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光學(xué)鍍膜中常見(jiàn)的不良分析與改善對(duì)策

2021-08-03
來(lái)源:光電資訊
關(guān)鍵詞: 光學(xué)鍍膜 對(duì)策

  鍍膜產(chǎn)品的常見(jiàn)問(wèn)題,,部分是鍍膜工序的本身造成的,,部分是前工程遺留的問(wèn)題,鍍膜終的品質(zhì)是整個(gè)光學(xué)零件加工的(特別是拋光、清洗)的綜合反映,,對(duì)于出現(xiàn)鍍膜不良時(shí)必須綜合考慮,才能真正找到不良產(chǎn)生的原因,,對(duì)策改善才能取得成效,。

  膜臟(也稱(chēng)白壓克)

  顧名思義,膜層有臟,。一般的膜臟發(fā)生在膜內(nèi)或膜外,。臟可以包括:灰塵點(diǎn)、白霧,、油斑,、指紋印、口水點(diǎn)等。(灰塵點(diǎn)和白霧單列)

  01 灰點(diǎn)臟

  現(xiàn)象:鏡片膜層表面或內(nèi)部有一些點(diǎn)子(不是膜料點(diǎn))有些可以擦除,,有的不能擦除,。并且會(huì)有點(diǎn)狀脫膜產(chǎn)生。

  產(chǎn)生原因:

  1,、真空室臟,,在開(kāi)始抽真空時(shí)的空氣渦流將真空室底板、護(hù)板的臟灰?guī)У界R片上,,形成灰點(diǎn)層,。(膜內(nèi),不能擦除,,會(huì)有點(diǎn)狀脫膜)

  2,、鏡圈或碟片臟,有浮點(diǎn)灰塵,,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點(diǎn)層,。(膜內(nèi),不能擦除,,會(huì)有點(diǎn)狀脫膜)

  3,、鏡片上傘時(shí)就有灰塵點(diǎn),上傘時(shí)沒(méi)有檢查挑選,。(膜內(nèi),,不能擦除,會(huì)有點(diǎn)狀脫膜)

  4,、鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點(diǎn)的主要成因,,特別是當(dāng)鏡片熱的時(shí)候,更容易吸附灰塵,,而且難以擦除,。(膜外)

  5、真空室充氣口環(huán)境臟,、開(kāi)始充氣量過(guò)大,、充氣過(guò)濾器臟,充氣時(shí)鏡片溫度過(guò)高也是造成鏡片膜外灰塵點(diǎn)不良的原因,。(膜外)

  6,、 作業(yè)員人為帶來(lái)的灰塵污染(膜內(nèi)膜外)

  7、 工作環(huán)境中灰塵過(guò)多

  改善思路:杜絕灰塵源

  改善對(duì)策:

  1,、工作環(huán)境改造潔凈車(chē)間,,嚴(yán)格按潔凈車(chē)間規(guī)范實(shí)施。

  2,、盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生,。盡量利用潔凈工作臺(tái),。

  3、 真空室周期打掃,,保持清潔,。

  02 膜外白霧

  現(xiàn)象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,,用丙酮或混合液擦拭,,會(huì)有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭,,可以擦掉或減輕,,(又稱(chēng):可擦拭壓克)

  分析:膜外白霧的成因較為復(fù)雜,可能的成因有:

 ?、?、膜結(jié)構(gòu)問(wèn)題:外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散,外層膜太粗糙,;

 ?、凇⒄舭l(fā)角過(guò)大,,膜結(jié)構(gòu)粗糙,。

  ③,、溫差:鏡片出罩時(shí)內(nèi)外溫差過(guò)大

 ?、堋⒊睔?;鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣

 ?、荨⒄婵帐覂?nèi)Polycold解凍時(shí)水汽過(guò)重

 ?、?、蒸鍍中充氧不完全,膜結(jié)構(gòu)不均勻

 ?、?、膜與膜之間的應(yīng)力

  改善思路:膜外白霧成因很多,,但各有些特征,,盡量對(duì)癥下藥。主要思路,,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,,二是改善環(huán)境減少吸附的對(duì)象。

  改善對(duì)策:

  1,、改善膜系,,外層加二氧化硅,,使膜表面光滑,不易吸附,。改善鏡片出罩時(shí)的環(huán)境(干燥,、清潔)

  2、降低出罩時(shí)的鏡片溫度(延長(zhǎng)在真空室的冷卻時(shí)間)減少溫差,、降低應(yīng)力,。

  3、改善充氧(加大),,改善膜結(jié)構(gòu),。

  4、適當(dāng)降低蒸發(fā)速率,,改善柱狀結(jié)構(gòu)

  5,、離子輔助鍍膜,改善膜結(jié)構(gòu)

  6,、加上polycold解凍時(shí)的小充氣閥(其功能是及時(shí)帶走水汽)

  7,、從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。

  8,、改善基片表面粗糙度,。

  9、注意polycold解凍時(shí)的真空度,。

  03 膜內(nèi)白霧

  白霧形成在膜內(nèi),,無(wú)法用擦拭方法祛除。

  可能的成因:

 ?、?、基片臟,附著前工程的殘留物

 ?、?、鏡片表面腐蝕污染

  ③,、膜料與膜料之間,、膜料與基片之間的不匹配。

 ?、?、氧化物充氧不夠。

 ?、?、一層氧化鋯膜料,可能對(duì)某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象

 ?、?、基片進(jìn)罩前(洗凈后)受潮氣污染

 ?、摺⑾磧艋虿潦貌涣?,洗凈痕跡,、擦拭痕跡

  ⑧,、真空室臟,、水氣過(guò)重

  ⑨,、環(huán)境濕度大

  改善思路:基片本身的問(wèn)題可能是主要的,,鍍膜是盡量彌補(bǔ),鍍膜本身的可能是膜料匹配問(wèn)題,。

  改善對(duì)策:

  1,、改進(jìn)膜系,層不用氧化鋯,。

  2,、盡量減少真空室開(kāi)門(mén)時(shí)間,罩與罩之間在短時(shí)間內(nèi)做好真空室的清潔,、鍍膜準(zhǔn)備工作,。

  3、真空室在更換護(hù)板,、清潔后,,能空罩抽真空烘烤一下,更換的護(hù)板等真空室部件必須干燥,、干凈,。

  4、改善環(huán)境

  5,、妥善保護(hù)進(jìn)罩前在傘片上的鏡片,,免受污染。

  6,、改善洗凈,、擦拭效果。

  7,、改善膜匹配(考慮層用Al2O3)

  8,、改善膜充氧和蒸發(fā)速率(降低)

  9、加快前工程的流程,。前工程對(duì)已加工光面的保護(hù)加強(qiáng),。

  10,、拋光加工完成的光面,,必須立即清潔干凈,,不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。

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