1月15日，荷蘭政府通過(guò)官網(wǎng)宣布,，將加強(qiáng)其先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口管制措施,，自2025年4月1日起，更多類型的設(shè)備和技術(shù)將受到國(guó)家授權(quán)的要求。例如，新政策將適用于可被用于先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)的特定測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備。

這一新的授權(quán)要求是荷蘭國(guó)家出口管制措施自2023年9月1日實(shí)施以來(lái)第二次修訂,。

荷蘭對(duì)外貿(mào)易和發(fā)展部長(zhǎng)Reinette Klever于當(dāng)?shù)貢r(shí)間周三在政府公報(bào)中表示：“我們認(rèn)為保持對(duì)誰(shuí)獲得什么技術(shù)的控制權(quán)是很重要的。政府密切監(jiān)控半導(dǎo)體制造技術(shù),。技術(shù)的發(fā)展可能使修改規(guī)則成為必要,。我們注意到，這種特定設(shè)備不受控制的出口增加了安全風(fēng)險(xiǎn),。因此,，今后需要出口許可?！北M管出口管制措施的擴(kuò)大僅涵蓋數(shù)量非常有限的技術(shù)和貨物,。

到目前為止,，荷蘭頒布的國(guó)家出口管制措施涵蓋了半導(dǎo)體生產(chǎn)周期中的一些非常具體的技術(shù)，如光刻設(shè)備?，F(xiàn)在,，用于制造過(guò)程中其他步驟的有限技術(shù)現(xiàn)在也受到授權(quán)要求的約束。

具體原因在于,，荷蘭政府認(rèn)為,，與這些技術(shù)不受控制的出口相關(guān)的安全風(fēng)險(xiǎn)增加了。這些技術(shù)可以與其他國(guó)家的技術(shù)結(jié)合起來(lái)生產(chǎn)先進(jìn)的半導(dǎo)體,。這種先進(jìn)的半導(dǎo)體可以反過(guò)來(lái)在先進(jìn)的軍事應(yīng)用中發(fā)揮關(guān)鍵作用,。

根據(jù)荷蘭的國(guó)家授權(quán)要求，這些技術(shù)的出口現(xiàn)在也需要出口授權(quán),。荷蘭政府將根據(jù)具體情況決定是否授權(quán),。國(guó)家措施適用于從荷蘭向歐盟以外的所有目的地的出口,。這并不構(gòu)成出口禁令,。

“半導(dǎo)體行業(yè)是國(guó)際化的。荷蘭在這一領(lǐng)域發(fā)揮著獨(dú)特的作用,。重要的是,，我們不能不必要地?cái)_亂芯片行業(yè)。因此,，在擴(kuò)大出口管制措施時(shí),，我們將極其謹(jǐn)慎地開(kāi)展工作，”Reinette Klever說(shuō),。

雖然荷蘭政府并未明確哪些荷蘭企業(yè)的哪些測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備將會(huì)受到新的“出口管制”限制,，不過(guò)從前面描述來(lái)看，應(yīng)該指的是能夠被用于先進(jìn)制程制造過(guò)程當(dāng)中的前道量測(cè)設(shè)備,。

預(yù)計(jì)ASML的相關(guān)量測(cè)設(shè)備的出口可能會(huì)受到影響,。因?yàn)锳SML除了是全球最大的光刻機(jī)廠商之外，其也有量測(cè)業(yè)務(wù),，包括電子束檢測(cè)方案和Yieldstar光學(xué)方案,。

半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)現(xiàn)狀

從技術(shù)路線原理上看，半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備主要包括光學(xué)檢測(cè)技術(shù),、電子束檢測(cè)技術(shù)和 X 光量測(cè)技術(shù),，其中光學(xué)檢測(cè)技術(shù)空間占比較大。

根據(jù) VLSI Research和 QY Research 的報(bào)告,，2020 年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)中,，應(yīng)用光學(xué)檢測(cè)技術(shù)、電子束檢測(cè)技術(shù)及 X光量測(cè)技術(shù)的設(shè)備市場(chǎng)份額占比分別為 75.2%,、18.7%及 2.2%,。需要指出的是光學(xué)檢測(cè)工具比電子束檢測(cè)及 X光量測(cè)設(shè)備速度更快,。

目前，全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)也呈現(xiàn)國(guó)外設(shè)備企業(yè)壟斷的格局,， 全球范圍內(nèi)主要檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)包括科磊半導(dǎo)體,、應(yīng)用材料、日立,、雷泰光電,、創(chuàng)新科技、ASML等,。其中,，科磊半導(dǎo)體一家獨(dú)大，根據(jù) VLSI Research 統(tǒng)計(jì)的2020年數(shù)據(jù)顯示,，科磊當(dāng)時(shí)在檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備的合計(jì)市場(chǎng)份額占比為 50.8%,，全球前五大公司合計(jì)市場(chǎng)份額占比超過(guò)了 82.4%， 均來(lái)自美國(guó)和日本,，市場(chǎng)集中度較高,。

同時(shí)，中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)中,，設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率較低,，市場(chǎng)主 要由幾家壟斷全球市場(chǎng)的國(guó)外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位，其中科磊半導(dǎo)體在中國(guó)市場(chǎng) 的占比仍然最高,，領(lǐng)先于所有國(guó)內(nèi)外檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備公司,，并且得益于中國(guó)市 場(chǎng)規(guī)模近年來(lái)的高速增長(zhǎng)，根據(jù) VLSI Research 的統(tǒng)計(jì),，科磊半導(dǎo)體在中國(guó)大陸市場(chǎng)近 5 年的銷售額復(fù)合增長(zhǎng)率超過(guò) 35.7%,，顯著高于其在全球約 13.2%的復(fù)合增長(zhǎng)率。

根據(jù) VLSI Research 的統(tǒng)計(jì),，2020 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為 21.0 億美元,，占全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)比例為 27.4%。2020年時(shí),，中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)中,，設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率較低，市場(chǎng)主要由幾家壟斷全球市場(chǎng)的國(guó)外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位,，其中科磊半導(dǎo)體在中國(guó)市場(chǎng)的占比最高,，為 54.8%，其次依次為應(yīng)用材料,、日立,，占比分別為 9.0%和 7.1%。這三家國(guó)外廠商在中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)市場(chǎng)的份額合計(jì)超過(guò) 70%,，呈現(xiàn)高度壟斷的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)格局,。

隨著芯片集成度不斷提高,，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備對(duì)于芯片制造的良率尤為重要，量測(cè)設(shè)備的需求量將倍增,。我國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模也在持續(xù)增長(zhǎng),，根據(jù)最新的數(shù)據(jù)顯示，2023年中國(guó)市場(chǎng)規(guī)劃已經(jīng)達(dá)到42.3 億美元規(guī)模,。

在國(guó)內(nèi)自主可控的趨勢(shì)之下,，本土檢測(cè)設(shè)備企業(yè)的技術(shù)也快速推進(jìn)。中科飛測(cè)相關(guān)設(shè)備的量產(chǎn)型號(hào)已覆蓋2Xnm及以上工藝節(jié)點(diǎn),，1Xnm設(shè)備研發(fā)進(jìn)展順利,。此外，上海精測(cè)電子束檢測(cè)設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入 1Xnm 驗(yàn)證,，上海睿勵(lì)自主研發(fā)的光學(xué)薄膜量測(cè)設(shè)備也已進(jìn)入 14nm 產(chǎn)線驗(yàn)證,。