020年5月份,，中科飛測生產的橢偏膜厚量測儀已落地士蘭微電子12英寸特色工藝半導體芯片項目,。
上海精測電子成立于2018年，在前道量測設備和后道封測設備上均有布局,。工商平臺顯示,，國家大基金持股上海睿勵約13.3%。
據(jù)國金證券測算,，目前半導體設備國產化率在10%左右,。在國內前道量測設備市場由外國廠商占據(jù)主導地位的情況下，上海睿勵等國產化玩家,，不僅需要需要攻克技術壁壘,，還需承擔起建設銷售團隊、培育市場生態(tài)等多種任務,。
結語：前道量測——國產化攻堅的又一道命題
作為貫穿芯片制造全程的重要設備之一,，前道量測設備對于提升芯片良率具備重要意義。
據(jù)估計,，產品良率每降低一個百分點,，晶圓代工廠商將損失100～800萬美元。
在提升芯片產業(yè)國產化被不斷強調的今天,，攻堅每一個產業(yè)鏈環(huán)節(jié)成為中國芯片玩家面臨的行業(yè)使命,。
目前，國內前道量測設備市場仍舊由外國廠商占據(jù)主導地位,，期待未來中國廠商能夠通過提升產品,、研發(fā)等各方面實力、占據(jù)更多市場主動權,。