Intel發(fā)布了一條特殊的開箱視頻,，堪稱史上最貴：他們從ASML拿到的全球第一臺高NA EUV光刻機,，已經(jīng)開始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內(nèi)安裝了,。

這臺型號為Twinscan EXE:5000的光刻機著實是個龐然大物,，運輸過程中動用了250個貨箱，總重約150噸,，先用飛機從荷蘭運到俄勒岡州波特蘭,，再用卡車分批次拉到工廠,。

目前安裝的還只是核心組件，全部搞定需要250多名ASML,、Intel的工程師,，耗時約6個月，然后還得花時間調(diào)試,。

這臺光刻機主要作為研究之用,，將會在Intel 18A節(jié)點上進行測試，但大規(guī)模量產(chǎn)得等到剛剛宣布的Intel 14A節(jié)點上,，時間預計2025-2026年左右 ,。

該光刻機可以實現(xiàn)8nm的分辨率，而現(xiàn)有低NA光刻機單次曝光只能做到13nm,，同時晶體管密度幾乎可以增加3倍,。

大家非常關心的價格上，ASML的說法是大約3.8億美元,，但這只是起步價，更高配置自然更貴,，Intel CEO帕特·基辛格透露在4億美元左右,，也就是逼近29億元。

相比之下,，低NA EUV光刻機約為1.83億美元,。

除了Intel，三星,、臺積電,、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機，首批訂單有數(shù)十臺,。