精密化學,、生物醫(yī)藥、精細化工,、精密儀器等領(lǐng)域?qū)囟瓤刂凭鹊囊髽O高,，而溫度控制的核心正是溫度測量。采用鉑電阻測量溫度是一種有效的高精度溫度測量方法,，但具有以下難點：引線電阻,、自熱效應、元器件漂移和鉑電阻傳感器精度,。其中,，減小引線電阻的影響是高精度測量的關(guān)鍵點。對于自熱效應,，根據(jù)元件發(fā)熱公式P=I2R,，必須使流過元件的電流足夠小才能使其發(fā)熱量小，傳感器才能檢測出正確
的溫度,。但是過小的電流又會使信噪比下降,，精度更是難以保證。此外,，一些元器件和儀器很難滿足元器件漂移和鉑電阻傳感器精度的要求,。
易先軍等提出了以鉑電阻為測溫元件的高精度溫度測量方案，解決了高精度測量對硬件電路的一些苛刻要求問題,，但是精度不佳(±0.4 ℃),；楊彥偉提出了以MAX1402、AT89C51和Pt500鉑電阻設(shè)計的精密溫度測量系統(tǒng)" title="測量系統(tǒng)">測量系統(tǒng)方案解決了基本的高精度問題,，但是系統(tǒng)功耗大，精度仍然不佳,；李波等提出采用以負溫度系數(shù)熱敏電阻為核心的高精度測量方案,，較好解決了高精度的問題，但是性價比不高,，實施效果不佳,，測溫分辨率能達到0．01℃，測溫準確度只達到O．1℃,。這里提出采用三線制恒流源" title="恒流源">恒流源驅(qū)動方案克服引線電阻,、自熱效應,，利用單片機系統(tǒng)校正控制方案實現(xiàn)元器件漂移和鉑電阻傳感器精度校準，最后在上位機中采用MLS數(shù)值算法實現(xiàn)噪聲抵消,，大大提高了溫度測量精度" title="測量精度">測量精度和穩(wěn)定度,。
1 高精度測量方案及原理
鉑電阻傳感器是利用金屬鉑(Pt)的電阻值隨溫度變化而變化的物理特性而制成的溫度傳感器。以鉑電阻作為測溫元件進行溫度測量的關(guān)鍵是要能準確地測量出鉑電阻傳感器的電阻值,。按照IEC751國際標準,，現(xiàn)在常用的Pt1000(Ro=1 000 Ω)是以溫度系數(shù)TCR=0．003 851為標準統(tǒng)一設(shè)計的鉑電阻。其溫度電阻特性是：
本溫度測量系統(tǒng)" title="溫度測量系統(tǒng)">溫度測量系統(tǒng)采用三線制恒流源驅(qū)動法驅(qū)動鉑電阻傳感器,。三線制恒流源驅(qū)動法是指用硬件電路消除鉑電阻傳感器的固定電阻(零度電阻),，直接測量傳感器的電阻變化量。圖l為三線制恒流源驅(qū)動法高精度測量方案,，參考電阻與傳感器串聯(lián)連接,，用恒流源驅(qū)動，電路各元件將產(chǎn)生相應的電壓,，傳感器因溫度變化部分電阻的電壓可以由后面的放大電路和A／D轉(zhuǎn)換器直接測量,，并采用2次電壓測量—交換驅(qū)動電流方向，在每個電流方向上各測量一次,。其特點是直接測量傳感器的電阻變化量,，A／D轉(zhuǎn)換器利用效率高，電路輸出電壓同電阻變化量成線性關(guān)系,。傳感器采用三線制接法能有效地消除導線電阻和自熱效應的影響,。利用單片機系統(tǒng)控制兩次測量電壓可以避免接線勢壘電壓及放大器、A／D轉(zhuǎn)換器的失調(diào)與漂移產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差,，還可以校準鉑電阻傳感器精度,。恒流源與A／D轉(zhuǎn)換器共用參考基準，這樣根據(jù)A／D轉(zhuǎn)換器的計量比率變換原理,，可以消除參考基準不穩(wěn)定產(chǎn)生的誤差,，不過對恒流源要求較高，電路結(jié)構(gòu)較為復雜,。為了進一步克服噪聲和隨機誤差對測量精度和穩(wěn)定度的影響,，最后在上位機中采用MLS數(shù)值算法實現(xiàn)噪聲抵消，大大提高了溫度測量精度和穩(wěn)定度,。
