近日,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)向上海新陽(yáng)提問(wèn),,公司由于研發(fā)euv光刻膠的打算,?krf光刻膠何時(shí)批量生產(chǎn),?
上海新陽(yáng)方面回應(yīng)道:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,暫無(wú)EUV光刻膠研發(fā)計(jì)劃,。
早在今年六月底,,上海新陽(yáng)就發(fā)表了一個(gè)公告。公告指出,,上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“公司”)自主研發(fā)的KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過(guò)客戶(hù)認(rèn)證,,并成功取得第一筆訂單。
按照他們的說(shuō)法,,KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化是公司第三大核心技術(shù)——光 刻技術(shù)的重要方向之一,,本次產(chǎn)品認(rèn)證的通過(guò)及訂單的取得,標(biāo)志著“KrF(248nm) 厚膜光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”,?取得了成功,,為公司在光刻技術(shù)領(lǐng)域目標(biāo)的全面完成奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
新陽(yáng)表示,,光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料,,廣泛應(yīng)用于350nm-14nm甚至?7nm?技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝,。隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠(chǎng)建設(shè)的不斷增多,,以 及國(guó)外光刻膠巨頭產(chǎn)能受限,供需緊張,,國(guó)內(nèi)對(duì)光刻膠產(chǎn)品的需求也將快速增長(zhǎng),, 公司光刻膠產(chǎn)品的訂單取得意義重大,將對(duì)公司該類(lèi)產(chǎn)品的認(rèn)證及銷(xiāo)售產(chǎn)生積極 的作用,,有利于公司業(yè)務(wù)的長(zhǎng)期發(fā)展,。
日本絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)的光刻膠市場(chǎng)
據(jù)智研咨詢(xún)統(tǒng)計(jì),,2019年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)近90億美元,自2010年至今CAGR約5.4%,。預(yù)計(jì)該市場(chǎng)未來(lái)3年仍將以年均5%的速度增長(zhǎng),,至2022年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)100億美元。
根據(jù)下圖,,我們可以了解到低端的g/i-line的占總的半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)份額31%,高端的KrF,、ArF-i光刻膠的市場(chǎng)份額最大,,達(dá)到45%,基本是被日本的企業(yè)壟斷,,所以讓日本在半導(dǎo)體領(lǐng)域有極大的控制能力,。
以 ArF 光刻膠產(chǎn)品為代表的先進(jìn)光刻膠以及工藝的主要技術(shù)和專(zhuān)利都掌握在國(guó)外的企業(yè)與研究部門(mén),如日本的信越化學(xué)(Shin-Etsu Chemical),、合 成橡膠(JSR),、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)(Sumitomochem),、富士膠片 (Fujifilm)和美國(guó)陶氏(Dow Chemical Company),,其中尤其是日本企業(yè),占有率極高,。在KrF光刻膠方面,,日本也是占了主導(dǎo)地位,在這領(lǐng)域有全球5%市場(chǎng)占有率的韓國(guó)企業(yè)和11%的美國(guó)企業(yè),。
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南大光電表示,本項(xiàng)目已作為我國(guó)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”的核心 部分被列入我國(guó)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng),,受到國(guó)家科技部的高度支持,。作為對(duì) 提升國(guó)家綜合國(guó)力有重大推動(dòng)作用的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),ArF(干式和浸沒(méi)式)光 刻膠是我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵原材料,,與國(guó)家經(jīng)濟(jì)及社會(huì)發(fā)展的需求緊 密結(jié)合,。本項(xiàng)目不僅能夠極大提高我國(guó)本土企業(yè)的自主創(chuàng)新能力,更重要 的是通過(guò)重大關(guān)鍵技術(shù)的突破,,將帶動(dòng)和提升我國(guó)整個(gè)電子工業(yè)體系的技 術(shù)水平和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力,。項(xiàng)目符合國(guó)家的產(chǎn)業(yè)政策,按國(guó)家基本建設(shè)程序進(jìn)行實(shí)施,,項(xiàng)目的建設(shè)是可行的,。