納米測量技術(shù)指尺度為0.01nm～100nm的測量技術(shù)。在納米技術(shù)中,，納米測量技術(shù),、納米加工技術(shù)和納米結(jié)構(gòu)并列為納米技術(shù)的三大研究主題。納米測量技術(shù)的研究是納米技術(shù)研究的重要組成部分,。

　　微型智能儀器將在21世紀(jì)儀器發(fā)展中占有重要的地位,，各種微型智能儀器都將發(fā)揮重要的作用。微型智能儀器可把不同的微型機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)組裝在一起,。它既有固定部件,，又有活動(dòng)部件，并向微芯片的集成化方向發(fā)展,；既可以是專用儀器,，又可以是通用儀器；可以是分系統(tǒng)的組合,，也可是單獨(dú)的系統(tǒng),。可進(jìn)行模塊化的組合,，根據(jù)不同的用途完成不同的使用要求,。微型智能儀器有著極其廣闊的應(yīng)用前景，是MEMS技術(shù)發(fā)展的重要方向之一,。

　　1.納米測量技術(shù)

　　納米測量技術(shù)涉及傳感器技術(shù),、探針技術(shù)、定位技術(shù),、掃描探針顯微鏡(SPM)技術(shù)等,。

　　1.1傳感器技術(shù)

　　無論何種納米測量技術(shù)都必須依靠傳感器。目前進(jìn)行納米測量的傳感器主要分為電感傳感器,、電容傳感器,、光干涉?zhèn)鞲衅魅悺?/span>

　　在高精度測量中，電感傳感器應(yīng)用最廣,。一般電感傳感器有線性差動(dòng)變壓器(LVDT)和線性差動(dòng)電感器(LVDI)兩種形式,，它們都是當(dāng)鐵磁線圈的位置變化引起磁場的變化，通過測量磁場變化達(dá)到測量位移的目的,。

　　電容位移傳感器采用平行極板之間的電容變化來反映兩極板距離變化,，從而達(dá)到測微目的。電容傳感器靈敏度很高,，并可進(jìn)行非接觸測量,，成為納米測量中重要的傳感器。

　　光學(xué)位移傳感器測量的基本原理都是邁克爾遜干涉儀,。干涉條紋的寬度為0.5λ,，約0.2μm。通過細(xì)分達(dá)到納米分辨率,。

　　1.2探針技術(shù)

　　納米測量,，特別是納米三維形貌的測量，經(jīng)常應(yīng)用探針技術(shù),。探針技術(shù)可分為接觸式探針技術(shù)和非接觸式探針技術(shù),。探針技術(shù)直接影響三維形貌測量的橫向分辨率。

　　接觸式探針技術(shù)最為典型的是輪廓儀(如Taylorsurf系列),，一般最大行程為150mm,，探針最小直徑為0.1μm左右。采用電容或電感傳感器檢測探針縱向位移,，可以得到0.5nm縱向分辨率,。橫向分辨率受探針尖直徑的限制，難以達(dá)到納米級,。接觸式探針儀器存在兩方面的問題：其一是探針和被測表面的相互作用問題,；其二是傳感系統(tǒng)的潛力問題。接觸式探針和被測表面存在0.7μN的作用力,，在納米尺度的測量中,，這樣的力是致命的。作為傳感部分,，光學(xué)系統(tǒng)的分辨率取決于光波長和可靠細(xì)分的程度,，其極限是0.5nm,；LVDT的分辨率很高，可對10pm緩慢變化值具有明顯響應(yīng),，且分辨率還可能提高,；電容傳感器的性能相當(dāng)好，還有很大潛力,。

　　非接觸式掃描探針技術(shù),，一般是通過光束生成光探針，從而進(jìn)行非接觸式三維形貌測量,。光探針技術(shù)主要問題是探針光斑的最小值和傳感器所能探測到最小光斑的能力,。

