這幾年,,Intel以空前的力度推進先進制程工藝,希望以最快的速度反超臺積電,,重奪領先地位,,現(xiàn)在又重申了這一路線,,尤其是意欲通過未來的14A 1.4nm級工藝,,在未來鞏固自己的領先地位,。
目前,Intel正在按計劃實現(xiàn)其“四年五個制程節(jié)點”的目標,,Intel 7工藝,、采用EUV極紫外光刻技術的Intel 4和Intel 3均已實現(xiàn)大規(guī)模量產。
其中,,Intel 3作為升級版,,應用于服務器端的Sierra Forest、Granite Rapids,,將在今年陸續(xù)發(fā)布,,其中前者首次采用純E核設計,最多288個,。
Intel 20A和Intel 18A兩個節(jié)點正在順利推進中,,分別相當于2nm、1.8nm,,將繼續(xù)采用EUV技術,,并應用RibbonFET全環(huán)繞柵極晶體管和PowerVia背面供電技術。
憑借它們兩個,,Intel希望能在2025年重奪制程領先性,。
之后,Intel將繼續(xù)采用創(chuàng)新技術,,推進未來制程節(jié)點的開發(fā)和制造,,以鞏固領先性。
其中一個關鍵點就是High NA EUV技術,,而數(shù)值孔徑(NA)正是衡量收集和集中光線能力的指標,。
通過升級將掩膜上的電路圖形反射到硅晶圓上的光學系統(tǒng),High NA EUV光刻技術能夠大幅提高分辨率,,從而有助于晶體管的進一步微縮,。
作為Intel 18A之后的下一個先進制程節(jié)點,Intel 14A 1.4nm級就將采用High NA EUV光刻技術,。
為了制造出特征尺寸更小的晶體管,,在集成High NA EUV光刻技術的同時,Intel也在同步開發(fā)新的晶體管結構,,并改進工藝步驟,,如通過PowerVia背面供電技術減少步驟、簡化流程,。
此外,,Intel還公布了Intel 3,、Intel 18A、Intel 14A的數(shù)個演化版本,,以幫助客戶開發(fā)和交付符合其特定需求的產品,。