5月20日傍晚，剛下飛機的拜登，直奔首爾附近的一家三星電子半導體工廠。并在韓國總統(tǒng)尹錫悅和三星電子副會長李在镕陪同下視察參觀,。
對半導體引以為傲的韓國人，此次卻顯得不太上心：不論是兩國總統(tǒng)還是三星會長,，都沒有在要求無塵的芯片生產(chǎn)線里配備防塵服,。作為對比，引導參觀的工程師倒是設備齊全,。這不由得讓人懷疑,，雙方對“技術同盟”的關注，只停留在了紙面上,。
拜登走后,，韓國半導體的“潔癖”又回來了：據(jù)《韓國商報》報道,，5月25日，韓國水原地方檢察廳宣布,，由于技術泄密,，包括三星旗下半導體設備廠商SEMES員工在內(nèi)的7人被移交法院?！凹夹g外流”的帽子,，被扣到了中國人的頭上。
面對韓方的咄咄逼人,，中國企業(yè)顯然有著自己的節(jié)奏,。
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驢唇不對馬嘴的指控
根據(jù)韓方的說法，中國人看上了先進的半導體清洗技術,。
水原檢察廳辦公室人員表示,，涉及商業(yè)泄密的7人，竊取的是三星電子子公司SEMES從2018年3月到2021年底開發(fā)的超臨界清洗設備制造技術,。在兩名前SEMES技術人員的幫助下,，他們制造了14臺半導體清洗機，并且在中國獲利710億韓元（合3.763億人民幣）,。
這里提到的SEMES,，成立于1993年，是韓國最大的預處理半導體設備制造商,。清潔,、蝕刻、攝影,、測試和封裝等芯片制造過程,，SEMES可謂無所不包。由于三星控股SEMES比例超90%,，該公司已經(jīng)成為三星重點扶持的半導體設備廠商,。SEMES生產(chǎn)的蝕刻設備，也在三星的開V-NAND閃存工廠中開始使用,。
技術盜竊案的核心，是SEMES前員工A某,。他曾在該公司擔任研究員超過10年,，因此迎來了中國企業(yè)的投資。從SEMES離職后,，他并沒有向公司歸還技術數(shù)據(jù),，而是從合作方拿到技術指標，設計圖紙,，藥品渠道和軟件程序等關鍵信息后,，自制半導體清洗設備出售給中國企業(yè),。
從這個角度看，SEMES的技術泄密,，更像是離職員工的糊涂賬,。但是韓國媒體卻樂于在復雜的案件中，尋找“中方得利”的線索,。韓國KBS電視臺就在5月26日的報道中表示,，A某的利益相關方包括“中國國營半導體研究機構”ICRD，即上海集成電路研發(fā)中心有限公司,。
不過從主營業(yè)務看,，ICRD的關系跟清洗機關系不大。從企業(yè)介紹看,，ICRD提供的主要是前期研發(fā),，技術驗證和工藝配套工作，不涉及設備制造,。應用設備技術為CMOS圖像傳感器,，高壓功率器件和智能視覺，同樣不涉及設備制造,。ICRD與竊密組織的關系,，可能只停于設備采購。
令人意外的是,，這股邪火居然燒到了其他中國企業(yè),。6月1日，針對“SEMES泄密案”,，國內(nèi)半導體清洗設備廠商盛美上海作出回應：盛美上海及控股子公司與該事件完全無關,。
為了澄清謠言，盛美還特意強調(diào)了自己的業(yè)務,，“盛美在業(yè)界首創(chuàng)的SAPS兆聲波單片清洗技術榮獲2020年上海市科學進步一等獎,。”SEMES涉及的半導體設備,，則是超臨界二氧化碳清洗技術,，兩者技術路線完全不同，盛美上海自然毫無瓜葛,。
2
半導體設備行業(yè)的敲門磚
如果跳出“竊密丑聞”,，僅從半導體清洗設備領域觀察，盛美半導體正在針對半導體領域的核心市場展開滲透,。
理論上說,，半導體制造設備按技術流程分為光刻機，過程檢測,、薄膜沉積,、離子注入,、清洗、氧化退火等設備,。其中清洗設備價值僅占5%左右,，并且技術壁壘較低。不過由于芯片制造需要高效的清潔工序,，這一領域一直是半導體設備行業(yè)的敲門磚,。除了盛美之外，北方華創(chuàng),、至純科技等企業(yè)都有參與,。
盛美半導體進入清洗設備行業(yè)，也離不開行業(yè)的歷史契機：2005年,，全球半導體產(chǎn)線向國內(nèi)轉移,，半導體設備需求增加，還在海外的ACMR,，以“盛美半導體”為名,，作為重點企業(yè)被引進上海。
