離子束用于各種應(yīng)用場(chǎng)合,，諸如，質(zhì)譜儀和離子注入機(jī)等,。離子束電流通常非常?。?mu;A），所以需要使用靜電計(jì)或皮安表來(lái)進(jìn)行測(cè)量,。本文介紹了如何使用6485型皮安表和6487型皮安表/電壓源來(lái)進(jìn)行這種測(cè)量工作,。在電流靈敏度更高時(shí)，可以改用靜電計(jì)來(lái)進(jìn)行測(cè)量,。

　　測(cè)量方法

　　如果離子源偏離地電位,，那么離子收集電極多半處在地電位。在這種情況下,，可以使用簡(jiǎn)單的真空同軸接頭來(lái)進(jìn)行從收集電極到皮安計(jì)的連接,。圖4-16示出6485型皮安計(jì)從離子收集電極測(cè)量電流的情況，這時(shí)儀器工作在地電位,。

　　然而,，如果離子源處在地電位，離子收集電極必須偏離地電位,。6485型皮安計(jì)只能偏離地電位大約42V，所以必須使用能夠浮地電位達(dá)500V的6487型皮安計(jì),。圖4-17是6487型皮安計(jì)浮地測(cè)量離子束的一個(gè)例子,。

　　皮安計(jì)的高端通過(guò)三同軸的真空接頭連到離子收集電極,。皮安計(jì)的低端由電壓源偏離地電位。出于安全的考慮,，當(dāng)偏置電壓大于42V時(shí),，應(yīng)當(dāng)使用三同軸的真空接頭。6487型皮安計(jì)能夠浮地高達(dá)500V,。

　　如果無(wú)法找到三同軸的真空接頭,，可以在絕緣的BNC連接處構(gòu)建金屬安全屏蔽（圖4-18）。將該金屬安全屏蔽接地,。

　　如果對(duì)地的浮地電壓小于42V,，絕緣的BNC接頭就不需要安全屏蔽。

　　完成電路連接之后,，接通偏置電壓,，在沒(méi)有離子束電流的情況下進(jìn)行電流測(cè)量，以驗(yàn)證系統(tǒng)能夠正常工作,。如果這時(shí)的電流比要測(cè)量的電流大得多,，系統(tǒng)中一定存在著寄生泄漏通路，必須將其糾正,。

　　我們常常需要把離子束電流與時(shí)間的函數(shù)關(guān)系畫(huà)成曲線,。此項(xiàng)工作可以使用皮安計(jì)的模擬輸出功能來(lái)完成或者使用IEEE-488總線或 RS-232接口來(lái)采集讀數(shù)，再用繪圖編程軟件包（例如ExceLINX）或圖表軟件將其畫(huà)成曲線,。

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