眾所周知,,芯片的原材料是砂子,,但從砂子變成芯片,,中間要經(jīng)過N道工序,需要N種設(shè)備,,同時也需要尖頂?shù)募夹g(shù),。
而這些設(shè)備中,最重要的就是光刻機,、刻蝕機了,,按照機構(gòu)的數(shù)據(jù)顯示,在芯片制造的所有設(shè)備中,,光刻機的成本占比約為24%,,而刻蝕機的占比約為20%,這兩種設(shè)備合計占比為44%,。
之后再是薄膜沉積設(shè)備,、測試設(shè)備和封裝設(shè)備,,分別占比20%,、9%、6%,。不過薄膜沉積設(shè)備不只有一臺,,而是一類機器,有很多種,,與光刻機,、刻蝕機還是不一樣的。
那么問題就來了,,既然這兩種設(shè)備這么關(guān)鍵,,那么國內(nèi)的光刻機、刻蝕機技術(shù)如何,,與世界先進水平相比,,有多大的差距?
先說光刻機,,這也是大家最關(guān)心的,,目前全球最頂尖的光刻機自然是ASML的0.55孔徑的EUV光刻機,售價大約為22億一臺,,可生產(chǎn)2nm以下甚至埃米級(0.1nm)級的芯片,。
之后再是0.33孔徑的ASML的EUV光刻機,,售價10億元一臺,可生產(chǎn)5nm,、4nm,、3nm級別的芯片。
不過EUV光刻機只有ASML能夠生產(chǎn),,像尼康,、佳能也不生產(chǎn)不了,而目前國內(nèi)廠商上海微電子能夠生產(chǎn)的,,且對外公開的(不公開的不清楚),,只能用于90nm工藝,離ASML至少是10年的差距,。
再說說刻蝕機,,這一塊國產(chǎn)就非常厲害了,國內(nèi)有一家廠商叫做中微半導(dǎo)體,,生產(chǎn)的刻蝕機,,在精度方面已經(jīng)達到了3nm,并且被臺積電采用,。
而中微半導(dǎo)體的刻蝕機與國際頂尖水平的應(yīng)用材料,、泛林相比,是處于同一水平的,,這一塊沒有落后,。
另外再提一下薄膜沉積設(shè)備這一塊,國內(nèi)北方華創(chuàng)等也有生產(chǎn),,不過精度大約在14nm的水平,,國產(chǎn)化率在10%到15%。
可見,,半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵產(chǎn)品,,我們其實除了光刻機外,其它的并不算特別落后,,只要國產(chǎn)光刻機能夠有突破,,那么純國產(chǎn)芯片的工藝也就能夠迅速突破了。