夜深了,,你正開車回家,。你很累,,想趕緊上床睡覺。突然,,路中間出現(xiàn)了一個(gè)龐然大物。汽車緊急制動(dòng),防止撞上動(dòng)物,,同時(shí)防止脫離道路,。通過光線檢測(cè)和定距技術(shù),也稱為LIDAR,,您的汽車成功地防止了一起車禍,。
LIDAR是一種3D傳感技術(shù),采用各種波長(zhǎng)的脈沖式激光,,測(cè)量可變距離,,檢測(cè)車輛前方、后方或側(cè)面的物體,。LIDAR系統(tǒng)的核心是垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),,這種半導(dǎo)體器件從頂部表面垂直發(fā)射激光。VCSEL從表面垂直發(fā)出光,,使其成為L(zhǎng)IDAR系統(tǒng)的完美器件,。
VCSEL的優(yōu)勢(shì)之一,是能夠在半導(dǎo)體晶圓上制造,,可以簡(jiǎn)便地測(cè)試電氣性能和光學(xué)性能,。此外,由于LIDAR系統(tǒng)在陣列中要求數(shù)千個(gè)單獨(dú)的VCSEL來執(zhí)行關(guān)鍵事務(wù)型應(yīng)用,,因此必須在生產(chǎn)工作流程的各個(gè)階段執(zhí)行有效測(cè)試,。通過各階段測(cè)試,可以在早期剔除不良VCSEL,,讓結(jié)果更可預(yù)測(cè),,讓良品率更可控,并降低鑄造成本,。
那么問題來了:VCSEL測(cè)試面臨著一長(zhǎng)串挑戰(zhàn),,而且挑戰(zhàn)只會(huì)隨著技術(shù)進(jìn)步不斷提高。這篇博文意在更深入地考察這些挑戰(zhàn),,以及泰克科技旗下公司吉時(shí)利最新推出的2601B-Pulse脈沖器/SMU儀器可以怎樣幫助設(shè)計(jì)人員克服這些挑戰(zhàn),。
使用傳統(tǒng)SMU進(jìn)行VCSEL測(cè)試的挑戰(zhàn)
設(shè)計(jì)人員通常使用傳統(tǒng)儀器測(cè)試VCSEL,如源測(cè)量單元(SMUs),,但隨著技術(shù)不斷進(jìn)步,,測(cè)試挑戰(zhàn)數(shù)量正不斷增多。下面是其中五個(gè)最大的挑戰(zhàn),。
第一,,LIDAR使用的VCSEL要求更高的功率,因此需要更高的測(cè)試電流,。引入更高的測(cè)試電流因自熱提高了器件損壞的風(fēng)險(xiǎn),,在晶圓上測(cè)試時(shí),,這可能會(huì)成為問題,因?yàn)樗鼤?huì)嚴(yán)重降低良品率,。
第二,,要求在晶圓上進(jìn)行脈沖電流測(cè)試,以使器件熱量達(dá)到最小,,一般要求幾十微秒的脈寬及一位數(shù)微秒或以下的上升時(shí)間,。
第三,測(cè)試系統(tǒng)中使用的電纜長(zhǎng)度及相關(guān)電感影響著儀器提供干凈的,、快速上升時(shí)間,、無過沖、無下沖的脈沖的能力,。
第四,,對(duì)LIDAR應(yīng)用,VCSEL通常被驅(qū)動(dòng)到高達(dá)10 A,,包括在陣列中,。但巨大的挑戰(zhàn)是生成短脈沖,短達(dá)10微秒,,且上升時(shí)間非常短,,通常不到2微秒。這一點(diǎn)非常關(guān)鍵,,因?yàn)?0%以上的VCSEL客戶要求脈沖電流波形穩(wěn)定,,以保證光峰值功率、近場(chǎng)和遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量的準(zhǔn)確度,。
第五,遺憾的是,,并不是所有脈沖器/SMU儀器都會(huì)輸出高質(zhì)量脈沖,。某些儀器容易過沖,上升時(shí)間長(zhǎng),,下降時(shí)間長(zhǎng),。許多儀器要求手動(dòng)調(diào)諧來改善脈沖波形形狀,特別是在為VCSEL提供電流脈沖時(shí),,其電感可能會(huì)在不同器件之間及因測(cè)試電纜電感而變化,。
在電流以非常小的脈寬發(fā)送脈沖時(shí),某些SMUs容易過沖,,下降時(shí)間長(zhǎng),。
最首要的,即使在特定電流電平下調(diào)諧脈沖輸出,,仍不能保證手動(dòng)調(diào)諧可以得到一致的脈沖波形,,特別是在測(cè)試脈沖式IV幅度掃描的VCSEL時(shí),。某些脈沖器/SMU解決方案要求大量的調(diào)諧參數(shù),如帶寬,、補(bǔ)償頻率,、零極點(diǎn)、負(fù)載阻抗和上升時(shí)間,。但在生產(chǎn)測(cè)試中,,在車間里調(diào)諧脈沖輸出要么不方便,要么效率差,。因此,,行業(yè)一直要求泰克/吉時(shí)利這樣的公司開發(fā)速度更快、電流更高的源和測(cè)量設(shè)備,,以便提供他們所需的性能,。
客戶就這些問題與我們分享了許多關(guān)注事項(xiàng),告訴我們:
·我們需要更短的電流脈沖,,低達(dá)10 μs,,但電流高達(dá)10 A。
·我們必須使脈寬達(dá)到最小,,以提供更高的電流測(cè)試VCSEL和陣列,。