2 系統(tǒng)電路設(shè)計
2．1 三線制恒流源驅(qū)動電路
恒流源驅(qū)動電路負責驅(qū)動溫度傳感器Pt1000,，將其感知的隨溫度變化的電阻信號轉(zhuǎn)換成可測量的電壓信號。本系統(tǒng)中,，所需恒流源要具有輸出電流恒定,，溫度穩(wěn)定性好，輸出電阻很大，輸出電流小于0．5 mA(Pt1000無自熱效應的上限),，負載一端接地,，輸出電流極性可改變等特點。
由于溫度對集成運放參數(shù)影響不如對晶體管或場效應管參數(shù)影響顯著,，由集成運放構(gòu)成的恒流源具有穩(wěn)定性更好,、恒流性能更高的優(yōu)點。尤其在負載一端需要接地的場合,，獲得了廣泛應用,。所以采用圖2所示的雙運放恒流源。其中放大器UA1構(gòu)成加法器,，UA2構(gòu)成跟隨器,，UA1、UA2均選用低噪聲,、低失調(diào),、高開環(huán)增益雙極性運算放大器OP07。
設(shè)圖2中參考電阻Rref上下兩端的電位分別Va和Vb,，Va即為同相加法器UA1的輸出,，當取電阻R1=R2，R3=R4時,，則Va=VREFx+Vb,，故恒流源的輸出電流就為：
由此可見該雙運放恒流源具有以下顯著特點：
1)負載可接地；2)當運放為雙電源供電時,，輸出電流為雙極性,；3)恒定電流大小通過改變輸入?yún)⒖蓟鶞蔞REF或調(diào)整參考電阻Rref0的大小來實現(xiàn)，很容易得到穩(wěn)定的小電流和補償校準,。
由于電阻的失配,，參考電阻Rref0的兩端電壓將會受到其驅(qū)動負載的端電壓Vb的影響。同時由于是恒流源,，Vb肯定會隨負載的變化而變化,，從而就會影響恒流源的穩(wěn)定性。顯然這對高精度的恒流源是不能接受的,。所以R1,，R2，R3,，R4這4個電阻的選取原則是失配要盡量的小,，且每對電阻的失配大小方向要一致。實際中,，可以對大量同一批次的精密電阻進行篩選，選出其中阻值接近的4個電阻。
2．2 信號調(diào)理電路
信號調(diào)理電路如圖3所示,，放大器UA3對參考電阻Rref的端電壓進行單位放大后得到差分放大器反向輸入端信號,，其值為
放大器UA4對溫度傳感器Rt(Pt1000)的端電壓放大2倍后得到差分放大器的正向輸入端信號，其值為
其中,，電阻R5和R6的選擇原則與之前恒流源分析中的比例電阻選擇原則相同,，即通過對大量普通標稱電阻進行篩選，從中選取阻值最接近的,。
2．3 A／D轉(zhuǎn)換電路
A／D轉(zhuǎn)換電路由一個集成A／D轉(zhuǎn)換器AD7712完成,，同時將利用其內(nèi)部的PGA完成儀表放大器的差分放大功能。AD7712是適合低頻測量的高精度A／D轉(zhuǎn)換器,。片內(nèi)含有2個輸入通道AIN1和AIN2,，能將模擬信號轉(zhuǎn)換成串行數(shù)據(jù)輸出。利用AD7712實現(xiàn)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換采集的原理電路如圖4所示,，實際工作時需要對其進行配置,。選用差分輸入通道AIN1，輸入信號極性為雙極性,。
