本期是獲得本次“中國光電博覽獎”金獎的產(chǎn)品，分別為季華實(shí)驗(yàn)室的極大規(guī)模集成電路制造裝備專用射頻電源研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化和蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司的數(shù)字化高精度激光干涉儀。

　　季華實(shí)驗(yàn)室

　　助力中國提升半導(dǎo)體科技硬實(shí)力

　　季華實(shí)驗(yàn)室展示項(xiàng)目受到本屆中國光博會的推介,，其中項(xiàng)目“極大規(guī)模集成電路制造裝備專用射頻電源研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”經(jīng)“中國光電博覽獎”專家團(tuán)評審,，榮獲金獎,。季華實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體技術(shù)部主任徐平對該項(xiàng)目獲此殊榮也表示感謝及肯定,。

　　本次金獎獲獎企業(yè)季華實(shí)驗(yàn)室獲獎產(chǎn)品JHL-RF 5000 2MHz射頻電源

　　JHL-RF 5000 2MHz射頻電源

　　該產(chǎn)品是季華實(shí)驗(yàn)室旗下的“微波與真空技術(shù)研究室”研發(fā)團(tuán)隊(duì)經(jīng)一年多的努力，開發(fā)出的第二款高端制造專用電源產(chǎn)品,，是一種高性能,、高穩(wěn)定、高精確的大功率射頻電源：在2MHz頻率下穩(wěn)定輸出功率達(dá)到 5 kW,，基于脈沖模擬,、掃頻算法、窄帶功率傳感器及智能雙環(huán)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高精度可調(diào)制脈沖射頻輸出,；針對功率拓?fù)?、合路輸出架?gòu)以及冷卻系統(tǒng)等方面進(jìn)行全面優(yōu)化，直接提升射頻電源的穩(wěn)定性和耐用性,。該款大功率高穩(wěn)定的射頻電源作為集成電路制造裝備核心零部件之一,，廣泛適用于等離子體應(yīng)用，包括等離子刻蝕,、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、等離子清洗,、離子注入等半導(dǎo)體關(guān)鍵工序設(shè)備,，也可應(yīng)用在太陽能板、面板制造行業(yè)中,。未來,，微波與真空技術(shù)研究室團(tuán)隊(duì)將以6kW2.45GHz微波電源及5kW 2MHz射頻電源為主打，大力推進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)專用電源的產(chǎn)業(yè)化,，突破國外技術(shù)和設(shè)備壟斷封鎖,，推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，為實(shí)現(xiàn)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備國產(chǎn)化做貢獻(xiàn),。

　　季華實(shí)驗(yàn)室是廣東省委,、省政府啟動的首批4家廣東省實(shí)驗(yàn)室之一，圍繞國家和廣東省重大需求，集聚,、整合國內(nèi)外優(yōu)勢創(chuàng)新資源,，打造先進(jìn)制造科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域國內(nèi)一流、國際高端的戰(zhàn)略科技創(chuàng)新平臺,。

　　徐主任說3年前,，在外奮斗了幾十年的他帶著創(chuàng)業(yè)夢，帶著團(tuán)隊(duì)從新加坡回到中國,，入駐佛山季華實(shí)驗(yàn)室,，開展基礎(chǔ)研發(fā)、應(yīng)用研發(fā)和學(xué)科建設(shè),?！拔覀儓F(tuán)隊(duì)的目標(biāo)是沉淀一批自主可控的核心技術(shù)，用填補(bǔ)國內(nèi)空白的首批‘季華’品牌為佛山經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展添動能,，助力佛山制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,，助力中國提升半導(dǎo)體科技硬實(shí)力?！彼又f道,，“簡單說，我就是開了一家服務(wù)于半導(dǎo)體企業(yè)的‘4S店’,，扮演者‘修理工’的角色,，為半導(dǎo)體大廠提供服務(wù)”，“開自己的‘4S’店只是我創(chuàng)業(yè)夢的第一步,，我想把在國外學(xué)習(xí)掌握的知識,、技術(shù)帶回中國，在中國‘設(shè)廠’,，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,。”

　　蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司

　　助力國家光電產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展

　　蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司代表十分高興的表示,，蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司申報(bào)的“數(shù)字化高精度激光干涉儀”能夠獲得首屆“中國光電博覽獎”金獎,，這是團(tuán)隊(duì)每一位成員相互協(xié)作，齊心協(xié)力的共同榮譽(yù),，也是各位評審專家以及整個光電產(chǎn)業(yè)對蘇州慧利儀器產(chǎn)品和技術(shù)能力的認(rèn)可和肯定,。

