近年來,，隨著個人電腦的普及和互聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,，數(shù)字移動通信業(yè)務(wù)轉(zhuǎn)向個人通信，引發(fā)了傳統(tǒng)通信的革命和多媒體通信業(yè)務(wù)的出現(xiàn),，刺激了光通信業(yè)務(wù)的快速發(fā)展,。但是與大規(guī)模的集成電路相比,，光互連中用于實現(xiàn)光路由和光交換的光器件由于體積小、空間有限,、功能單一,，在應(yīng)用上受到很大限制，因此在很多光通信模塊中仍然需要進(jìn)行大量的電光轉(zhuǎn)換,。

著深紫外光刻技術(shù)在納米光子器件制作中的應(yīng)用使得光學(xué)器件的尺寸大大減小,，同一光子集成電路中可以集成更多的光學(xué)器件。將晶體管封裝在芯片上的傳統(tǒng)工藝被稱為“深紫外光刻”（DUV）,，這是一種類似于攝影的一種技術(shù),。通過透鏡聚焦光線，在硅片上雕刻電路圖案,，利用極紫外（EUV）光在硅片上雕刻,，使存儲芯片有類似的存儲容量增加。

在集成電路制造的推動下，光刻技術(shù)取得了長足的進(jìn)步,。從抽象層面來說,，光刻系統(tǒng)包括以下幾個部分：輻射源、輻射控制系統(tǒng),、光刻膠和樣品,。為了獲得更小的光刻圖形，要求用于光刻的光源具有更小的特征光波波長,，光源要有足夠的強度,，以實現(xiàn)快速曝光和批量生產(chǎn)。

為了解決光刻強度的問題,，目前工業(yè)上廣泛使用準(zhǔn)分子激光。準(zhǔn)分子激光是深紫外光譜中最亮的光源,。一般準(zhǔn)分子激光獲得的光波波長有248nm,、193nm、157nm,。準(zhǔn)分子激光以多模形式強烈發(fā)射,，空間相干性相對較弱，光刻精度可達(dá)100nm以下,。

想要確保紫外光刻機發(fā)出的紫外線強度適中就需要對紫外光進(jìn)行監(jiān)測,，紫外線傳感器和紫外光電二極管是可以檢測紫外線強度的元件，可以用于檢測紫外光刻過程中紫外線的能量情況,，工采網(wǎng)技術(shù)工程師推薦以下幾款：

韓國GENICOM 紫外線傳感器 － GUVA－T11GD－L,，具有良好的可見盲，光伏模式操作,，高響應(yīng),，低暗電流，應(yīng)用于全UV波段監(jiān)控,，UV－A燈監(jiān)控,，可廣泛應(yīng)用于：紫外線強度檢測和控制，UV指數(shù)檢測,。

德國SGLUX 紫外光電二極管 － SG01D－C18具有極其特別的優(yōu)點,，能承受高強度的輻射，對可見光幾乎不敏感,，產(chǎn)生的暗電流低,，響應(yīng)速度快，可以長期工作在高達(dá)170℃的溫度中,。

韓國GENICOM 可見光傳感器 － GVGR－T10GD,，芯片小于0．4mm，TO－46封裝，使用的銦鎵氮材料,，內(nèi)含PN型光電二極管,，光伏模式操作，高響應(yīng),，低暗電流,。

       原文標(biāo)題 : 紫外線傳感器_深紫外光刻機適用哪個范圍內(nèi)的紫外線波段

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