《電子技術(shù)應(yīng)用》
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意法半導(dǎo)體(ST)通過(guò)CMP提供先進(jìn)MEMS制程試制樣片

此項(xiàng)計(jì)劃旨在于推進(jìn)運(yùn)動(dòng)傳感器市場(chǎng)開(kāi)發(fā)新應(yīng)用
2013-03-28
關(guān)鍵詞: 工藝技術(shù) THELMA MEMS 制程

    意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,,簡(jiǎn)稱(chēng)ST;紐約證券交易所代碼:STM)宣布即日起通過(guò)IC中介服務(wù)公司CMP(Circuits Multi Projets®)為研發(fā)組織提供意法半導(dǎo)體THELMA MEMS制程,,大學(xué),、研究實(shí)驗(yàn)室和設(shè)計(jì)企業(yè)可運(yùn)用該制程試制樣片。意法半導(dǎo)體運(yùn)用這項(xiàng)制程研制并銷(xiāo)售了數(shù)十億顆市場(chǎng)領(lǐng)先的加速度計(jì)和陀螺儀?,F(xiàn)在意法半導(dǎo)體以試制和代工的形式向第三方提供這項(xiàng)制程,,旨在于推動(dòng)運(yùn)動(dòng)感應(yīng)應(yīng)用在消費(fèi)電子、汽車(chē)電子,、工業(yè)及醫(yī)療保健市場(chǎng)取得新的發(fā)展,。

     意法半導(dǎo)體在MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器領(lǐng)域的長(zhǎng)期成功歸功于其研發(fā)的市場(chǎng)領(lǐng)先的制程。0.8微米表面微加工THELMA(用于制造微陀螺儀和加速度計(jì)的厚外延層)制程通過(guò)整合薄厚不一的多晶硅層來(lái)制造器件的結(jié)構(gòu)和互連部件,,實(shí)現(xiàn)單片集成線性運(yùn)動(dòng)和角速度機(jī)械檢測(cè)單元,,為客戶帶來(lái)成本效益和尺寸優(yōu)勢(shì),。

     CMP的多項(xiàng)目晶圓加工服務(wù)幫助設(shè)計(jì)企業(yè)獲得少量的通常是數(shù)十個(gè)至數(shù)千個(gè)采用量產(chǎn)制程制造的先進(jìn)芯片。現(xiàn)在,,THELMA設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)工具可供大學(xué)和微電子企業(yè)使用,,首批申請(qǐng)正在批復(fù)中。

    CMP的服務(wù)目錄增加意法半導(dǎo)體MEMS制程基于雙方合作取得的成功,,此前,,意法半導(dǎo)體與CMP的合作項(xiàng)目為大學(xué)和設(shè)計(jì)企業(yè)提供多項(xiàng)制程,從2003年推出的130納米CMOS,,到2012年底發(fā)布的28納米FD-SOI技術(shù),,這些技術(shù)讓設(shè)計(jì)公司可高效地設(shè)計(jì)出兼具高性能與低功耗的下一代移動(dòng)器件。

    意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品,、MEMS和傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:“我們提供的業(yè)界領(lǐng)先的MEMS制程以及包括具有突破性的FD-SOI在內(nèi)的CMOS技術(shù)的小批量芯片制造服務(wù),,結(jié)合CMP的先進(jìn)服務(wù)能力,為想要設(shè)計(jì)智能傳感器系統(tǒng)的中小企業(yè)和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室提供了一條能夠使用最先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)試制芯片的途徑,,這是前所未有的,。在掌握了最先進(jìn)的制程后,研發(fā)者可集中精力研發(fā)新產(chǎn)品,,而不必在研發(fā)制程上耗費(fèi)大量的時(shí)間和資源,。”

    CMP總監(jiān)Bernard Courtois表示:“預(yù)計(jì)MEMS市場(chǎng)將會(huì)迎來(lái)巨大發(fā)展,我們?cè)缭?995年就開(kāi)始提供MEMS技術(shù)加工服務(wù),,成為全球第一家提供MEMS技術(shù)的芯片中介服務(wù)商,。今天,CMP正在將與意法半導(dǎo)體的成功合作項(xiàng)目擴(kuò)展至THELMA制程,,從一個(gè)制造商獲得CMOS和MEMS兩項(xiàng)技術(shù),。超越慣性傳感器、壓力傳感器,、麥克風(fēng),、電子羅盤(pán)等領(lǐng)域,意法半導(dǎo)體與CMP的合作伙伴關(guān)系將讓CMP的客戶針對(duì)越來(lái)越多的社會(huì)需求,,投向復(fù)雜的被視為物聯(lián)網(wǎng)重要組成部分的嵌入式系統(tǒng)設(shè)計(jì),。”

關(guān)于意法半導(dǎo)體

意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics;ST)是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體解決方案供應(yīng)商,,為客戶提供傳感器,、功率器件、汽車(chē)產(chǎn)品和嵌入式處理器解決方案,。從能源管理和節(jié)能技術(shù),,到數(shù)字信任和數(shù)據(jù)安全,從醫(yī)療健身設(shè)備,,到智能消費(fèi)電子,,從家電,、汽車(chē),到辦公設(shè)備,,從工作到娛樂(lè),,意法半導(dǎo)體的微電子器件無(wú)所不在,在豐富人們的生活方面發(fā)揮著積極,、創(chuàng)新的作用,。意法半導(dǎo)體代表著科技引領(lǐng)智能生活(life.augmented)的理念。

意法半導(dǎo)體2012年凈收入84.9 億美元,。詳情請(qǐng)?jiān)L問(wèn)公司網(wǎng)站www.st.com,。

關(guān)于CMP

CMP是為集成電路(IC)和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計(jì)公司提供芯片設(shè)計(jì)/開(kāi)發(fā)和小批量制造服務(wù)的中介機(jī)構(gòu),承接大專(zhuān)院校,、研究實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)委托的電路制造服務(wù),。先進(jìn)制程包括CMOS、BiCMOS,、SiGe BiCMOS,、最低20納米的高壓FD-SOI 、pHEMT E/D GaAs以及MEMS等,。CMP向企業(yè)和大學(xué)院校提供各種CAD軟件工具和設(shè)計(jì)支持服務(wù),。自1981年至今,CMP已為70個(gè)國(guó)家的1000多家機(jī)構(gòu)提供服務(wù),,為6000余個(gè)項(xiàng)目流片700次以及在60種不同技術(shù)之間建立界面,。詳情請(qǐng)?jiān)L問(wèn):http://cmp.imag.fr.

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