日本Gigaphoton公司宣布,,開發(fā)出了用于制造平板顯示器(FPD)的極小激光退火工序用準(zhǔn)分子激光器“GIGANEX”系列,。不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上,供貨給了大尺寸液晶屏制造設(shè)備工廠用于LTPS(低溫多晶硅)TFT液晶面板制造。
“GIGANEX”準(zhǔn)分子激光器的機(jī)殼示意圖(照片出自Gigaphoton的新聞發(fā)布資料)(點(diǎn)擊放大)
這是一款應(yīng)用高可靠性半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器的退火用準(zhǔn)分子激光器,,是專供V-Technology制造的裝置使用的專用機(jī),。通過導(dǎo)入已有的a-Si(非晶硅)面板制造工序,使a-Si向p-Si(多晶硅)結(jié)晶化,可制造用以往a-Si無法制造的8K等高精細(xì)面板,。
另外還可實(shí)現(xiàn)以往激光退火工藝無法實(shí)現(xiàn)的大型面板尺寸的制造,可滿足制造50~70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備工廠的要求,。
GIGANEX是面向FPD制造,、柔性器件工藝及光刻以外的半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)品的新品牌。Gigaphoton已在5月22~27日于美國(guó)舉行的“Display Week 2016”上,,展出了用GIGANEX制造的試制面板,。
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