功率器件作為半導體產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,，擁有非常廣泛的技術(shù)分類以及應用場景,。例如，傳統(tǒng)的硅基二極管,、IGBT和MOSFET等產(chǎn)品經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展,，占據(jù)了絕對領(lǐng)先的市場份額。不過,，隨著新能源汽車,、數(shù)據(jù)中心、儲能,、手機快充等應用的興起,，擁有更高耐壓等級、更高開關(guān)頻率,、更高性能的新型SiC,、GaN等第三代半導體功率器件逐漸嶄露頭角，獲得了業(yè)界的持續(xù)關(guān)注,。
如今,，在生產(chǎn)工藝不斷優(yōu)化、成本持續(xù)降低的情況下,，老牌大廠與初創(chuàng)企業(yè)紛紛加碼第三代半導體,，SiC和GaN功率器件開始投入批量應用，并迎來了關(guān)鍵的產(chǎn)能爬坡階段,。作為半導體制造業(yè)的關(guān)鍵參與者,，業(yè)界領(lǐng)先的ALD設備制造商和服務商青島四方思銳智能技術(shù)有限公司日前重磅亮相2021年中國集成電路制造年會（CICD），向業(yè)界展示了ALD技術(shù)在功率半導體制造環(huán)節(jié)的創(chuàng)新應用,，共同探討新開局新挑戰(zhàn)下的行業(yè)發(fā)展新機遇,。
思銳智能受邀參加2021年中國集成電路制造年會
ALD與GaN相得益彰，SRII本地化布局加速中國三代半供應鏈構(gòu)建
縱觀第三代半導體功率應用,，GaN無疑是率先突破的細分市場,。根據(jù)Yole Développement的最新調(diào)研報告，預計2026年全球GaN功率器件的市場規(guī)模將增長至11億美元,，年均復合增長率達到70%,，其中手機快充等消費市場是未來2-3年的主要驅(qū)動力，新能源汽車OBC充電器,、工業(yè)領(lǐng)域逆變器,、數(shù)據(jù)中心高效電源等應用則緊隨其后。
在CICD同期舉行的“功率及化合物半導體”專題論壇上,，思銳智能總經(jīng)理聶翔先生在演講中表示：“面對來自市場端的巨大需求,，無論是外延廠還是Fab都在積極擴建當前產(chǎn)能。思銳智能作為生產(chǎn)設備供應商，更能深切地體會到行業(yè)產(chǎn)能擴充在過去的1-2年里有著明顯的增速,。對此,，我們很早就推出了量產(chǎn)型ALD沉積設備--Transform?系列，廣泛布局本土功率市場,，助力中國第三代半導體產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)能擴充需求,。不久前，我們成功交付了一套最新的Beneq Transform? Lite設備給到中國市場的第三代半導體龍頭客戶,，幫助其加速GaN產(chǎn)線的擴建,。”
聶翔闡述思銳智能在第三代半導體領(lǐng)域的廣泛布局
思銳智能近期成功交付Beneq TransformTM Lite設備
據(jù)了解,，思銳智能的先進ALD鍍膜工藝可顯著改善GaN器件的綜合性能,、并已達到量產(chǎn)化的要求。而ALD技術(shù)能夠以一個原子的厚度（0.1nm）為精度實現(xiàn)基底表面的鍍膜,，這是區(qū)別于其他沉積工藝的一大優(yōu)勢，尤其是在復雜的3D結(jié)構(gòu)上可實現(xiàn)高保形,、高質(zhì)量的薄膜生長,，同時ALD具有較寬的工藝窗口，也支持多種薄膜疊層鍍膜,。對于SiC,、GaN等功率與化合物材料，其器件3D結(jié)構(gòu)越來越復雜,，對薄膜要求也越來越高,，因此ALD技術(shù)成為了該領(lǐng)域的新寵。
產(chǎn)研合作致力創(chuàng)新落地
針對業(yè)界大熱的第三代半導體應用,，思銳智能不僅在GaN器件的ALD鍍膜上實現(xiàn)了量產(chǎn)化的解決方案,，也在持續(xù)挖掘ALD技術(shù)之于傳統(tǒng)硅基，SiC,，GaN器件的創(chuàng)新應用潛力,。例如，思銳智能旗下子公司Beneq立足于歐洲,，已攜手眾多研究機構(gòu)開展以上這些領(lǐng)域的技術(shù)合作,，致力于量產(chǎn)化的創(chuàng)新?！爱斎?，我們也非常希望能夠與國內(nèi)的機構(gòu)或者行業(yè)客戶一起開展聯(lián)合研發(fā)工作，通過采用基于ALD技術(shù)的創(chuàng)新應用,，實現(xiàn)提升器件性能以及易于量產(chǎn)的目的,。”聶翔表示。
25片8寸晶圓的batch工藝條件下的產(chǎn)能情況,，基于完全真實的cycle time和GPC,、WiW、WtW,，指標完全滿足spec要求
與此同時,，思銳智能正在不斷拓展旗下Beneq Transform?系列產(chǎn)品，進而應對愈加復雜的半導體鍍膜需求,，全面對標集成電路,、功率與化合物半導體和泛半導體應用。自2019年起,，在歐洲,，美國、日本,、中國大陸和臺灣地區(qū)內(nèi)全球知名的半導體客戶量產(chǎn)線上投入使用,，有著充分驗證的工藝穩(wěn)定性和設備穩(wěn)定性。同時,，可以提供行業(yè)最完善的成熟量產(chǎn)工藝包,，涵蓋各類氧化物、氮化物等,。截至目前,，Transform?系列產(chǎn)品已獲得全球多個客戶的訂單。
