4月28日,杭州廣立微電子股份有限公司(簡稱“廣立微”)在上海成功舉辦了“Semitronix DATAEXP User Forum暨新品發(fā)布會”,。會上,,廣立微重磅發(fā)布了DATAEXP-YMS、DATAEXP-DMS及DATAEXP-General等多款產(chǎn)品,,實現(xiàn)了公司大數(shù)據(jù)平臺DATAEXP的全線升級,。發(fā)布會現(xiàn)場,開發(fā)團隊的人員還詳細展示了DATAEXP全新升級后的功能亮點和適配場景,,為在場的業(yè)內(nèi)人士帶來了一場精彩的技術分享,。
成品率管理系統(tǒng)(YMS, Yield Management System)屬于半導體工業(yè)軟件中重要的一部分,被IDM,、Fab,、Fabless和OEM企業(yè)所廣泛使用,,市場需求廣泛。在半導體晶圓制造過程中,,工藝缺陷的檢測分析對良率(Yield)有著重大影響,,目前不少晶圓制造企業(yè)所使用的相關產(chǎn)品存在著兼容性低、難以擴展和定制化,、大數(shù)據(jù)分析能力缺失以及服務響應慢等諸多問題,。
針對半導體數(shù)據(jù)分析的市場痛點,廣立微經(jīng)過多年的潛心研究,,開發(fā)出包括DATAEXP-General,、YMS、DMS,、FDC等多款大數(shù)據(jù)分析工具,,這些產(chǎn)品具備強大的數(shù)據(jù)底座及前沿的機器學習和算法能力,投入市場后獲得了良好的用戶反饋,,打破了海外廠商的壟斷,,在技術上實現(xiàn)了國際領先。
升級后的新版DATAEXP -General軟件UI交互進行了全新設計, 結合運行速度的提升, 為用戶提供了更加優(yōu)越的使用體驗,。 在優(yōu)化功能的同時, 新版DATAEXP-General 新增了多種數(shù)據(jù)可視化方法以及統(tǒng)計分析模塊, 為用戶提供了更加強大并且靈活的數(shù)據(jù)分析平臺,。 與此同時, DATAEXP-General重磅發(fā)布了BS架構的云端版本, 在客戶端版本的基礎上, 額外提供了數(shù)字分析資產(chǎn)集中管理能力, 數(shù)字報告自動生成能力以及YMS-Lite 數(shù)據(jù)分析平臺低代碼搭建能力。
廣立微開發(fā)的DATAEXP-YMS系統(tǒng)具有芯片全生命周期的數(shù)據(jù)管理,、分析和追溯的功能,,支持集成電路生產(chǎn)制造過程中的CP、FT,、WAT,、INLINE、DEFECT,、封裝測試等多類型數(shù)據(jù)的智能化分析,。依托公司在半導體制造領域的深厚積累,該系統(tǒng)具有強大的算法支撐和數(shù)據(jù)處理能力,,能夠一鍵式排查良率的影響因素,,并快速完成底層數(shù)據(jù)清洗、連接,、整合工作,,實現(xiàn)產(chǎn)線數(shù)據(jù)的高效分析,可顯著加快客戶提升良率,、完成工藝開發(fā)的進度,。在本次發(fā)布會還首次推出了DATAEXP-YMS Lite版軟硬件一體機。該產(chǎn)品支持國產(chǎn)ARM服務器底座,能夠并與合作伙伴相互配合形成Lite-YMS解決方案,,為客戶提供軟硬件一站式部署,,在更低成本,,更易維護的基礎上,,提供更安全更可靠更高效的數(shù)據(jù)管理分析方案。
廣立微DataExp-YMS系統(tǒng)智能化分析數(shù)據(jù)的類型
會上,,廣立微還首次展示了DATAEXP-DMS缺陷數(shù)據(jù)管理與分析系統(tǒng),。該系統(tǒng)通過MPP數(shù)據(jù)庫和微服務技術,分別在數(shù)據(jù)層和應用層提供高穩(wěn)定性,、高可用性和高擴展性,。依靠分布式系統(tǒng)的強大計算能力,結合簡潔易用的界面,,用戶可以輕松高效地檢索,、查驗、分類缺陷數(shù)據(jù),,在跨module分析方面,提供了全新的用戶體驗,可快速,、全面、系統(tǒng)地查找缺陷來源,并預測良率殺傷率(Kill Ratio & Yield Impact),?;谇把氐娜斯ぶ悄芤曈X技術,自主研發(fā)的缺陷自動分類系統(tǒng) (ADC - Auto Defect Classification),,具備defect高識別精度和快速部署能力,,已在多家半導體廠中使用。其分類的平均準確度和平均召回率均99.5%以上,,關鍵缺陷漏檢率和誤檢率均小于0.3%,,節(jié)約人工檢測成本高達95%,提高問題定位效率25倍以上,?;谶@些優(yōu)勢,廣立微DE-DMS系統(tǒng)已在國內(nèi)多個大型晶圓廠中得到應用,,取得了良好的實際效果,。
廣立微的DataExp-DMS一鍵批量完成缺陷數(shù)據(jù)與良率關聯(lián)性分析,為低良率問題提供快速溯源性分析
廣立微新發(fā)布的DATAEXP-FDC系統(tǒng)在工廠中收集各種設備傳感器,、Event Report和機臺Alarm數(shù)據(jù),。 具備高可用、高并發(fā),、可擴展的特性并保障實時數(shù)據(jù)流穩(wěn)定的分析計算,。一站式的解決方案提供了豐富的數(shù)據(jù)采集計劃和靈活的數(shù)據(jù)分析計算模型,融合AI助力實現(xiàn)Feature AutoSpec變更以及Raw Trace動態(tài)的Spec的控制。系統(tǒng)打造了專業(yè)的數(shù)據(jù)管理平臺支持高級圖表分析,、Tool Matching,、Auto Report,幫助用戶實現(xiàn)機臺問題的根因查找、追溯,、預防和預測,。
廣立微DataExp-FDC系統(tǒng)實現(xiàn)Alarm -> Feature -> RawTrace的分析
以上四大產(chǎn)品各司其職,相互配合,,形成功能完整的工具鏈,,覆蓋了良率相關的各個環(huán)節(jié)的數(shù)據(jù)分析、診斷,、監(jiān)控及預警,,能夠對海量數(shù)據(jù)進行高效的關聯(lián)解析,快速準確地識別定位良率問題,,從而幫助用戶及時采取措施, 提前應對潛在風險,,加速良率提升,保障產(chǎn)品良率的穩(wěn)定性。同時,,DATAEXP系列產(chǎn)品還能夠與公司的EDA產(chǎn)品,、WAT測試設備之間相互賦能,提供完整先進的良率提升解決方案,。這些方案已廣泛進入了國內(nèi)外一流的集成電路設計,、制造、封裝企業(yè),,正逐步幫助客戶實現(xiàn)晶圓制造全流程數(shù)據(jù)分析控制,,助力行業(yè)整體技術和工藝水平的提升。