　　綜上所述，在掃描探針技術(shù)中,，垂直分辨率達(dá)到納米不成問題,，而橫向分辨率的提高是關(guān)鍵。橫向分辨率,，無論采用接觸式探針技術(shù)還是非接觸式探針技術(shù),，都較難達(dá)到納米尺度，這是由探針本身尺寸決定的,。

　　1.3 STM/AFM及相關(guān)技術(shù)

　　在納米領(lǐng)域中,，令人感到振奮的是掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)的出現(xiàn)。1982年,，國際商業(yè)機(jī)器公司蘇黎世實(shí)驗(yàn)室開發(fā)出世界上第一臺(tái)STM,，使人類能夠直接觀察到納米世界。以后,，各種新型掃描探針顯微鏡,，如AFM、激光力顯微鏡(LFM),、磁力顯微鏡(MFM),、靜電力顯微鏡(EFM)、掃描近場光學(xué)顯微鏡(SNOM)等不斷被開發(fā)出來,，大大擴(kuò)展了被觀察的材料范圍和應(yīng)用場所,。

　　以STM/AFM為基礎(chǔ)發(fā)展的顯微鏡，可統(tǒng)稱為掃描探針顯微鏡(SPM),。它們大都能觀測到納米尺度,，以它們?yōu)榛A(chǔ)，進(jìn)行適當(dāng)?shù)母脑?，可進(jìn)行納米測量,。SPM應(yīng)用于納米測量時(shí)，提供了一個(gè)直徑非常小的非接觸式探針，從而極大地提高了測量分辨率,。

　　1.4納米測量用SPM必須解決的問題

　　(1)必須能滿足相應(yīng)科學(xué)儀器的技術(shù)要求

　　作為測量儀器,，必須盡量符合測量儀器的所有準(zhǔn)則，如阿貝原理等,。

　　(2)所測得的量值必須能溯源到計(jì)量基準(zhǔn)

　　作為測量儀器進(jìn)行納米測量,，本質(zhì)就是納米被測尺度和納米級測量基準(zhǔn)的比對，因此,，測量值必須能夠與現(xiàn)有的測量基準(zhǔn)進(jìn)行傳遞。

　　(3)提高SPM測量精度

　　測量用SPM由掃描器,、微探針,、測量控制系統(tǒng)及隔振系統(tǒng)組成。掃描器由壓電陶瓷組成,；微探針的幾何形狀通常是金字塔式(pyramid shaped)和圓柱式(cone shaped tip),；測量和控制系統(tǒng)用光學(xué)、電容或電感方法來測量針尖的微小位移,；隔振系統(tǒng)一般有懸掛彈簧式,、彈簧阻尼式等,它們均是影響測量精度的重要指標(biāo)。有以下幾個(gè)研究內(nèi)容：

　　a.減小壓電陶瓷誤差

　　SPM的掃描器由壓電陶瓷制成,，減小壓電陶瓷誤差對測量數(shù)據(jù)的影響的方法是,，采用電荷控制壓電陶瓷和單向掃描去除遲滯誤差，軟件補(bǔ)償減小非線性和蠕變誤差,。

　　b.減小掃描器的結(jié)構(gòu)誤差

　　掃描器結(jié)構(gòu)誤差導(dǎo)致了交叉誤差,，如一維壓電陶瓷，在x方向加電壓時(shí),，引起了y,、z方向的位移，從而導(dǎo)致誤差,。通過對所測數(shù)據(jù)進(jìn)行二次曲線擬合或整體曲面擬合去除交叉誤差,。

　　c.減小測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)誤差

　　從測量學(xué)的基本原理可知，在高精度測量時(shí),，測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)應(yīng)盡可能符合阿貝測量原理,。

　　d.兼顧探針和樣品之間的相互作用關(guān)系

　　SPM探針的尖端幾何形狀與采集的數(shù)椐密切相關(guān)。測量針尖的曲率半徑越小,，測量結(jié)果越接近真實(shí)形貌,。為了提高測量精度，必須對微探針的幾何形狀進(jìn)行精確的控制和測量,。使用時(shí),，兼顧樣品表面的精細(xì)程度，選取合適曲率半徑和縱橫比的探針,。

