12月16日消息,，昨天,，晶瑞電材發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表，并表示其KrF（248）光刻膠產(chǎn)品已完成中試,，建成了中試示范線,，已進(jìn)入客戶測(cè)試階段,，并已經(jīng)開(kāi)始著手建設(shè) KrF 光刻膠的量產(chǎn)化生產(chǎn)線。

另外,，經(jīng)瑞電材已經(jīng)開(kāi)始啟動(dòng)其ArF（193）高端光刻膠的研發(fā)工作,，目前已經(jīng)完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī),、掃描電鏡,、臺(tái)階儀等關(guān)鍵研發(fā)設(shè)備的購(gòu)置，其中,，ASML 1900Gi 型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中,。

有投資者問(wèn)道，公司是否已經(jīng)購(gòu)得一臺(tái) KrF 光刻機(jī),，公司目前共有幾臺(tái)光刻機(jī),？ 晶瑞電材表示，公司近期已購(gòu)得 KrF 光刻機(jī)一臺(tái),，可用于 KrF 光刻膠的曝光測(cè)試,，同時(shí)公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前，公司已經(jīng)購(gòu)得用于負(fù)膠,、g 線,、i線、ArF 等 4 臺(tái)光刻機(jī),，再加之此次購(gòu)得的 KrF 光刻機(jī),，截至目前，公司已經(jīng)到位 5 臺(tái)光刻機(jī),。

眾所周知,，由于國(guó)內(nèi)光刻膠領(lǐng)域起步較晚，技術(shù)嚴(yán)重落后等原因,，導(dǎo)致我國(guó)半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的光刻膠需求主要由外資企業(yè)來(lái)滿足,，日美廠商占據(jù)了約87％的份額，國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)品進(jìn)口比例高達(dá)九成,。

如今,，國(guó)內(nèi)能實(shí)現(xiàn)光刻膠量產(chǎn)的企業(yè)只有晶瑞電材和北京科華兩家企業(yè)，其中,，晶瑞電材公司的i線光刻膠已實(shí)現(xiàn)供貨中芯國(guó)際,、合肥長(zhǎng)鑫等國(guó)內(nèi)FAB廠，北京科華則已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)KrF光刻膠,，并向中芯國(guó)際供貨,。

目前國(guó)內(nèi)的高端ArF光刻膠領(lǐng)域里，仍沒(méi)有企業(yè)能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),，目前國(guó)內(nèi)在ArF光刻膠領(lǐng)域進(jìn)度較為領(lǐng)先的企業(yè)是南大光電,，其自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品，在2020年12月時(shí)成功通過(guò)武漢新芯的使用認(rèn)證,，成為通過(guò)產(chǎn)品驗(yàn)證的第一家國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠企業(yè),，目前，南大光電已經(jīng)建設(shè)完成ArF光刻膠產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)線,，全面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)后,，產(chǎn)能將達(dá)到年產(chǎn)25噸ArF光刻膠。

現(xiàn)在,，晶瑞電材也已經(jīng)開(kāi)始研發(fā)高端ArF光刻膠,，在未來(lái)，隨著晶瑞電材KrF光刻膠測(cè)試完成并逐步量產(chǎn),、ArF光刻膠研發(fā)成功并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),，以及其在南通、陜西,、四川等基地新增的高純硫酸,、NMP,、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放，將為國(guó)內(nèi)的光刻膠產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的突破,。