1月15日，荷蘭政府通過官網宣布,，將加強其先進半導體制造設備的出口管制措施，自2025年4月1日起，更多類型的設備和技術將受到國家授權的要求,。例如，新政策將適用于可被用于先進半導體生產的特定測量和檢測設備,。
這一新的授權要求是荷蘭國家出口管制措施自2023年9月1日實施以來第二次修訂,。
荷蘭對外貿易和發(fā)展部長Reinette Klever于當地時間周三在政府公報中表示：“我們認為保持對誰獲得什么技術的控制權是很重要的。政府密切監(jiān)控半導體制造技術,。技術的發(fā)展可能使修改規(guī)則成為必要,。我們注意到，這種特定設備不受控制的出口增加了安全風險,。因此,，今后需要出口許可?！北M管出口管制措施的擴大僅涵蓋數量非常有限的技術和貨物,。
到目前為止，荷蘭頒布的國家出口管制措施涵蓋了半導體生產周期中的一些非常具體的技術,，如光刻設備?，F在，用于制造過程中其他步驟的有限技術現在也受到授權要求的約束,。
具體原因在于,，荷蘭政府認為，與這些技術不受控制的出口相關的安全風險增加了,。這些技術可以與其他國家的技術結合起來生產先進的半導體,。這種先進的半導體可以反過來在先進的軍事應用中發(fā)揮關鍵作用。
根據荷蘭的國家授權要求,，這些技術的出口現在也需要出口授權,。荷蘭政府將根據具體情況決定是否授權。國家措施適用于從荷蘭向歐盟以外的所有目的地的出口。這并不構成出口禁令,。
“半導體行業(yè)是國際化的,。荷蘭在這一領域發(fā)揮著獨特的作用。重要的是,，我們不能不必要地擾亂芯片行業(yè),。因此，在擴大出口管制措施時,，我們將極其謹慎地開展工作,，”Reinette Klever說。
雖然荷蘭政府并未明確哪些荷蘭企業(yè)的哪些測量和檢測設備將會受到新的“出口管制”限制,，不過從前面描述來看,，應該指的是能夠被用于先進制程制造過程當中的前道量測設備。
預計ASML的相關量測設備的出口可能會受到影響,。因為ASML除了是全球最大的光刻機廠商之外,，其也有量測業(yè)務，包括電子束檢測方案和Yieldstar光學方案,。
半導體檢測與量測設備市場現狀
從技術路線原理上看,，半導體檢測和量測設備主要包括光學檢測技術、電子束檢測技術和 X 光量測技術,，其中光學檢測技術空間占比較大。
根據 VLSI Research和 QY Research 的報告,，2020 年全球半導體檢測和量測設備市場中,，應用光學檢測技術、電子束檢測技術及 X光量測技術的設備市場份額占比分別為 75.2%,、18.7%及 2.2%,。需要指出的是光學檢測工具比電子束檢測及 X光量測設備速度更快。
目前,，全球半導體檢測和量測設備市場也呈現國外設備企業(yè)壟斷的格局,， 全球范圍內主要檢測和量測設備企業(yè)包括科磊半導體、應用材料,、日立,、雷泰光電、創(chuàng)新科技,、ASML等,。其中，科磊半導體一家獨大,，根據 VLSI Research 統(tǒng)計的2020年數據顯示,，科磊當時在檢測與量測設備的合計市場份額占比為 50.8%，全球前五大公司合計市場份額占比超過了 82.4%， 均來自美國和日本,，市場集中度較高,。
同時，中國半導體檢測與量測設備市場中,，設備的國產化率較低,，市場主 要由幾家壟斷全球市場的國外企業(yè)占據主導地位，其中科磊半導體在中國市場 的占比仍然最高,，領先于所有國內外檢測和量測設備公司,，并且得益于中國市 場規(guī)模近年來的高速增長，根據 VLSI Research 的統(tǒng)計,，科磊半導體在中國大陸市場近 5 年的銷售額復合增長率超過 35.7%,，顯著高于其在全球約 13.2%的復合增長率。
根據 VLSI Research 的統(tǒng)計,，2020 年中國大陸半導體檢測與量測設備市場規(guī)模為 21.0 億美元,，占全球半導體檢測和量測設備市場比例為 27.4%。2020年時,，中國半導體檢測與量測設備市場中,，設備的國產化率較低，市場主要由幾家壟斷全球市場的國外企業(yè)占據主導地位,，其中科磊半導體在中國市場的占比最高,，為 54.8%，其次依次為應用材料,、日立,，占比分別為 9.0%和 7.1%。這三家國外廠商在中國半導體檢測和量測市場的份額合計超過 70%,，呈現高度壟斷的市場競爭格局,。
隨著芯片集成度不斷提高，半導體量檢測設備對于芯片制造的良率尤為重要,，量測設備的需求量將倍增,。我國半導體檢測與量測設備市場規(guī)模也在持續(xù)增長，根據最新的數據顯示,，2023年中國市場規(guī)劃已經達到42.3 億美元規(guī)模,。
在國內自主可控的趨勢之下，本土檢測設備企業(yè)的技術也快速推進,。中科飛測相關設備的量產型號已覆蓋2Xnm及以上工藝節(jié)點,，1Xnm設備研發(fā)進展順利。此外,，上海精測電子束檢測設備已經進入 1Xnm 驗證,，上海睿勵自主研發(fā)的光學薄膜量測設備也已進入 14nm 產線驗證,。