　　1.5其它納米測量技術(shù)

　　其它的納米測量技術(shù)還很多,，如激光納米測量技術(shù)就有納米零差檢測法,、納米外差檢測法、納米混頻檢測法等,。下面簡介幾種納米測量技術(shù),。

　　(1)光學(xué)近場掃描技術(shù)

　　目前光學(xué)顯微技術(shù)的分辨率受到衍射規(guī)律的影響而被限制在500nm的掃描范圍內(nèi)。為了消除衍射現(xiàn)象,，將光學(xué)掃描定位于目標(biāo)表面以內(nèi)50nm處,。這種情況下儀器就處于光學(xué)的“近場”?？捎缅F形波束導(dǎo)向器探測被研究表面的輻射量子,。光學(xué)近場掃描技術(shù)的橫向分辨率可達(dá)10nm，可用來研究納米微區(qū)的光學(xué)性質(zhì),。

　　(2)納米光探針掃描外差干涉儀原理

　　激光器發(fā)出的激光束經(jīng)分光鏡被分為兩束：一束光經(jīng)聲光調(diào)制器后,，其頻率為f+f1，該光束經(jīng)一定的光路進(jìn)入光電探測器,；另一束經(jīng)過聲光調(diào)制器,，其頻率為f+f2，該光束經(jīng)反射鏡后被物鏡會(huì)聚照射到被測表面上,，反射后也進(jìn)入光電探測器,，以上兩束激光在至少有f1-f2的頻率度的探測器上合成即發(fā)生外差干涉。通過干涉信號獲得表面的信息,。

　　(3)X射線干涉儀原理

　　早期的實(shí)驗(yàn)證明,，X射線波長的數(shù)量級約為0.1nm，晶體中的原子間距也是這個(gè)數(shù)量級,，于是Laue在1912年建議用晶體作為衍射光柵,。讓X射線通過硫酸銅晶體，在它后面的感光膠片上就能得到中間黑點(diǎn)和外圍對稱分布的一些明點(diǎn)圖樣,，叫Laue圖,。與可見光柵相似，中心明點(diǎn)與可見光的衍射一樣是零級最大值,，而外圍明點(diǎn)則是由于原子的外層電子在X射線的作用下,，二次發(fā)射的散射光所疊加的效果。

　　X射線干涉儀原理與光柵類似,，不過是光線變?yōu)椴ㄩL更短的X射線,，接收信號是干涉條紋而已。

　　1.6展望

　　納米測量技術(shù)受到世界各國的普遍重視,，發(fā)達(dá)國家紛紛制定納米測量技術(shù)的發(fā)展戰(zhàn)略,。作為納米分辨率的測量傳感器早已出現(xiàn)，掃描電子顯微鏡(SEM)在30年代就已發(fā)明。但人類在研究納觀世界時(shí),，更重視對三維狀態(tài)的定量研究,。筆者認(rèn)為，目前能夠真正進(jìn)行三維形貌納米測量的只有各種基于STM/AFM的SPM技術(shù),，大多數(shù)SPM可達(dá)納米分辨率的水平,，對它們改造可獲得各種計(jì)量型SPM。

　　當(dāng)SPM作為納米測量儀器時(shí),，兩個(gè)問題值得更多的研究：其一是把微探針作為一種非接觸式測量時(shí),，如何提高測量精度和擴(kuò)大測量范圍；另一問題是通過納米加工技術(shù)加工出可以直接溯源到現(xiàn)有基準(zhǔn)的納米樣板,。只有這樣,，納米技術(shù)才能適用于更多的場所，真正成為人們進(jìn)行納米技術(shù)研究的有力工具,。

