中文引用格式: 祁建華,,馬詩旻,何桂玲. 數(shù)字孿生在半導體測試設備中的實踐[J]. 電子技術應用,,2024,,50(9):25-30.
英文引用格式: Qi Jianhua,Ma Shimin,,He Guiling. The practice of digital twinship in semiconductor testing equipment[J]. Application of Electronic Technique,,2024,50(9):25-30.
引言
我國在2015年部署了“中國制造2025”戰(zhàn)略,,全面推進實施制造強國戰(zhàn)略[1],。智能制造是“中國制造2025”的主攻方向,而數(shù)字孿生(Digital Twin)是智能制造迅速發(fā)展的關鍵技術之一[2-3],。
數(shù)字孿生技術通過為物理世界中的客觀對象建立數(shù)字模型,,實現(xiàn)對物理世界實體對象的實時監(jiān)測、分析和優(yōu)化[4],。數(shù)字孿生可實現(xiàn)物理世界與信息世界的交互融合[5],,被用于解決實際的工程問題。
Gartner在2017年開始連續(xù)三年將數(shù)字孿生列為十大戰(zhàn)略科技發(fā)展趨勢[6-8],。中國科學技術協(xié)會在其發(fā)布的2020重大科學問題和工程技術難題中將“如何建立虛擬孿生理論和技術基礎并開展示范應用”列為前沿科學問題之一[9],。
智能制造數(shù)字孿生應用已被廣泛應用于航空航天、電力,、船舶等行業(yè)[10-12],。在半導體制造業(yè)的數(shù)字化轉(zhuǎn)型中,借助數(shù)字孿生技術可以對產(chǎn)線全流程進行實時監(jiān)控和管理,,有效提高企業(yè)的生產(chǎn)效率[13],。
集成電路生產(chǎn)線的設備投資占據(jù)總資本支出的80%(據(jù)SEMI估計)[14],提高設備綜合利用率對于降低生產(chǎn)成本至關重要,。通過IoT和邊緣計算,,采集和上傳設備數(shù)據(jù)后,數(shù)字孿生技術可完成設備的可視化監(jiān)控管理,實現(xiàn)提質(zhì)增效的價值[15-16],,數(shù)字孿生正成為制造業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型的核心驅(qū)動力[17],。
數(shù)字孿生的定義在不同領域存在分歧[18]。陶飛教授提出了數(shù)字孿生成熟度模型分析[19],,該模型將數(shù)字孿生的成熟度分為L0至L5共六個等級,。本文將探討半導體測試服務企業(yè)如何在這六個等級中,打通設備物理世界與虛擬世界的數(shù)據(jù)通道,,并在數(shù)據(jù)上進行模擬分析,,嘗試進行部分預測和優(yōu)化工作。
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作者信息:
祁建華1,,馬詩旻2,,何桂玲2
(1.上海華嶺集成電路技術股份有限公司,上海 201203,;
2.上?;饟纯萍加邢薰荆虾?201402)