應用于高能效電子產品的首要高性能硅方案供應商安森美半導體(ON Semiconductor,，美國納斯達克上市代號：ONNN)加入了領先納米電子研究中心imec的多合作伙伴業(yè)界研究及開發(fā)項目,，共同開發(fā)下一代硅基氮化鎵(GaN-on-Si)功率器件。

氮化鎵具有優(yōu)異電子遷移率,、更高擊穿電壓及良好導熱性的特性,，使其非常適合于要求高開關能效的功率器件及射頻(RF)器件,。如今，基于氮化鎵的功率器件成本過高,，不適合大批量制造,，因為它們使用非標準生產工藝在小半徑的晶圓上制造。

imec的廣泛規(guī)模研究項目著重于開發(fā)200 mm晶圓上的硅基氮化鎵技術,，及降低氮化鎵器件成本和提升性能,。imec匯聚領先集成器件制造商(IDM)、晶圓代工廠,、化合物半導體公司,、設備供應商及襯底供應商，已經卓有成效地取得重大技術進步,。

2011年,，imec的研究項目成功地生產出200 mm硅基氮化鎵晶圓，該工藝讓標準高生產率200 mm晶圓廠隨手可得,。此外,，imec開發(fā)了兼容于標準CMOS工藝及工具的制造工藝，這是高性價比工藝的第二個先決條件,。

安森美半導體高級副總裁兼首席技術官(CTO)Hans Stork說：“身為提供寬廣陣容高能效器件的全球20大半導體供應商之一,，安森美半導體氮化鎵技術研究已持之多年,，如今正在公司的比利時Oudenaarde生產廠建設氮化鎵工藝線。與imec合作,，將鞏固我們現(xiàn)有的市場地位,，并將可幫助我們?yōu)榭蛻粼黾佑懈偁幜Φ那把丶夹g。我們期待與想法相近的公司聯(lián)盟協(xié)作,，在此領域進行前瞻性研究,。”

imec智能系統(tǒng)及能源技術副總裁Rudi Cartuyvels說：“我們的硅基氮化鎵聯(lián)合項目持續(xù)出現(xiàn)非凡進展，不斷推動降低生產成本,。安森美半導體最新加盟成為策略項目合作伙伴,，進一步推進我們的集體專知。充分利用聯(lián)合研究將幫助我們克服邁向經濟的大批量制造的下一個關卡,，最終將氮化鎵功率器件面市,。”

圖片：imec采用200 mmCMOS兼容型硅基氮化鎵工藝的功率器件

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