8月29日消息,據(jù)彭博社報(bào)道,,荷蘭政府計(jì)劃限制ASML在中國(guó)維修半導(dǎo)體設(shè)備的能力,,這或?qū)?duì)于中國(guó)提升先進(jìn)制程制造能力的努力造成打擊。
據(jù)熟悉內(nèi)情的人士透露,,在ASML某些在中國(guó)提供服務(wù)和備件的許可證于今年年底到期后,荷蘭首相迪克·肖夫政府很可能不再為其續(xù)期,。這一決定預(yù)計(jì)將涉及該公司的高端深紫外光刻(DUV)設(shè)備,。
AMSL是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,同時(shí)也是全球最大的光刻機(jī)供應(yīng)商,。此類設(shè)備供應(yīng)商在銷售設(shè)備時(shí)都附帶了維護(hù)協(xié)議,,這對(duì)設(shè)備的正常運(yùn)行至關(guān)重要。因此,,如果取消這種支持,,可能會(huì)導(dǎo)致至少部分設(shè)備最快在明年就無法運(yùn)行,。
據(jù)稱,荷蘭政府的決定是在美國(guó)施加一定壓力后做出的,。美國(guó)拜登政府的一位高級(jí)官員說,,如果這些盟國(guó)不同意在對(duì)華管制上與美國(guó)保持一致,美國(guó)政府可能將對(duì)盟國(guó)實(shí)施某些單邊措施,,包括所謂的“外國(guó)直接產(chǎn)品規(guī)則”(FDPR),。
FDPR將使得美國(guó)能夠?qū)ν鈬?guó)產(chǎn)品實(shí)施“長(zhǎng)臂管轄”。即使是在美國(guó)境外生產(chǎn)的特定物項(xiàng),,如果開發(fā)或制造直接利用了哪怕是最少量的美國(guó)特定受管控的軟件或技術(shù),,則該物項(xiàng)也將受到出口管制管轄。此前該規(guī)則僅被用于少數(shù)被美國(guó)商務(wù)部列入“實(shí)體清單”的企業(yè),。
目前,,除美國(guó)外,荷蘭,、日本和韓國(guó)是全球最重要的芯片制造設(shè)備生產(chǎn)國(guó),。此前就曾有報(bào)道稱,拜登政府威脅使用 FDPR 規(guī)則來讓這些盟國(guó)加入對(duì)華半導(dǎo)體出口管制,。
雖然,,荷蘭前首相馬克·呂特(Mark Rutte)領(lǐng)導(dǎo)下的荷蘭政府抵制了美國(guó)要求增加對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備售后服務(wù)限制的壓力,認(rèn)為需要更多時(shí)間來評(píng)估高端芯片制造設(shè)備出口禁令的影響,。
但是,,在今年7月荷蘭新首相迪克·肖夫上臺(tái)后,情況發(fā)生了改變,。由這位荷蘭前國(guó)家安全部門首腦迪克·肖夫領(lǐng)導(dǎo)的新政府已經(jīng)表明了對(duì)中國(guó)的警惕態(tài)度,。
迪克·肖夫在本月接受采訪時(shí)表示,荷蘭在與中國(guó)政府就國(guó)家安全問題進(jìn)行談判時(shí)必須"非常謹(jǐn)慎",。
當(dāng)被問及荷蘭政府今年是否考慮采取新的出口管制措施時(shí),,迪克·肖夫說,荷蘭政府與美國(guó)和日本進(jìn)行了"良好的談判",,并希望談判"以良好的結(jié)果告終",。
雖然荷蘭政府此前于2023年6月底頒布的有關(guān)先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的額外出口管制的新條例,但該政策于2023年9月1日才正式生效,。這些新的出口管制條例主要針對(duì)的對(duì)象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù),包括先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸沒式光刻系統(tǒng),。盡管如此,,ASML憑借已有的許可證,仍能夠允許其在2023年底前繼續(xù)將NXT:2000i 和更先進(jìn)的DUV光刻機(jī)出口到中國(guó)大陸,。
