5月30日消息,,光刻機(jī)大廠ASML在imec(比利時(shí)微電子研究中心)的ITF World 2024會議上宣布,,其首款High-NA EUV光刻機(jī)已創(chuàng)下新的晶圓制造速度記錄,超過了兩個(gè)月前創(chuàng)下的記錄,。
根據(jù)ASML前總裁兼首席技術(shù)官,、現(xiàn)任公司顧問的Martin van den Brink的說法,,新的High NA EUV光刻機(jī)晶圓生產(chǎn)速度達(dá)到了每小時(shí)400至500片晶圓,是當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)EUV每小時(shí)200片晶圓的2-2.5倍的速度,,即提升了100%至150%,,將進(jìn)一步提升產(chǎn)能,并降低成本,。
現(xiàn)階段經(jīng)過進(jìn)一步調(diào)整,,ASML已經(jīng)可用其試驗(yàn)性質(zhì)High-NA EUV光刻機(jī)打印生產(chǎn)8nm線寬,這是的新紀(jì)錄,,這打破了該公司在4月初當(dāng)時(shí)創(chuàng)下的記錄,。當(dāng)時(shí)ASML宣布,已使用位于ASML荷蘭總部與imec聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的試驗(yàn)型High-NA EUV光刻機(jī)打印了10nm線寬,。
就發(fā)展路線來說,,ASML的標(biāo)準(zhǔn)EUV光刻機(jī)可以打印13.5nm的線寬,而新的High-NA EUV光刻機(jī)則是可以通過打印8nm線寬來創(chuàng)建更小的晶體管,。ASML現(xiàn)在已經(jīng)證明其設(shè)備可以滿足其基本規(guī)格,。
Martin van den Brink強(qiáng)調(diào),ASML當(dāng)前已經(jīng)取得了進(jìn)展,,能夠在整個(gè)打印線寬作業(yè)上將其低至8奈米記錄,,并進(jìn)行校正,,而且還具有一定程度的重疊覆蓋。因此,,ASML對High NA EUV光刻機(jī)的發(fā)展充滿信心,,預(yù)計(jì)未來將能夠在突破其極限。
而除了ASML自己在進(jìn)行High NA EUV光刻機(jī)的測試之外,,目前唯一安裝完成High NA EUV光刻機(jī)的英特爾,,也在美國俄勒岡州的D1X工廠投入測試工作。預(yù)計(jì)將在Intel 18A節(jié)點(diǎn)制程上進(jìn)行技術(shù)的研發(fā)與訓(xùn)練工作,,之后再將其投入到Intel 14A節(jié)點(diǎn)制程的大量生產(chǎn)當(dāng)中,。
Martin van den Brink指出,ASML已經(jīng)可以開發(fā)更新一代的Hyper-NA EUV光刻機(jī)了,,以進(jìn)一步擴(kuò)展其High-NA EUV光刻機(jī)的潛在路線圖,。