（中國(guó)上海，2024年11月4日）——半導(dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)商ASML（阿斯麥）將于11月5日至10日參加第七屆中國(guó)國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“進(jìn)博會(huì)”），亮相技術(shù)裝備展區(qū)集成電路專(zhuān)區(qū)4.1展館A1-03展臺(tái),。在本屆進(jìn)博會(huì)上,，ASML延續(xù)“光刻未來(lái)，攜手同行”的主題，將通過(guò)與時(shí)俱進(jìn)的交互式數(shù)字化形式重點(diǎn)展示其融合光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻和量測(cè)的全景光刻解決方案，幫助客戶(hù)提升產(chǎn)能和良率,。

ASML全球執(zhí)行副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波表示：“今年是我們第六次參加進(jìn)博會(huì),。每年一度的進(jìn)博盛會(huì)持續(xù)體現(xiàn)了中國(guó)擴(kuò)大開(kāi)放,、推動(dòng)合作的承諾，其傳遞的‘共享未來(lái)’理念與ASML的企業(yè)文化高度契合,。借助此次進(jìn)博會(huì),，我們希望進(jìn)一步增強(qiáng)行業(yè)內(nèi)外對(duì)于A(yíng)SML全景光刻解決方案的認(rèn)知?！?/p>

今年,，ASML將在展臺(tái)著重介紹全景光刻解決方案下的三款應(yīng)用廣泛的DUV光刻機(jī)和一款新型的電子束量測(cè)設(shè)備，以及計(jì)算光刻業(yè)務(wù),。參觀(guān)者可以近距離感受ASML如何憑借持續(xù)創(chuàng)新幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)更多價(jià)值,。

· DUV 產(chǎn)品：

o NXT:1470和NXT:870：這兩款從XT氣浮平臺(tái)升級(jí)至NXT磁浮平臺(tái)的干式DUV產(chǎn)品，能為客戶(hù)顯著提升產(chǎn)能并降低單位成本,；其中NXT:1470 是ASML 第一款應(yīng)用NXT平臺(tái),，并實(shí)現(xiàn)每小時(shí)晶圓產(chǎn)量（wph）達(dá)300片以上的干式DUV機(jī)臺(tái)。

o XT:260：即將推出的XT:260機(jī)臺(tái)是基于A(yíng)SML獨(dú)有的雙工作臺(tái)技術(shù)，采用業(yè)界公認(rèn)的XT4 平臺(tái),，具有雙倍視場(chǎng)曝光的i-line光刻系統(tǒng),。該產(chǎn)品能夠有效提升性能并降低單片晶圓成本，可支持從先進(jìn)封裝到主流市場(chǎng)的的廣泛應(yīng)用和發(fā)展趨勢(shì),。

· 量測(cè)設(shè)備：eScan 1100是ASML第一代實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)缺陷檢測(cè)（物理缺陷和電性缺陷）的多束電子束檢測(cè)系統(tǒng),，具有25條光束，可將晶圓量測(cè)吞吐量提高至單束量測(cè)系統(tǒng)的10倍以上,。

· 計(jì)算光刻業(yè)務(wù)：計(jì)算光刻主要應(yīng)用于芯片的開(kāi)發(fā)與制造環(huán)節(jié),，通過(guò)優(yōu)化成像光源與掩模板設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)更精確的圖形成像和更好的芯片生產(chǎn)良率,。

在展臺(tái)上，ASML中國(guó)創(chuàng)新地借助人工智能生成內(nèi)容（AIGC）技術(shù),，以“光的旅程”為主題,，將ASML不斷推動(dòng)科技進(jìn)步的歷程可視化——一縷從40年前公司創(chuàng)立之初啟程的微光，如今已照射至全景光刻解決方案的每條業(yè)務(wù)線(xiàn),，也點(diǎn)亮了現(xiàn)代科技生活的每個(gè)角落,，最終穿梭到未來(lái)世界，開(kāi)啟全新的科技篇章,。值此公司成立40周年之際,，ASML也在展臺(tái)上設(shè)置了隨處可見(jiàn)的40周年紀(jì)念元素和打卡區(qū)域。

在四十年的崢嶸歲月里,，ASML一直致力于光刻技術(shù)的研究和發(fā)展,，實(shí)現(xiàn)了無(wú)數(shù)次的技術(shù)突破與創(chuàng)新，推動(dòng)摩爾定律不斷向前發(fā)展,。值得一提的是,，自1988年交付首臺(tái)步進(jìn)式光刻機(jī)以來(lái)，今年也是ASML深耕中國(guó)市場(chǎng)的第36年,。展望未來(lái),，ASML期待與合作伙伴一起，助力半導(dǎo)體行業(yè)可持續(xù)發(fā)展,。