經(jīng)過3年的研發(fā)后,，盛美開發(fā)SAPS（空間交變相移兆聲波清洗）技術,。這套新技術制造的設備，很快就得到了存儲巨頭海力士的關注,。2009年,，海力士引入盛美的清洗設備，并啟動了長達兩年的產(chǎn)品驗證,。連續(xù)兩年沒有訂單帶來的營收,，也給盛美帶來了巨大的壓力。
好消息是,，經(jīng)過兩年的測試后,，盛美半導體的設備幫助海力士提高了1.5%的良率，并在2013年迎來了客戶的復購,。以存儲芯片訂單為基礎,，盛美半導體又贏得了長江存儲中芯國際及華虹集團的產(chǎn)品訂單。這幾家公司作為大客戶,，構成了盛美超過80%的訂單,。
隨著中國半導體產(chǎn)能的增長，國產(chǎn)企業(yè)開始在清洗設備等外部領域逐步搶回話語權,。2019中國半導體清洗設備招標采購份額中，盛美半導體占比20.5%,，已經(jīng)和國外巨頭泛林半導體看齊,。從毛利率來看,，其單片清洗設備毛利率約45%，也能保障企業(yè)的生存,。
但是長期來看,，國內(nèi)半導體清洗設備參與企業(yè)較多，盛美為了緩解可能的競爭壓力,，正在開發(fā)濕法刻蝕設備,、無應力拋光設備等領域。同樣參與清洗設備競爭的北方華創(chuàng)和芯源微,，也加入到了刻蝕設備和涂膠顯影設備等領域,。
3
半導體設備不止“刷盤子”
對于中國半導體企業(yè)而言，搶到清洗設備這樣的“刷盤子”市場很賺錢,，但這還不夠,。
對于這一點，日本清洗設備巨頭迪恩士深有感觸,。作為世界第一臺旋轉晶片清洗系統(tǒng)的研發(fā)者,，迪恩士在2016年就占據(jù)了半導體清洗設備53%的市場。但是隨著中國企業(yè)的入場,，這一數(shù)字已經(jīng)下降到了45%,，盛美上海和北方華創(chuàng)等企業(yè)，在未來也會面臨同樣的壓力,。
從市場轉型來看,，迪恩士曾經(jīng)考慮過刻蝕設備的業(yè)務，但這些業(yè)務卻并沒有為公司改善營收結構,。迪恩士2022年H1財報指出,，公司總營收的95%來自清洗設備，其中單品清洗機占比高達70%,，嚴重依賴SU-3200這款產(chǎn)品,。
與迪恩士相比，國產(chǎn)半導體設備廠商同樣面臨嚴重的馬太效應,。但是目前除光刻機以外,，其余流程設備都在加速滲透。
去膠設備方面,，屹唐半導體已經(jīng)依靠干法去膠設備拿下了超過30%的全球市場份額,。熱處理設備領域，屹唐也憑借著0.1%的市場份額在2020年排名全球前十,。CMP領域,，中電科45所和華海清科都拿下了國內(nèi)訂單，后續(xù)替代也逐步提上日程,。
截至目前,，國內(nèi)半導體設備攻關的細分領域為離子注入設備,，刻蝕設備和薄膜沉積設備。涂膠顯影設備領域,，芯源微目前也在嘗試小規(guī)模替代,。考慮到這些領域的壓力,，包括屹唐,、芯源微在內(nèi)的企業(yè)，正在通過清洗和CMP等低門檻領域進行業(yè)務多樣化,，用優(yōu)勢項目的營收推動關鍵領域的技術攻關,。
面向未來，國產(chǎn)設備的替代目標,，可能是二手芯片設備,。《華爾街日報》去年年底的一篇專題報道指出，為了滿足原有的生產(chǎn)周期,，二手設備價格水漲船高,，已經(jīng)超出了原有的價值。僅以1995年生產(chǎn)的佳能FPA3000i4,，這款設備2014年的報價僅為10萬美元,，2021年則是170萬美元。
依照傳統(tǒng)的行業(yè)規(guī)律,，成熟制程芯片廠商為了對抗成本壓力,，會選擇二手設備。二手半導體設備廠商Surplus Global首席執(zhí)行官 Bruce Kim曾表述,，公司在過去20年中回收了40000套設備,。但是由于二手設備需求的持續(xù)上漲，這些設備的交付也可能出現(xiàn)問題,。與全新設備和二手設備相比,，國產(chǎn)設備在交付上會有更加明顯的優(yōu)勢。
深入核心的路很難,，但是中國半導體從未停下腳步,。
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