　　2.微型智能儀器

　　微型智能儀器指微電子技術(shù)、微機(jī)械技術(shù),、信息技術(shù)等綜合應(yīng)用于儀器的生產(chǎn)中,，從而使儀器成為體積小、功能齊全的智能儀器,，能夠完成信號的采集,、線性化處理、數(shù)字信號處理,、控制信號的輸出,、放大、與其它儀器的接口,、與人的交互等功能,。微型智能儀器屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)的研究范疇。使用時(shí),，只需按系統(tǒng)的需要,，選取不同微型智能儀器進(jìn)行組合即可。微型智能儀器是儀器和微電子機(jī)械技術(shù)結(jié)合后的一個(gè)必然發(fā)展趨勢,，它的實(shí)現(xiàn)將帶來儀器技術(shù),、傳感器技術(shù)、信息技術(shù)等的重大變化,。

　　微型智能儀器通常采用微電子機(jī)械技術(shù)將多傳感器集成在一起,，再與處理信號的信息處理單元和控制輸出件集成。根據(jù)需要,，可測量和評定所感興趣的參數(shù),，并向需要的地方傳輸控制信號。這個(gè)系統(tǒng)，可以估測由相互干擾產(chǎn)生的噪聲,。在人體中,，傳感信號通過神經(jīng)系統(tǒng)來接收并傳給大腦，由大腦用天然的“并行計(jì)算系統(tǒng)”可靠準(zhǔn)確地測評它們,，最后再控制相應(yīng)的執(zhí)行器官,，微型智能儀器可望具有類似的功能。

　　2.1微型智能儀器發(fā)展的可能性

　　(1)微傳感器的不斷發(fā)展

　　目前,，傳感器有越來越小的趨勢,。通過MEMS技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)單一的微傳感器到極小尺寸的集成傳感器系統(tǒng)。今天正在出現(xiàn)大量的微傳感器,，它們很有發(fā)展前途和廣闊的市場前景,。世界市場容量的年增加量大約是20%，而且有很多競爭者,。以MEMS技術(shù)為支持,，完全可以實(shí)現(xiàn)微傳感器的一個(gè)獨(dú)立市場，在未來的工業(yè)自動(dòng)化,、環(huán)境保護(hù),、生產(chǎn)和加工技術(shù)以及軍事領(lǐng)域?qū)l(fā)揮很大作用。

　　(2)信息處理單元體積的不斷縮小

　　微型智能儀器的本質(zhì)就是多傳感器的集成,、傳感器與信息處理單元的集成,、信息處理和控制信號輸出。信息處理單元對應(yīng)于宏觀的CPU,。由于微電子技術(shù)的發(fā)展,，目前器件的線寬可達(dá)0.18μm，微電子的集成度更高,，因此可把微型傳感器,、信息處理單元、輸出電路集成為智能儀器,。

　　(3)封裝,、系統(tǒng)集成、模數(shù)電路的集成等技術(shù)的發(fā)展

　　微型智能儀器幾乎要涉及所有的MEMS技術(shù),。在一個(gè)微型智能儀器中,，不僅有各種傳感器的敏感材料和結(jié)構(gòu)，還要有模擬電路,、數(shù)字電路,、信息存儲(chǔ)電路、信息處理電路等,。這就需要解決一些相應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)如封裝,、系統(tǒng)集成,、連接技術(shù)、模數(shù)電路集成等,。這些問題已經(jīng)在MEMS技術(shù)中得到一定的解決,，因此在今后的研究中，可為微型智能儀器的發(fā)展提供技術(shù)支持,。

　　2.2微型智能儀器發(fā)展的必然性

　　(1)模塊化的發(fā)展模塊化發(fā)展能夠給人們提供極大的方便,。目前的傳感器，往往要根據(jù)傳感器的本身進(jìn)行前置電路的設(shè)計(jì),，還要進(jìn)行系統(tǒng)的標(biāo)定等,，不僅花費(fèi)大量時(shí)間，而且結(jié)果往往不理想,。而微型智能儀器是一個(gè)模塊,，對使用者，只需關(guān)心它的輸出即可,，其它均由智能儀器本身完成,。模塊化的趨勢是系統(tǒng)設(shè)計(jì)的必然趨勢，也必然對微型智能儀器提出同樣的要求,。

