12 月 11 日消息，Lam Research 泛林集團當?shù)貢r間昨日對其打造的世界首款專為半導體制造設備維護打造的協(xié)作機器人（注：Collaborative Robot）Dextro 進行了介紹，并表示該型機器人已獲全球多家先進晶圓廠應用,。

Dextro 協(xié)作機器人是一種位于推車上的可移動機械臂裝置,，由制造技術人員或工程師進行控制,，借助各種“手部工具”能很好地完成三項關鍵設備維護任務：

在安裝和壓縮易損件時精度是人手的 2 倍,；

精確擰緊高精度真空密封螺栓,，人類員工用手完成這一重復性任務時錯誤率高達 5%,；

無需拆卸下腔室即可自動化去除腔室側壁上的任何聚合物堆積,，以往人類需要配備重型呼吸防護設備才能執(zhí)行此類任務,。

這意味著 Dextro 可幫助晶圓廠工程師分擔通常耗時、容易出錯或危險的維護任務,，提升工藝整體精確度,，減少勞動力需求、降低浪費,、縮短停機,，從而最終提高晶圓廠產量。

泛林表示單個 Dextro 協(xié)作機器人能為 50 到 100 個泛林工具腔室提供服務,，目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介電刻蝕工具的支持工作,，自 2025 年開始將擴展至其它工具和應用。

三星電子副總裁兼內存蝕刻技術團隊負責人 Kim Young Ju 表示：

當制造設備需要維護時,，必須快速高效地完成工作,，以避免延長工具停機時間和浪費成本。

Dextro 的無差錯維護有助于推動生產在可變性和產量上的改進,。這是三星邁向自主工廠的一個激動人心的里程碑,。