科學(xué)儀器領(lǐng)域項(xiàng)目獲批立項(xiàng)
9月2日,,復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”科學(xué)儀器領(lǐng)域項(xiàng)目《堆疊環(huán)柵晶體管(GAA-FET)制程量測(cè)拉曼光譜儀》獲批立項(xiàng),。
面向先進(jìn)制程,,復(fù)享光學(xué)承擔(dān)大型科學(xué)儀器研制項(xiàng)目
本次復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的項(xiàng)目,,屬于“科學(xué)儀器研制開發(fā)”專題項(xiàng)目。該項(xiàng)目基于共焦拉曼光譜,,發(fā)展面向GAA-FET制程檢測(cè)的拉曼光譜技術(shù),,探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度,、應(yīng)力、界面起伏,、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關(guān)鍵參數(shù)的量測(cè)技術(shù),,形成一套具有重大產(chǎn)業(yè)應(yīng)用前景的專業(yè)高端拉曼光譜設(shè)備。
通常來講,,大型科學(xué)儀器研發(fā)制造,,要求承擔(dān)單位具備堅(jiān)實(shí)可靠的研發(fā)積累、制造工藝和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),。同時(shí),,大型科學(xué)儀器的研制還涉及多學(xué)科領(lǐng)域的大量基礎(chǔ)研究,要求承擔(dān)單位從技術(shù)原理出發(fā),,探索前沿科學(xué),,深入創(chuàng)新源頭,才能形成原始技術(shù)突破,,研制出創(chuàng)新型,、突破型的高端科學(xué)儀器。
復(fù)享光學(xué)作為深度光譜技術(shù)創(chuàng)導(dǎo)者,,始終回歸光與物質(zhì)的相互作用原理,,十年專注光譜技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用,在光譜模組產(chǎn)品的研制基礎(chǔ)之上,,先后向市場(chǎng)推出多款大型集成光譜系統(tǒng),,融合光學(xué)智能算法,解決了多項(xiàng)科研和先進(jìn)制造中的復(fù)雜關(guān)鍵問題,,是創(chuàng)新型光譜儀器的可靠的研制者。
在拉曼技術(shù)研發(fā)和應(yīng)用領(lǐng)域,,復(fù)享光學(xué)是國(guó)內(nèi)較早研究拉曼技術(shù)的光學(xué)企業(yè),,已研發(fā)并向市場(chǎng)推出拉曼系列產(chǎn)品,涵蓋拉曼檢測(cè)模塊和拉曼檢測(cè)系統(tǒng),。尤其公司共焦光譜產(chǎn)品線中的gora系列顯微共焦拉曼光譜系統(tǒng),,融合拉曼光譜技術(shù)與共焦技術(shù),實(shí)現(xiàn)衍射極限下的空間分辨率,,獲取微觀層面的物質(zhì)成分和結(jié)構(gòu)信息,,是復(fù)享光學(xué)拉曼光譜技術(shù)的代表產(chǎn)品。復(fù)享光學(xué)共焦光譜產(chǎn)品線已申請(qǐng)數(shù)十項(xiàng)相關(guān)專利,,獲得上海市高新技術(shù)轉(zhuǎn)化項(xiàng)目“顯微共焦光譜系統(tǒng)”的認(rèn)證,,已服務(wù)于國(guó)內(nèi)外眾多高校和科研院所,獲得良好的用戶反饋,。
立足行業(yè)尖端,,復(fù)享光學(xué)建立先進(jìn)制造裝備世界品牌
科學(xué)儀器既是前沿科學(xué)研究的重要工具,,也是集成電路等先進(jìn)制造裝備的重要組成部分。該項(xiàng)目面向集成電路下一代的3nm 及以下制程,,基于拉曼光譜技術(shù),,開發(fā)針對(duì)GAA-FET制備過程多層納米薄膜的量測(cè)設(shè)備,以保障芯片的最終良率,,具有重大產(chǎn)業(yè)應(yīng)用前景,。
“一代制程,一代工藝,,一代設(shè)備”,,新一代GAA-FET制程即將打開新的全球技術(shù)格局,也將帶來產(chǎn)業(yè)布局新的變化,。隨著制程不斷推進(jìn),,芯片制備過程中的量測(cè)工序大幅增加,精密量測(cè)技術(shù)對(duì)于良率控制的重要性已經(jīng)不言而喻,。其中,,占據(jù)全部檢測(cè)技術(shù)約70%的光學(xué)量測(cè),是集成電路量測(cè)的關(guān)鍵,,面臨著巨大的機(jī)遇和挑戰(zhàn),。
為響應(yīng)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)需求,需要建立多層次的研發(fā)平臺(tái),。為此,,復(fù)享光學(xué)成立了對(duì)接產(chǎn)業(yè)需求的“上海微納制程智能檢測(cè)工程技術(shù)研究中心”,并與復(fù)旦大學(xué)共同建立了致力于研究微納制造前沿共性關(guān)鍵技術(shù)的“光檢測(cè)與光集成校企聯(lián)合研究中心”,。
當(dāng)前正處于GAA-FET技術(shù)規(guī)范形成的前期,,復(fù)享光學(xué)攜兩個(gè)中心,主動(dòng)參與全球產(chǎn)業(yè)技術(shù)的交流和競(jìng)爭(zhēng),,抓住國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造的市場(chǎng)空間和國(guó)際技術(shù)新老迭代的窗口機(jī)遇,,通過深入產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈和承擔(dān)重大政府專項(xiàng),致力于在GAA-FET微納制程量測(cè)領(lǐng)域取得重大突破,,推動(dòng)集成電路國(guó)產(chǎn)設(shè)備的跨越式發(fā)展,。
同時(shí),復(fù)享光學(xué)將以此為契機(jī)發(fā)展智能光譜技術(shù),,以深度算法為驅(qū)動(dòng),,持續(xù)精研拉曼光譜、顯微光譜,、相位光譜,、角分辨光譜等分析技術(shù),通過以科研應(yīng)用為基礎(chǔ)和出發(fā)點(diǎn),以產(chǎn)業(yè)需求為目標(biāo)和落腳點(diǎn),,形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端科學(xué)檢測(cè)儀器系列產(chǎn)品,,參與全球技術(shù)迭代,建立光學(xué)領(lǐng)域的先進(jìn)制造世界品牌,。
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