5月24日消息,,日前上海新陽(yáng)在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示,,公司光刻膠ArF、ArF-i研發(fā)進(jìn)展順利,,已經(jīng)形成兩個(gè)系列試驗(yàn)產(chǎn)品,,樣品已經(jīng)進(jìn)入客戶端進(jìn)行測(cè)試。由于測(cè)試耗時(shí)比較長(zhǎng),,近期不會(huì)有銷售的發(fā)生,,但是產(chǎn)品總體技術(shù)的指標(biāo)還都比較不錯(cuò),我們現(xiàn)在對(duì)這方面也比較有信心,。
此外,,公司2021年完成了幾款KrF光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)、驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷售,,在手訂單中含有國(guó)內(nèi)主流頭部芯片制造公司等大小客戶,,覆蓋鋁線制程和銅線制程,用于邏輯,、模擬等芯片的生產(chǎn)制造。由于客戶對(duì)于光刻膠的使用都會(huì)比較謹(jǐn)慎,,目前還都是小批量使用,,所以今年的銷售額可能不會(huì)很大,但明年用量可能會(huì)增加較多,,后續(xù)增長(zhǎng)空間較大,。
眾所周知,光刻膠是芯片關(guān)鍵材料中的重點(diǎn)所在,,光刻膠是光刻成像的承載介質(zhì),,其作用是利用光化學(xué)反應(yīng)的原理將光刻系統(tǒng)中經(jīng)過(guò)衍射,、濾波后的光信息轉(zhuǎn)化為化學(xué)能量,進(jìn)而完成掩模圖形的復(fù)制,。
光刻膠一般由聚合物骨架,、光致酸產(chǎn)生劑或光敏化合物、溶劑,,以及顯影保護(hù)基團(tuán),、刻蝕保護(hù)基團(tuán)等其他輔助成分組成。光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,,特別是近年來(lái)大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,,更是大大促進(jìn)了光刻膠的研究開(kāi)發(fā)和應(yīng)用。
一直以來(lái),,光刻膠都是芯片關(guān)鍵材料中的重點(diǎn)所在,,由于國(guó)內(nèi)光刻膠領(lǐng)域起步較晚,技術(shù)嚴(yán)重落后等原因,,導(dǎo)致我國(guó)半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的光刻膠需求主要由外資企業(yè)來(lái)滿足,,日美廠商占據(jù)了約87%的份額,國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)品進(jìn)口比例高達(dá)九成,。
如今上海新陽(yáng)的KrF光刻膠產(chǎn)品成功打入國(guó)內(nèi)主流芯片公司,,意味著國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)業(yè)再獲得重大突破,實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代指日可待,。