4月28日,杭州廣立微電子股份有限公司(簡稱“廣立微”)在上海成功舉辦了“Semitronix DATAEXP User Forum暨新品發(fā)布會”,。會上,廣立微重磅發(fā)布了DATAEXP-YMS,、DATAEXP-DMS及DATAEXP-General等多款產(chǎn)品,實現(xiàn)了公司大數(shù)據(jù)平臺DATAEXP的全線升級。發(fā)布會現(xiàn)場,開發(fā)團(tuán)隊的人員還詳細(xì)展示了DATAEXP全新升級后的功能亮點和適配場景,,為在場的業(yè)內(nèi)人士帶來了一場精彩的技術(shù)分享。
成品率管理系統(tǒng)(YMS, Yield Management System)屬于半導(dǎo)體工業(yè)軟件中重要的一部分,,被IDM,、Fab、Fabless和OEM企業(yè)所廣泛使用,,市場需求廣泛,。在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,,工藝缺陷的檢測分析對良率(Yield)有著重大影響,,目前不少晶圓制造企業(yè)所使用的相關(guān)產(chǎn)品存在著兼容性低、難以擴(kuò)展和定制化,、大數(shù)據(jù)分析能力缺失以及服務(wù)響應(yīng)慢等諸多問題,。
針對半導(dǎo)體數(shù)據(jù)分析的市場痛點,廣立微經(jīng)過多年的潛心研究,,開發(fā)出包括DATAEXP-General,、YMS、DMS,、FDC等多款大數(shù)據(jù)分析工具,,這些產(chǎn)品具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)底座及前沿的機(jī)器學(xué)習(xí)和算法能力,投入市場后獲得了良好的用戶反饋,,打破了海外廠商的壟斷,,在技術(shù)上實現(xiàn)了國際領(lǐng)先,。
升級后的新版DATAEXP -General軟件UI交互進(jìn)行了全新設(shè)計, 結(jié)合運行速度的提升, 為用戶提供了更加優(yōu)越的使用體驗。 在優(yōu)化功能的同時, 新版DATAEXP-General 新增了多種數(shù)據(jù)可視化方法以及統(tǒng)計分析模塊, 為用戶提供了更加強(qiáng)大并且靈活的數(shù)據(jù)分析平臺,。 與此同時, DATAEXP-General重磅發(fā)布了BS架構(gòu)的云端版本, 在客戶端版本的基礎(chǔ)上, 額外提供了數(shù)字分析資產(chǎn)集中管理能力, 數(shù)字報告自動生成能力以及YMS-Lite 數(shù)據(jù)分析平臺低代碼搭建能力,。
廣立微開發(fā)的DATAEXP-YMS系統(tǒng)具有芯片全生命周期的數(shù)據(jù)管理、分析和追溯的功能,,支持集成電路生產(chǎn)制造過程中的CP,、FT、WAT,、INLINE,、DEFECT、封裝測試等多類型數(shù)據(jù)的智能化分析,。依托公司在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的深厚積累,,該系統(tǒng)具有強(qiáng)大的算法支撐和數(shù)據(jù)處理能力,能夠一鍵式排查良率的影響因素,,并快速完成底層數(shù)據(jù)清洗,、連接、整合工作,,實現(xiàn)產(chǎn)線數(shù)據(jù)的高效分析,,可顯著加快客戶提升良率、完成工藝開發(fā)的進(jìn)度,。在本次發(fā)布會還首次推出了DATAEXP-YMS Lite版軟硬件一體機(jī),。該產(chǎn)品支持國產(chǎn)ARM服務(wù)器底座,能夠并與合作伙伴相互配合形成Lite-YMS解決方案,,為客戶提供軟硬件一站式部署,,在更低成本,更易維護(hù)的基礎(chǔ)上,,提供更安全更可靠更高效的數(shù)據(jù)管理分析方案,。
廣立微DataExp-YMS系統(tǒng)智能化分析數(shù)據(jù)的類型
會上,廣立微還首次展示了DATAEXP-DMS缺陷數(shù)據(jù)管理與分析系統(tǒng),。該系統(tǒng)通過MPP數(shù)據(jù)庫和微服務(wù)技術(shù),,分別在數(shù)據(jù)層和應(yīng)用層提供高穩(wěn)定性、高可用性和高擴(kuò)展性,。依靠分布式系統(tǒng)的強(qiáng)大計算能力,,結(jié)合簡潔易用的界面,用戶可以輕松高效地檢索,、查驗,、分類缺陷數(shù)據(jù),在跨module分析方面,提供了全新的用戶體驗,可快速,、全面,、系統(tǒng)地查找缺陷來源,并預(yù)測良率殺傷率(Kill Ratio & Yield Impact),。基于前沿的人工智能視覺技術(shù),,自主研發(fā)的缺陷自動分類系統(tǒng) (ADC - Auto Defect Classification),,具備defect高識別精度和快速部署能力,已在多家半導(dǎo)體廠中使用,。其分類的平均準(zhǔn)確度和平均召回率均99.5%以上,,關(guān)鍵缺陷漏檢率和誤檢率均小于0.3%,節(jié)約人工檢測成本高達(dá)95%,,提高問題定位效率25倍以上,。基于這些優(yōu)勢,,廣立微DE-DMS系統(tǒng)已在國內(nèi)多個大型晶圓廠中得到應(yīng)用,,取得了良好的實際效果。
廣立微的DataExp-DMS一鍵批量完成缺陷數(shù)據(jù)與良率關(guān)聯(lián)性分析,,為低良率問題提供快速溯源性分析
廣立微新發(fā)布的DATAEXP-FDC系統(tǒng)在工廠中收集各種設(shè)備傳感器,、Event Report和機(jī)臺Alarm數(shù)據(jù)。 具備高可用,、高并發(fā),、可擴(kuò)展的特性并保障實時數(shù)據(jù)流穩(wěn)定的分析計算。一站式的解決方案提供了豐富的數(shù)據(jù)采集計劃和靈活的數(shù)據(jù)分析計算模型,,融合AI助力實現(xiàn)Feature AutoSpec變更以及Raw Trace動態(tài)的Spec的控制,。系統(tǒng)打造了專業(yè)的數(shù)據(jù)管理平臺支持高級圖表分析、Tool Matching,、Auto Report,幫助用戶實現(xiàn)機(jī)臺問題的根因查找,、追溯、預(yù)防和預(yù)測,。
廣立微DataExp-FDC系統(tǒng)實現(xiàn)Alarm -> Feature -> RawTrace的分析
以上四大產(chǎn)品各司其職,,相互配合,形成功能完整的工具鏈,,覆蓋了良率相關(guān)的各個環(huán)節(jié)的數(shù)據(jù)分析,、診斷,、監(jiān)控及預(yù)警,,能夠?qū)A繑?shù)據(jù)進(jìn)行高效的關(guān)聯(lián)解析,快速準(zhǔn)確地識別定位良率問題,,從而幫助用戶及時采取措施, 提前應(yīng)對潛在風(fēng)險,,加速良率提升,保障產(chǎn)品良率的穩(wěn)定性。同時,,DATAEXP系列產(chǎn)品還能夠與公司的EDA產(chǎn)品,、WAT測試設(shè)備之間相互賦能,,提供完整先進(jìn)的良率提升解決方案。這些方案已廣泛進(jìn)入了國內(nèi)外一流的集成電路設(shè)計,、制造,、封裝企業(yè),正逐步幫助客戶實現(xiàn)晶圓制造全流程數(shù)據(jù)分析控制,,助力行業(yè)整體技術(shù)和工藝水平的提升,。