《電子技術(shù)應(yīng)用》
您所在的位置:首頁 > EDA與制造 > 業(yè)界動態(tài) > 消息稱荷蘭將禁止ASML對在華高端DUV設(shè)備維護(hù)

消息稱荷蘭將禁止ASML對在華高端DUV設(shè)備維護(hù)

2024-08-30
來源:芯智訊
關(guān)鍵詞: ASML DUV

8月29日消息,,據(jù)彭博社報(bào)道,,荷蘭政府計(jì)劃限制ASML在中國維修半導(dǎo)體設(shè)備的能力,,這或?qū)τ谥袊嵘冗M(jìn)制程制造能力的努力造成打擊,。

據(jù)熟悉內(nèi)情的人士透露,,在ASML某些在中國提供服務(wù)和備件的許可證于今年年底到期后,,荷蘭首相迪克·肖夫政府很可能不再為其續(xù)期,。這一決定預(yù)計(jì)將涉及該公司的高端深紫外光刻(DUV)設(shè)備,。

AMSL是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,同時也是全球最大的光刻機(jī)供應(yīng)商,。此類設(shè)備供應(yīng)商在銷售設(shè)備時都附帶了維護(hù)協(xié)議,,這對設(shè)備的正常運(yùn)行至關(guān)重要。因此,,如果取消這種支持,,可能會導(dǎo)致至少部分設(shè)備最快在明年就無法運(yùn)行。

據(jù)稱,,荷蘭政府的決定是在美國施加一定壓力后做出的,。美國拜登政府的一位高級官員說,如果這些盟國不同意在對華管制上與美國保持一致,,美國政府可能將對盟國實(shí)施某些單邊措施,,包括所謂的“外國直接產(chǎn)品規(guī)則”(FDPR)。

FDPR將使得美國能夠?qū)ν鈬a(chǎn)品實(shí)施“長臂管轄”,。即使是在美國境外生產(chǎn)的特定物項(xiàng),,如果開發(fā)或制造直接利用了哪怕是最少量的美國特定受管控的軟件或技術(shù),則該物項(xiàng)也將受到出口管制管轄,。此前該規(guī)則僅被用于少數(shù)被美國商務(wù)部列入“實(shí)體清單”的企業(yè),。

目前,除美國外,,荷蘭、日本和韓國是全球最重要的芯片制造設(shè)備生產(chǎn)國,。此前就曾有報(bào)道稱,,拜登政府威脅使用 FDPR 規(guī)則來讓這些盟國加入對華半導(dǎo)體出口管制,。

雖然,荷蘭前首相馬克·呂特(Mark Rutte)領(lǐng)導(dǎo)下的荷蘭政府抵制了美國要求增加對于半導(dǎo)體設(shè)備售后服務(wù)限制的壓力,,認(rèn)為需要更多時間來評估高端芯片制造設(shè)備出口禁令的影響,。

但是,在今年7月荷蘭新首相迪克·肖夫上臺后,,情況發(fā)生了改變,。由這位荷蘭前國家安全部門首腦迪克·肖夫領(lǐng)導(dǎo)的新政府已經(jīng)表明了對中國的警惕態(tài)度。

迪克·肖夫在本月接受采訪時表示,,荷蘭在與中國政府就國家安全問題進(jìn)行談判時必須"非常謹(jǐn)慎",。

當(dāng)被問及荷蘭政府今年是否考慮采取新的出口管制措施時,迪克·肖夫說,,荷蘭政府與美國和日本進(jìn)行了"良好的談判",,并希望談判"以良好的結(jié)果告終"。

雖然荷蘭政府此前于2023年6月底頒布的有關(guān)先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的額外出口管制的新條例,,但該政策于2023年9月1日才正式生效,。這些新的出口管制條例主要針對的對象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù),包括先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸沒式光刻系統(tǒng),。盡管如此,,ASML憑借已有的許可證,仍能夠允許其在2023年底前繼續(xù)將NXT:2000i 和更先進(jìn)的DUV光刻機(jī)出口到中國大陸,。