測量結(jié)果的誤差主要來源于參考電阻Rref,、Rref0的誤差，以及差分放大倍數(shù)k和A／D轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換輸出的誤差,。為了達到要求的測量精度,，參考電阻Rref、Rref0將采用定制的UPR塑封金屬箔電阻,，這種電阻具有O．05％的初始精度,，小于5 ppm的溫度穩(wěn)定性。AD7712的非線性誤差小于O．001 5％,，增益溫度穩(wěn)定性小于2 ppm,，并且還可以通過單片機對AD7712進行校準來減小其非線性誤差以及增益誤差。
3 定標與實測結(jié)果
3．1 測量系統(tǒng)定標
首先用高精度電阻箱(誤差5 ppm)代替Pt1000對測量系統(tǒng)進行定標,。根據(jù)式2所示的實測Pt1000電阻／溫度關(guān)系標定數(shù)據(jù),，通過改變電阻箱的取值來設(shè)定相對應的測試溫度點標稱值，經(jīng)過測量系統(tǒng),、A／D采樣和上位機程序計算,，得到測量溫度顯示值。根據(jù)初測數(shù)據(jù)對測量電路,、補償電壓進行校準后,，得到測量系統(tǒng)定標數(shù)據(jù)如表1所示。
從表l測量數(shù)據(jù)可見,，測量系統(tǒng)引入的最大誤差為0．003℃,。因此只要Pt1000鉑電阻的定標誤差足夠小,，精度高，整個溫度測量系統(tǒng)就可以滿足高精度的測量要求,。
3．2 恒溫箱實測
將鉑電阻傳感器Pt1000接入測量系統(tǒng),，并置入高精度恒溫箱中(溫控精度0．01℃)進行整個溫度測量系統(tǒng)定標測量。測量時要注意恒溫箱的密封,，以提高環(huán)境溫度穩(wěn)定性,；恒溫箱溫度穩(wěn)定后，每隔3 min對同一溫度點進行20次測量,。測量溫度值數(shù)據(jù)及處理結(jié)果如表2所示,。由于設(shè)備條件所限，測量溫度范圍只有(10～70℃),。
表2中,，隨機誤差是根據(jù)同一溫度點的20次測量數(shù)據(jù)計算出的標準偏差(σ=SQR[(xi-X)2／(n-1)])；系統(tǒng)誤差是恒溫箱設(shè)定溫度與本溫度測量系統(tǒng)測量溫度平均值的差值,。由表2中數(shù)據(jù)可見,，測量系統(tǒng)的最大隨機誤差為0．005℃，且在接近室溫時最??；測量系統(tǒng)的最大系統(tǒng)誤差為-0．009℃，說明Pt1000鉑電阻傳感器的定標誤差較小,，精度也較高,，能滿足高精度溫度測量系統(tǒng)的測量要求，但溫度高端誤差較大,，可能與恒溫箱溫度控制精度有關(guān),，有待于進一步定標。
4 結(jié)論
利用三線制恒流源驅(qū)動Pt1000鉑電阻,，有效克服了導線電阻和自熱效應對測量精度的影響,；利用單片機計算雙極性驅(qū)動電流下的兩次測量電壓可有效避免接線勢壘電壓及放大器、A／D轉(zhuǎn)換器的失調(diào)與漂移產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差,；恒流源與A／D轉(zhuǎn)換器共用參考基準,，有效消除了參考基準不穩(wěn)定產(chǎn)生的誤差。在上位機中采用MLS數(shù)值算法抵消噪聲,，進一步克服了噪聲和隨機誤差對測量精度和穩(wěn)定度的影響,，大大提高了溫度測量精度和穩(wěn)定度，使得整機最大的測量誤差不大于0．01℃,。