·我們不能容忍器件變熱,甚至可能燒毀探頭尖端,。
·電流脈沖的任何過沖都可能會(huì)導(dǎo)致器件損壞,。
·我沒時(shí)間不斷調(diào)諧來獲得最好的脈沖輸出。
·如果波形不是高保真波形,,那么可能會(huì)導(dǎo)致表征錯(cuò)誤,,進(jìn)而導(dǎo)致良品率差及現(xiàn)場(chǎng)故障。
吉時(shí)利脈沖器/SMU解決方案
為應(yīng)對(duì)客戶反饋的挑戰(zhàn),,吉時(shí)利最新開發(fā)了2601B-PULSE系統(tǒng)源表10 μs脈沖器/SMU儀器,。最新2601B-PULSE采用脈沖表技術(shù),是一種業(yè)界領(lǐng)先的高電流/高速脈沖器,,提供了傳統(tǒng)SMU的測(cè)量及全部功能,。這種最新脈沖器在10 V時(shí)提供了領(lǐng)先的10 A電流脈沖輸出,支持最低10 μs脈寬,,特別適合測(cè)試LIDAR中使用的VCSEL,、照明和顯示器中的LED,以及半導(dǎo)體器件表征,、浪涌保護(hù)測(cè)試等,。
吉時(shí)利最新推出的2601B-PULSE系統(tǒng)源表10μs脈沖器/SMU儀器
脈沖器內(nèi)置1 M樣點(diǎn)/秒(MS/s) 18位模數(shù)轉(zhuǎn)化器,可以同時(shí)采集脈沖電流和電壓波形,,而無需使用單獨(dú)的儀器,。2601B-PULSE是一種強(qiáng)大的解決方案,,明顯提升了各種應(yīng)用中的生產(chǎn)效率,如臺(tái)式表征及高度自動(dòng)化脈沖式I-V生產(chǎn)測(cè)試,。
這種新型儀器最具創(chuàng)新性的功能是不要求手動(dòng)調(diào)諧,,不管電流幅度是多少,也不管電感負(fù)載高達(dá)3 μH,。在輸出電流脈沖時(shí),,線纜和電感可能會(huì)成為難題。電感可能會(huì)有限制效應(yīng),,甚至?xí)頁(yè)p壞,。電感在不同器件之間通常是不同的,即使是在測(cè)試晶圓上的激光二極管時(shí),。電感對(duì)電流源的影響在于,,電感會(huì)阻止電流變化。這會(huì)導(dǎo)致電流源提高輸出電壓,,在脈沖穩(wěn)定時(shí)導(dǎo)致過沖和振鈴,,而這在測(cè)試中是不可接受的。
被測(cè)器件和測(cè)試系統(tǒng)電纜中的電感可能會(huì)影響輸出電流脈沖的質(zhì)量,。
如前所述,,某些解決方案要求調(diào)諧以補(bǔ)償這些行為,可能會(huì)耗費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間,。2601B-PULSE的控制環(huán)路系統(tǒng)對(duì)10 A以下任何電流3 μH以下負(fù)載變化不需要手動(dòng)調(diào)諧,,因此在輸出10 μs ~ 500 μs脈沖時(shí)沒有過沖和振鈴。這保證了快速上升時(shí)間,,可以為器件提供電流脈沖,,正確表征器件或電路。在通過多個(gè)幅度掃描脈沖時(shí),,如VCSEL脈沖式LIV測(cè)試掃描中,,這一點(diǎn)異常重要。下圖顯示了各種電流幅度時(shí)的高保真電流脈沖輸出及2601B-PULSE的電感負(fù)載,。
很明顯,,2601B-PULSE提供了業(yè)界領(lǐng)先的電流脈沖輸出性能,,消除了手動(dòng)調(diào)諧,,而在高速自動(dòng)探測(cè)系統(tǒng)中測(cè)試晶圓上的VCSEL時(shí),手動(dòng)調(diào)諧效率很差,。上圖清楚地顯示了您可以滿懷信心地測(cè)試,,而不管電流電平及不同電感負(fù)載,可以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的性能和上升時(shí)間,。這款新儀器提供了許多好處:
·使用一臺(tái)儀器進(jìn)行DC/脈沖電流和電壓測(cè)量
·滿懷信心地表征VCSEL,,幫助您開發(fā)下一代材料,、元器件和模塊
·不需要手動(dòng)調(diào)諧脈沖輸出,保證高脈沖保真度,,縮短測(cè)試時(shí)間,,節(jié)省生產(chǎn)成本
·最大限度地減少器件自熱,減少探頭尖端燒毀的風(fēng)險(xiǎn),,從而保護(hù)VCSEL,、VSCEL陣列和LED
·測(cè)量最低一位數(shù)μs的采樣率,同時(shí)計(jì)算10V時(shí)10 μs,、10 A電流脈沖
您正面臨著哪些測(cè)試挑戰(zhàn),?
您是否裝備充足,可以表征LIDAR使用的VCSEL或者其他光電器件,?您是否準(zhǔn)備好克服這些不斷進(jìn)化的器件提出的不斷增長(zhǎng)的挑戰(zhàn),?歡迎與我們溝通您的脈沖測(cè)試應(yīng)用,討論最新2601B-PULSE可以怎樣幫助您解決挑戰(zhàn),。請(qǐng)與我們的應(yīng)用工程師聯(lián)系,,或訪問2601B-PULSE產(chǎn)品頁(yè)面了解更多信息。