眾所周知,目前的芯片制造,基本上是基于光刻工藝,,所以必須用到光刻機(jī)。
而光刻機(jī)又芯片工藝制程對應(yīng),,如下力所示,,比如G線、i線對應(yīng)的是350nm及以上的芯片工藝,,而KrF對應(yīng)的是350-130nm,。
ArF對應(yīng)的是130-65nm;而ArFi是ArF的改進(jìn)版,,也稱之為浸潤式DUV光刻機(jī),,對應(yīng)的是65-7nm;EUV是極紫外線光刻機(jī),,對應(yīng)的是7nm以下,。
目前,全球的光刻機(jī)市場,,主要被荷蘭的ASML壟斷,,ASML一家就占了全球90%的份額。其中先進(jìn)的ArFi光刻機(jī),,ASML占了95%,,EUV光刻機(jī),ASML占了100%,。
日本的尼康,、佳能更多的只是ArF、KrF這些較為成熟的光刻機(jī),,佳能沒有ArFi光刻機(jī),,尼康沒有EUV光刻機(jī),而ArFi光刻機(jī),,也非常少,,主要市場還是ASML的。
而中國上海的微電子,,水平還在ArF,,工藝制程在90nm,,所以國內(nèi)一直以來就是大量采購ASML的光刻機(jī)。
美國之前是不允許ASML的EUV光刻機(jī)賣到中國大陸來,,所以至今為止,,中國大陸的晶圓廠,都沒有EUV光刻機(jī),。
后來,,美國更想鎖死中國大陸的邏輯芯片工藝在14nm,于是又聯(lián)手日本,、荷蘭,,對光刻機(jī)進(jìn)一步限制。
其中日本表示所有的浸潤式光刻機(jī),,都不能出口到中國,。而荷蘭的ASML則表示,所有的浸潤式光刻機(jī)中,,只有一臺NXT:1985Di能出口,。
后來在2023年10月份,美國禁令再次升級,,ASML唯一一臺能夠出口的NXT:1985Di也被禁了,,無法再出口到中國大陸來了。
不過ASML也稱,,2023年他們還是拿到了許可證,,所以2024年內(nèi),所有的浸潤式光刻機(jī)都能夠賣到中國大陸來,,但2024年開始,,就不行了,所以目前ASML的浸潤式DUV光刻,,EUV光刻機(jī),,正式斷供了。
所以我們看到,,2023年內(nèi),,中國大陸在大量的從ASML進(jìn)口光刻機(jī),數(shù)據(jù)顯示,,1-11月份,,中國大陸向ASML進(jìn)口的光刻機(jī)金額已經(jīng)超過了500億元,是2022年的3倍左右,。
很明顯,,中國大陸在趁著ASML還能出口浸潤式光刻機(jī),瘋狂大采購,瘋狂囤貨,,畢竟2024年開始,,浸潤式光刻機(jī)就買不到了。
按照業(yè)內(nèi)人士的預(yù)測,,今年從ASML采購的光刻機(jī),,理論上能夠支撐國內(nèi)3年左右的晶圓擴(kuò)產(chǎn)需求,但3年之后,,甚至也可能不需要3年,可能就會又缺光刻機(jī)了,,特別是缺尖端光刻機(jī)了,,比如ArFi、EUV這兩種,。
所以接下來,,國產(chǎn)芯片想要突破,就需要國產(chǎn)光刻機(jī)突破了,,因為ASML短時間之內(nèi),,是拿不到出口許可證的,浸潤式ArFi光刻機(jī),、EUV光刻機(jī)應(yīng)該只能靠我們自己,,不要想著進(jìn)口了。