因此,,在荷蘭的限制政策真正發(fā)揮效力之前,中國廠商已經(jīng)進(jìn)口了不少先進(jìn)的DUV光刻機(jī),。雖然7nm以下的先進(jìn)制程工藝必須要用到EUV光刻機(jī)才擁有足夠的效率,、良率和經(jīng)濟(jì)效益,但是利用先進(jìn)的DUV光刻機(jī)通過多重曝光工藝,,也依然能夠做到7nm,,甚至是更先進(jìn)的5nm制程,雖然會帶來效率,、良率的低下,,以及成本的大幅提高。

即便如此,,美國也希望繼續(xù)封堵住中國大陸通過利用已有的先進(jìn)的DUV設(shè)備的來實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程方面技術(shù)突破的努力,。因此,美國希望通過限制ASML對于中國大陸已經(jīng)有的先進(jìn)的DUV光刻機(jī)提供售后維護(hù)服務(wù),,來達(dá)到癱瘓這些已有的先進(jìn)DUV光刻機(jī),,從而進(jìn)一步限制中國先進(jìn)制程工藝的目的。

值得注意的是,,ASML首席財(cái)務(wù)官羅杰-達(dá)森(Roger Dassen)在7月份的財(cái)報(bào)后電話會議上告訴分析師,,盡管一些(中國大陸)工廠面臨更嚴(yán)格的限制,,但該公司仍有員工在中國客戶的工廠工作。相比之下,,由于美國的出口管制,,美國公司已經(jīng)不得不撤走為中國最高端芯片設(shè)備提供服務(wù)的員工。

AMSL前CEO Peter Wennink去年曾強(qiáng)調(diào),,“這些(限制)只適用于數(shù)量有限的(DUV)系統(tǒng),。但我們可以安裝它們。我們出售的任何其他系統(tǒng),,我們都可以安裝并提供服務(wù),。”因此,,這些限制“不會對ASML的2025年至2030年的財(cái)務(wù)狀況產(chǎn)生重大影響,,因?yàn)槭苡绊懙闹袊S數(shù)量有限”。

據(jù)芯智訊了解,,ASML的浸沒式DUV光刻機(jī)雖然目前已經(jīng)是非常成熟的設(shè)備,,其中關(guān)鍵的DUV光源除了ASML美國子公司Cymer之外,日本的GIGAPHOTON也可以供應(yīng),,但日本的新的出口管制政策似乎有限制,。另外在關(guān)鍵的鏡頭方面,主要是德國的蔡司供應(yīng),,因此這部分的維護(hù)和更換也能夠解決,。不過,仍有一些零部件是只有美國來源,,比如工件臺,、配合工件臺定位對準(zhǔn)的激光部件,都是純美國的產(chǎn)品,。

雖然ASML目前在中國有一個維修中心,,部分零部壞了可以進(jìn)行本地維修。但是如果修不好,,需要更換,,那么只要是受限的美國來源的零部件,又沒有其他的供應(yīng)來源替代,,這就意味著該損壞的零部件無法得到更換,。唯一可行的方案,可能就是到一些二手設(shè)備上拆對應(yīng)的零部件來替換了,。當(dāng)然,,可能部分廠商之前有囤積一些零部件備件的庫存,但這并非長久之計(jì)。

如果荷蘭政府在美國壓力之下停止向ASML發(fā)放許可證,,那么ASML對于在華高端DUV設(shè)備的售后維護(hù)將會徹底受限,。

根據(jù)ASML的財(cái)報(bào)顯示,2023全年,,ASML的凈銷售額為276億歐元,其中56億歐元來自于已安裝的設(shè)備維護(hù)服務(wù),,占比20.29%,。而中國大陸在ASML的凈系統(tǒng)銷售當(dāng)中的占比約29%。如果按照該比例計(jì)算的話,,2023年ASML來自中國的設(shè)備維護(hù)服務(wù)收入約為16.24億歐元,。不過,受限的高端DUV設(shè)備的售后維護(hù)服務(wù)營收在當(dāng)中的占比可能也只占一部分,。


Magazine.Subscription.jpg

本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn),。轉(zhuǎn)載的所有的文章,、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有,。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者,。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題,,請及時通過電子郵件或電話通知我們,,以便迅速采取適當(dāng)措施,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失,。聯(lián)系電話:010-82306118,;郵箱:[email protected]