　　該公司領(lǐng)導(dǎo)在受訪中表示，“本次能夠獲得‘中國光電博覽獎’金獎也是幸運(yùn)的,。因?yàn)橛泻枚鄨F(tuán)隊(duì)可能比我們做得更優(yōu)秀,，只是閃光點(diǎn)未能完全展現(xiàn)。展望未來,，希望慧利儀器能夠和產(chǎn)業(yè)內(nèi)的同行者一道進(jìn)步,，助力國家光電產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。”

　　數(shù)字化高精度激光干涉儀

　　無應(yīng)力平面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種,，它采用國內(nèi)外首創(chuàng)的組合式激光干涉儀作為核心部件,，主要用于高效檢測高精度平面，是蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司新推出的尖端力作,。該產(chǎn)品包括光源,、主機(jī)、成像以及鏡頭和相移等四大模塊,，主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際一流水平,，采用更加簡便操作的俯式測量，其擁有極高的絕對測量精度PV和絕對測量重復(fù)性RMS,，并突破了一等平面平晶限制,，且其采樣點(diǎn)可達(dá)上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌,。不僅測量精度高,，而且具有極高的測量效率。此款干涉儀可廣泛應(yīng)用高精度光學(xué)元件制造,、計(jì)量檢測,、生物醫(yī)學(xué)、航空航天,、國防,、微電子、能源等眾多領(lǐng)域,，具有廣闊的市場前景,。

　　現(xiàn)場高效球面檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一種高性能模塊化組合檢測干涉儀，它采用國內(nèi)外首創(chuàng)的組合式激光干涉模塊作為核心部件,，主要用于檢測高精度快速球面和曲率半徑球面面形,。通過模塊化的設(shè)計(jì)理念，針對不同的光源,、鏡頭口徑,、成像方式，不僅在測量過程中拆卸方便,，也可適用于多種被測面的測量,，大大降低檢測成本,。通過慧利儀器專用軟件,，可對被測對象實(shí)時采樣和分析，并形成2D和3D圖形,。

　　通用組合水平式檢測干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一款高性能模塊化組合激光檢測干涉儀,。它依據(jù)可模塊化組合的設(shè)計(jì)理念和通過不同的組合模式，靈活地滿足不同的檢測需求。進(jìn)而在結(jié)構(gòu)簡單,、適用于多種被測面的前提下,，使用數(shù)字化相移分析方法實(shí)現(xiàn)高精度、多功能的檢測,，從而大大降低檢測成本,。此款干涉儀解決了被檢測對象的不確定與檢測系統(tǒng)相對固定之間的匹配問題，以及由此帶來的現(xiàn)有儀器實(shí)用性受限問題,。它不僅實(shí)現(xiàn)了干涉測量技術(shù)的更新?lián)Q代,，而且填補(bǔ)了制造業(yè)和國家質(zhì)檢部門對高精度平面檢測設(shè)備需求的空白。

　　據(jù)悉,，蘇州慧利儀器是一家致力于光機(jī)電軟集成和系統(tǒng)設(shè)計(jì)一體化的光學(xué)精密測量儀器公司,。將國際領(lǐng)先的光學(xué)檢測技術(shù)產(chǎn)業(yè)化和引領(lǐng)光學(xué)檢測產(chǎn)業(yè)的發(fā)展潮流是慧利儀器的奮斗目標(biāo)?；劾麅x器團(tuán)隊(duì)在光學(xué)檢測領(lǐng)域具有三十多年的研發(fā)和工程化經(jīng)驗(yàn),，研發(fā)總經(jīng)費(fèi)數(shù)億元，形成了以光機(jī)電軟一體化為核心的研發(fā)體系,。

　　接下來,，我們還會定期為大家?guī)砀喃@獎企業(yè)產(chǎn)品推介，請大家持續(xù)關(guān)注,！

　　中國國際光電博覽會同期六展覆蓋信息通信,、激光、紅外,、紫外,、精密光學(xué)、鏡頭及模組,、傳感等版塊,，面向通信、消費(fèi)電子,、先進(jìn)制造,、國防安防、半導(dǎo)體加工,、能源,、傳感、照明顯示,、醫(yī)療等九大應(yīng)用領(lǐng)域展示前沿的光電創(chuàng)新技術(shù)及綜合解決方案,，是行業(yè)人士尋找新技術(shù)新產(chǎn)品、了解市場先機(jī)的一站式商貿(mào),、技術(shù)及交流平臺,。