　　(2)信息處理的發(fā)展信息獲取和處理越來越快,，人們在進(jìn)行信號采集時(shí)，希望許多工作由CPU以外的器件完成,。微型智能儀器可以作為一個(gè)計(jì)算機(jī)的外圍部件，它既能完成傳統(tǒng)智能儀器的所有工作,，同時(shí)又把有用信息傳輸給計(jì)算機(jī),。這樣使測控系統(tǒng)更加簡潔，效率提高,。

　　(3)系統(tǒng)集成的繼續(xù)發(fā)展微型傳感器體積小,、成本低，目前已有很大發(fā)展,。多傳感器的集成已有許多研究成果,，信息處理單元的價(jià)格下降、體積減小,，模擬數(shù)字電路在硅片上集成,，這些技術(shù)有著相同的技術(shù)基礎(chǔ)，因此可以利用目前一些集成技術(shù)或經(jīng)過進(jìn)一步發(fā)展,，完成微型智能儀器系統(tǒng)的集成,。

　　2.3技術(shù)上的問題

　　技術(shù)上的問題不僅是如何制造，同樣重要的還有標(biāo)準(zhǔn)化問題,。目前傳感器的種類非常多,，原理各異,，采用同樣的處理電路和信息處理單元是不可能的。而對不同量程,、不同原理的傳感器又不可能每一種研制一套信息處理單元電路,，因此必須有一個(gè)制造標(biāo)準(zhǔn)，在不同功能,、不同加工方法的微構(gòu)件集成在一起時(shí),，使眾多的問題有相應(yīng)的指導(dǎo)規(guī)范。這就意味著必須建立微型智能儀器的各種標(biāo)準(zhǔn),。只有遵循這些標(biāo)準(zhǔn),，微型智能儀器才能走向蓬勃的發(fā)展道路。

　　2.4展望

　　目前,，微型智能儀器的有關(guān)研究還很少,，但相關(guān)技術(shù)研究卻很多，例如,，各類微型傳感器的研制已經(jīng)開始,，有的已產(chǎn)業(yè)化。Argnonne國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研制出一種氣體微傳感器,，運(yùn)用電解電量計(jì)通過一個(gè)陶瓷金屬傳感夾層產(chǎn)生電信號,，這種傳感器帶有計(jì)算的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，可以處理簡單的采樣信號并進(jìn)行訓(xùn)練,、識別,、分類等；資料描述了多種傳感器的集成,、數(shù)據(jù)融合以及應(yīng)用等問題,。可見,，微型智能儀器的研究有一定基礎(chǔ),。

　　微型智能儀器隨著微電子機(jī)械技術(shù)的不斷發(fā)展，其技術(shù)不斷成熟,，價(jià)格將不斷降低,，因此其應(yīng)用領(lǐng)域也將不斷擴(kuò)大。它不但能夠具有傳統(tǒng)儀器功能,，而且能在自動(dòng)化技術(shù),、航天、軍事,、生物技術(shù),、醫(yī)療領(lǐng)域起到獨(dú)特的作用，例如,，目前要同時(shí)測量一個(gè)病人的幾個(gè)不同的參量,，并進(jìn)行某些量的控制,，通常病人的體內(nèi)要插進(jìn)幾個(gè)管子，這增加了感染的機(jī)會(huì),，微型智能儀器能同時(shí)測量多參數(shù),，而體積小、可植入人體,，使這些問題得到解決,。微型智能儀器的使用將變得十分簡單，因此微型智能儀器具有巨大的市場和應(yīng)用前景,。

　　3.結(jié)語

　　納米測量技術(shù)伴隨著納米科學(xué)全面進(jìn)入21世紀(jì),，它不僅帶動(dòng)科技的發(fā)展，同時(shí)也能促進(jìn)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,。納米測量技術(shù)將成為人們征服自然,、探索自然的強(qiáng)有力的工具。

　　微型智能儀器是儀器的重要發(fā)展方向,，它將創(chuàng)造更多的市場,，使我們的生活更加舒適、生產(chǎn)更加方便,。