3 月 13 日消息,,光刻機(jī)制造商 ASML 宣布其首臺(tái)新款 EUV 光刻機(jī) Twinscan NXE:3800E 已完成安裝,,新機(jī)型將帶來更高的生產(chǎn)效率,。
ASML 官網(wǎng)尚未上線 Twinscan NXE:3800E 的信息頁面,。
除了正在研發(fā)的 High-NA EUV 光刻機(jī) Twinscan EXE 系列,ASML 也為其 NXE 系列傳統(tǒng)數(shù)值孔徑 EUV 光刻機(jī)持續(xù)更新升級(jí),,未來目標(biāo)在 2025 年推出 NXE:4000F 機(jī)型,。
上兩代 NXE 系列機(jī)型 3400C 和 3600D 分別適合 7~5、5~3 納米節(jié)點(diǎn)生產(chǎn),,德媒 ComputerBase 因此預(yù)測 3800E 有望支持 3~2 納米的尖端制程,。
根據(jù) ASML 此前分享的 2021 版路線圖,Twinscan NXE:3800E 系統(tǒng)將相較上代 3600D 在對(duì)準(zhǔn)精度(Overlay)和產(chǎn)能上進(jìn)一步提升,,可實(shí)現(xiàn) 195 片晶圓的每小時(shí)吞吐量,,相較 3600D 的 160 片大幅提升近 22%,并有望達(dá)到 220 片的目標(biāo)(對(duì)應(yīng)提升 37.5%),。
本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章,、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有,。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者,。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題,,請(qǐng)及時(shí)通過電子郵件或電話通知我們,,以便迅速采取適當(dāng)措施,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失,。聯(lián)系電話:010-82306118,;郵箱:[email protected]。