《電子技術(shù)應(yīng)用》
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JEOL推出InTouchScope?新型掃描電子顯微鏡JSM-IT510系列

2021-11-10
來源:電子創(chuàng)新網(wǎng)

  便于獲取所有樣本類型的數(shù)據(jù)

  JEOL Ltd. (TOKYO:6951)(總裁兼首席運(yùn)營官:Izumi Oi)于2021年11月宣布開發(fā)并推出新型掃描電子顯微鏡(SEM)——JSM-IT510系列。

 

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  產(chǎn)品開發(fā)背景

  掃描電子顯微鏡被廣泛用于納米技術(shù)、金屬,、半導(dǎo)體、陶瓷,、醫(yī)學(xué)和生物學(xué)等各種領(lǐng)域。此外,,SEM的應(yīng)用范圍正在不斷擴(kuò)大,,不僅涉及基礎(chǔ)研究,還涵蓋制造現(xiàn)場的質(zhì)量控制,。因此,,對(duì)更快、更輕松地獲取SEM圖像和分析結(jié)果數(shù)據(jù)的需求有所增加,,例如能量色散X射線光譜(EDS),。

  為了滿足這些需求并提高產(chǎn)量,我們開發(fā)出JSM-IT510系列,,該系列進(jìn)一步提升了我們備受青睞的InTouchScope?的可操作性,。借助新增的Simple SEM(簡便SEM)功能,您現(xiàn)在可以將日常工作(重復(fù)性操作)“交給”儀器,。

  主要特性

  新型“Simple SEM”功能

  Simple SEM功能使用戶能夠方便地選擇SEM圖像的采集條件和視場角,,然后自動(dòng)采集SEM圖像。日常工作可以更高效地完成,。

  新型“低真空混合二次電子探測器(LHSED)”

  這種新型探測器可收集電子和光子信號(hào),,即使在低真空條件下也能提供具有高信噪比和增強(qiáng)地形信息的圖像。

  集成掃描電子顯微鏡(SEM)和能量色散X射線光譜儀(EDS)系統(tǒng),。

  SEM和EDS的集成得到了進(jìn)一步發(fā)展,,Live Map(實(shí)時(shí)地圖)功能可以實(shí)時(shí)顯示觀測視場角的元素分布圖。

  新的“實(shí)時(shí)3D”功能

  當(dāng)進(jìn)行SEM觀察以獲得非均勻性和深度信息時(shí),,可以現(xiàn)場構(gòu)建3D圖像,。

  實(shí)時(shí)分析功能

  嵌入式EDS系統(tǒng)可在圖像觀測期間顯示實(shí)時(shí)EDS光譜,以實(shí)現(xiàn)高效的元素分析,。

  新的階段導(dǎo)航系統(tǒng)LS功能

  新的階段導(dǎo)航系統(tǒng)LS可以獲得四倍于傳統(tǒng)型號(hào)(200 mm x 200 mm)的區(qū)域光學(xué)圖像,。該功能使用戶能夠獲取觀測樣本的光學(xué)圖像,并通過簡單點(diǎn)擊光學(xué)圖像移動(dòng)到所需的觀測區(qū)域,。

  Zeromag

  使用我們的Zeromag功能,樣本導(dǎo)航比以往任何時(shí)候都更簡單,。您可以使用光學(xué)圖像或支架圖形定位成像區(qū)域或指定多個(gè)視場角上的分析位置,。

  顯示特征X射線生成深度

  有助于快速了解樣本的分析深度(參考),。

  SMILE VIEW?實(shí)驗(yàn)室,能夠?qū)D像和分析數(shù)據(jù)進(jìn)行綜合管理,。

  便于在短時(shí)間內(nèi)生成從收集的SEM圖像到元素分析結(jié)果的所有數(shù)據(jù)報(bào)告,。

  目標(biāo)銷量

  200臺(tái)/年




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