因此,,在荷蘭的限制政策真正發(fā)揮效力之前,,中國(guó)廠商已經(jīng)進(jìn)口了不少先進(jìn)的DUV光刻機(jī)。雖然7nm以下的先進(jìn)制程工藝必須要用到EUV光刻機(jī)才擁有足夠的效率,、良率和經(jīng)濟(jì)效益,,但是利用先進(jìn)的DUV光刻機(jī)通過多重曝光工藝,也依然能夠做到7nm,,甚至是更先進(jìn)的5nm制程,,雖然會(huì)帶來效率、良率的低下,,以及成本的大幅提高,。
即便如此,美國(guó)也希望繼續(xù)封堵住中國(guó)大陸通過利用已有的先進(jìn)的DUV設(shè)備的來實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程方面技術(shù)突破的努力,。因此,,美國(guó)希望通過限制ASML對(duì)于中國(guó)大陸已經(jīng)有的先進(jìn)的DUV光刻機(jī)提供售后維護(hù)服務(wù),來達(dá)到癱瘓這些已有的先進(jìn)DUV光刻機(jī),,從而進(jìn)一步限制中國(guó)先進(jìn)制程工藝的目的,。
值得注意的是,ASML首席財(cái)務(wù)官羅杰-達(dá)森(Roger Dassen)在7月份的財(cái)報(bào)后電話會(huì)議上告訴分析師,,盡管一些(中國(guó)大陸)工廠面臨更嚴(yán)格的限制,,但該公司仍有員工在中國(guó)客戶的工廠工作。相比之下,,由于美國(guó)的出口管制,,美國(guó)公司已經(jīng)不得不撤走為中國(guó)最高端芯片設(shè)備提供服務(wù)的員工。
AMSL前CEO Peter Wennink去年曾強(qiáng)調(diào),,“這些(限制)只適用于數(shù)量有限的(DUV)系統(tǒng),。但我們可以安裝它們。我們出售的任何其他系統(tǒng),,我們都可以安裝并提供服務(wù),。”因此,,這些限制“不會(huì)對(duì)ASML的2025年至2030年的財(cái)務(wù)狀況產(chǎn)生重大影響,,因?yàn)槭苡绊懙闹袊?guó)工廠數(shù)量有限”。
據(jù)芯智訊了解,,ASML的浸沒式DUV光刻機(jī)雖然目前已經(jīng)是非常成熟的設(shè)備,,其中關(guān)鍵的DUV光源除了ASML美國(guó)子公司Cymer之外,日本的GIGAPHOTON也可以供應(yīng),,但日本的新的出口管制政策似乎有限制,。另外在關(guān)鍵的鏡頭方面,主要是德國(guó)的蔡司供應(yīng),,因此這部分的維護(hù)和更換也能夠解決,。不過,,仍有一些零部件是只有美國(guó)來源,比如工件臺(tái),、配合工件臺(tái)定位對(duì)準(zhǔn)的激光部件,,都是純美國(guó)的產(chǎn)品。
雖然ASML目前在中國(guó)有一個(gè)維修中心,,部分零部壞了可以進(jìn)行本地維修,。但是如果修不好,需要更換,,那么只要是受限的美國(guó)來源的零部件,,又沒有其他的供應(yīng)來源替代,這就意味著該損壞的零部件無法得到更換,。唯一可行的方案,,可能就是到一些二手設(shè)備上拆對(duì)應(yīng)的零部件來替換了。當(dāng)然,,可能部分廠商之前有囤積一些零部件備件的庫存,,但這并非長(zhǎng)久之計(jì)。
如果荷蘭政府在美國(guó)壓力之下停止向ASML發(fā)放許可證,,那么ASML對(duì)于在華高端DUV設(shè)備的售后維護(hù)將會(huì)徹底受限,。
根據(jù)ASML的財(cái)報(bào)顯示,2023全年,,ASML的凈銷售額為276億歐元,,其中56億歐元來自于已安裝的設(shè)備維護(hù)服務(wù),占比20.29%,。而中國(guó)大陸在ASML的凈系統(tǒng)銷售當(dāng)中的占比約29%,。如果按照該比例計(jì)算的話,2023年ASML來自中國(guó)的設(shè)備維護(hù)服務(wù)收入約為16.24億歐元,。不過,,受限的高端DUV設(shè)備的售后維護(hù)服務(wù)營(yíng)收在當(dāng)中的占比可能也只占一部分。