9 月 15 日消息,工業(yè)和信息化部于 9 月 9 日印發(fā)《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024 年版)》通知,,在文件列表包含國產(chǎn)氟化氪光刻機(jī)(110nm),,和氟化氬光刻機(jī)(65nm)的內(nèi)容,。
中國首臺(套)重大技術(shù)裝備是指國內(nèi)實現(xiàn)重大技術(shù)突破,、擁有知識產(chǎn)權(quán),、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品,包括整機(jī)設(shè)備,、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等,。
附上這兩行信息截圖如下:
晶圓直徑 照明波長 分辨率 套刻
氟化氪(KrF)光刻機(jī) 300mm 248nm ≤110nm ≤25nm
氟化氬(ArF)光刻機(jī) 300mm 193nm ≤65nm ≤8nm
氟化氪(KrF)和氟化氬(ArF)兩種氣體均服務(wù)于深紫外(DUV)光刻機(jī),產(chǎn)生深紫外光的準(zhǔn)分子激光器,。
目前來說,,光刻機(jī)共經(jīng)歷了五代的發(fā)展,從最早的 436 波長,,再到第二代光刻機(jī)開始使用波長 365nm i-line,,第三代則是 248nm 的 KrF 激光,。第四代就是 193nm 波長的 DUV 激光,這就是 ArF 準(zhǔn)分子激光,。
ArF(氟化氬)準(zhǔn)分子激光源光刻機(jī),,光源實際波長突破 193nm,縮短為 134nm,,NA 值為 1.35,,最高可實現(xiàn) 7nm 制程節(jié)點。
浸入技術(shù)是指讓鏡頭和硅片之間的空間浸泡于液體之中,,由于液體的折射率大于 1,,使得激光的實際波長會大幅度縮小。
套刻精度就是常說的“多重曝光能達(dá)到的最高精度”,,按套刻精度與量產(chǎn)工藝 1:3 的關(guān)系,,這個光刻機(jī)大概可以量產(chǎn) 28nm 工藝的芯片,。
28 納米光刻機(jī),,是芯片中低端和中高端的分界線,意味著工業(yè)獨立,,中國的空調(diào)洗衣機(jī)汽車等各類工業(yè)品,可以突破西方國家設(shè)置的重重封鎖,,自主生產(chǎn)銷售。