12月16日消息,，昨天，晶瑞電材發(fā)布投資者關(guān)系活動記錄表,，并表示其KrF（248）光刻膠產(chǎn)品已完成中試,，建成了中試示范線，已進入客戶測試階段,，并已經(jīng)開始著手建設(shè) KrF 光刻膠的量產(chǎn)化生產(chǎn)線,。

另外，經(jīng)瑞電材已經(jīng)開始啟動其ArF（193）高端光刻膠的研發(fā)工作,，目前已經(jīng)完成光刻機,、勻膠顯影機、掃描電鏡,、臺階儀等關(guān)鍵研發(fā)設(shè)備的購置,，其中，ASML 1900Gi 型光刻機設(shè)備正在積極調(diào)試中,。

有投資者問道,，公司是否已經(jīng)購得一臺 KrF 光刻機，公司目前共有幾臺光刻機,？ 晶瑞電材表示,，公司近期已購得 KrF 光刻機一臺，可用于 KrF 光刻膠的曝光測試,，同時公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中,。此前，公司已經(jīng)購得用于負(fù)膠,、g 線,、i線、ArF 等 4 臺光刻機,，再加之此次購得的 KrF 光刻機,，截至目前，公司已經(jīng)到位 5 臺光刻機,。

眾所周知,，由于國內(nèi)光刻膠領(lǐng)域起步較晚，技術(shù)嚴(yán)重落后等原因,，導(dǎo)致我國半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的光刻膠需求主要由外資企業(yè)來滿足,，日美廠商占據(jù)了約87％的份額,，國內(nèi)光刻膠產(chǎn)品進口比例高達九成。

如今,，國內(nèi)能實現(xiàn)光刻膠量產(chǎn)的企業(yè)只有晶瑞電材和北京科華兩家企業(yè),，其中，晶瑞電材公司的i線光刻膠已實現(xiàn)供貨中芯國際,、合肥長鑫等國內(nèi)FAB廠,，北京科華則已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)KrF光刻膠，并向中芯國際供貨,。

目前國內(nèi)的高端ArF光刻膠領(lǐng)域里,，仍沒有企業(yè)能實現(xiàn)量產(chǎn)，目前國內(nèi)在ArF光刻膠領(lǐng)域進度較為領(lǐng)先的企業(yè)是南大光電,，其自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品，在2020年12月時成功通過武漢新芯的使用認(rèn)證,，成為通過產(chǎn)品驗證的第一家國產(chǎn)ArF光刻膠企業(yè),，目前，南大光電已經(jīng)建設(shè)完成ArF光刻膠產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)線,，全面實現(xiàn)量產(chǎn)后,，產(chǎn)能將達到年產(chǎn)25噸ArF光刻膠。

現(xiàn)在,，晶瑞電材也已經(jīng)開始研發(fā)高端ArF光刻膠,，在未來，隨著晶瑞電材KrF光刻膠測試完成并逐步量產(chǎn),、ArF光刻膠研發(fā)成功并實現(xiàn)量產(chǎn),，以及其在南通、陜西,、四川等基地新增的高純硫酸,、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放,，將為國內(nèi)的光刻膠產(chǎn)業(yè)帶來新的突破,。