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Intel曬史上最貴開箱:全球首臺(tái)高NA光刻機(jī)已裝機(jī)

2024-03-06
來源:快科技
關(guān)鍵詞: Intel ASML 高NAEUV光刻機(jī)

Intel發(fā)布了一條特殊的開箱視頻,堪稱史上最貴:他們從ASML拿到的全球第一臺(tái)高NA EUV光刻機(jī),,已經(jīng)開始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內(nèi)安裝了,。

這臺(tái)型號為Twinscan EXE:5000的光刻機(jī)著實(shí)是個(gè)龐然大物,運(yùn)輸過程中動(dòng)用了250個(gè)貨箱,,總重約150噸,,先用飛機(jī)從荷蘭運(yùn)到俄勒岡州波特蘭,,再用卡車分批次拉到工廠。

目前安裝的還只是核心組件,,全部搞定需要250多名ASML,、Intel的工程師,耗時(shí)約6個(gè)月,,然后還得花時(shí)間調(diào)試,。

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這臺(tái)光刻機(jī)主要作為研究之用,將會(huì)在Intel 18A節(jié)點(diǎn)上進(jìn)行測試,,但大規(guī)模量產(chǎn)得等到剛剛宣布的Intel 14A節(jié)點(diǎn)上,,時(shí)間預(yù)計(jì)2025-2026年左右 。

該光刻機(jī)可以實(shí)現(xiàn)8nm的分辨率,,而現(xiàn)有低NA光刻機(jī)單次曝光只能做到13nm,,同時(shí)晶體管密度幾乎可以增加3倍。

大家非常關(guān)心的價(jià)格上,,ASML的說法是大約3.8億美元,,但這只是起步價(jià),更高配置自然更貴,,Intel CEO帕特·基辛格透露在4億美元左右,,也就是逼近29億元。

相比之下,,低NA EUV光刻機(jī)約為1.83億美元,。

除了Intel,三星,、臺(tái)積電,、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機(jī),首批訂單有數(shù)十臺(tái),。

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