0 引言

    高性能微機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加速度計(jì)被用于各種消費(fèi)市場(chǎng)和軍事領(lǐng)域,，如慣性導(dǎo)航與制導(dǎo)、GPS輔助導(dǎo)航,、云臺(tái)控制,、平臺(tái)穩(wěn)定。近年來(lái)由于微機(jī)械加速度計(jì)的低噪聲,、低功耗,、低成本和高靈敏度特性，高精度的電容式加速度計(jì)日益普及起來(lái)^[1-2],。

    雖然微機(jī)械加工水平不斷提高,，但是依然無(wú)法消除敏感結(jié)構(gòu)加工過(guò)程中產(chǎn)生的誤差。為了盡可能地降低由于微機(jī)械加工工藝不穩(wěn)定帶來(lái)的誤差,，希望同一款芯片能夠提供盡可能多的可調(diào)節(jié)手段,，這樣當(dāng)敏感結(jié)構(gòu)由于加工偏差導(dǎo)致參數(shù)偏移時(shí)，可以通過(guò)后續(xù)的外部參數(shù)調(diào)節(jié)來(lái)進(jìn)行補(bǔ)償或者校正,；同時(shí)為了適應(yīng)不同的應(yīng)用場(chǎng)景和客戶需求,，同一款芯片應(yīng)該具備多功能輸出^[3]。對(duì)于高精度電容式微機(jī)械加速度計(jì)而言,，可以通過(guò)外圍器件控制實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的模擬輸出與數(shù)字輸出選擇,，這樣就能滿足不同的客戶需求,。模擬輸出和數(shù)字輸出功能具有各自的優(yōu)缺點(diǎn)：通過(guò)比較開環(huán)模擬輸出和閉環(huán)模擬輸出可以驗(yàn)證敏感結(jié)構(gòu)的參數(shù)特性，同時(shí)模擬輸出經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的濾波就可以實(shí)現(xiàn)高精度輸出,，不需要大規(guī)模的數(shù)字濾波器占用芯片面積,。能夠提供數(shù)字輸出功能的微機(jī)械加速度計(jì)芯片無(wú)需后級(jí)高精度AD對(duì)模擬輸出進(jìn)行采樣，自然降低了整體的功耗,，也能提高系統(tǒng)精度,。同時(shí)數(shù)字微機(jī)械加速度計(jì)芯片對(duì)敏感結(jié)構(gòu)的參數(shù)誤差相對(duì)而言不那么敏感^[4-6]。

    本文為了實(shí)現(xiàn)帶數(shù)?；旌陷敵龅奈C(jī)械加速度計(jì)芯片,，設(shè)計(jì)了通用的前級(jí)電荷放大器、輸出和反饋控制以及時(shí)序控制電路,，為模擬輸出通路設(shè)計(jì)了PID電路,、低通濾波器等，為數(shù)字輸出通路設(shè)計(jì)了積分器電路和一位的AD,、DA電路,。本設(shè)計(jì)最后經(jīng)過(guò)了流片實(shí)驗(yàn)結(jié)果的驗(yàn)證。

1 電路設(shè)計(jì)

    本設(shè)計(jì)方案的框圖如圖1所示,，圖中包含模擬敏感結(jié)構(gòu)的差分電容對(duì)C_S1和C_S2及控制開關(guān)S1~S4,，低噪聲電荷放大器電路A1及控制開關(guān)S5~S6，采樣保持電路及控制開關(guān)（C_C,、C_H,、S7~S8、A2）,，輸出選擇控制,、積分器、1位AD及DA,、PID單元,、低通濾波器(LPF)、緩沖器A3,、反饋控制和開關(guān)S9,。敏感結(jié)構(gòu)通過(guò)鍵合線和芯片電連接，開關(guān)S1~S4在控制時(shí)鐘的作用下實(shí)現(xiàn)信號(hào)的調(diào)制,，低噪聲電荷放大器電路A1和采樣保持電路一起實(shí)現(xiàn)信號(hào)的解調(diào),，通過(guò)電容C_C、開關(guān)S7和S8的相關(guān)雙采樣技術(shù)實(shí)現(xiàn)了低頻噪聲的消除,。輸出控制電路通過(guò)CMOS開關(guān)來(lái)選擇數(shù)字通路和模擬通路,。數(shù)字通路上信號(hào)經(jīng)過(guò)兩級(jí)積分器電路和1 bit A/D實(shí)現(xiàn)數(shù)字輸出，積分器,、敏感結(jié)構(gòu)、1 bit D/A反饋構(gòu)成的環(huán)路具有四階噪聲整形能力。模擬通路上PID（比例-積分-微分）控制器用來(lái)調(diào)節(jié)環(huán)路增益和相位,，調(diào)整系統(tǒng)的穩(wěn)定性,，通過(guò)片外電阻、電容的選擇來(lái)針對(duì)不同的敏感結(jié)構(gòu)進(jìn)行參數(shù)配置,，增加系統(tǒng)的適配性和靈活性,。PID的輸出經(jīng)過(guò)低通濾波器后輸出高精度模擬信號(hào)。跟隨器電路A2,、A3實(shí)現(xiàn)信號(hào)的隔離和增強(qiáng)驅(qū)動(dòng)能力,。

    圖2是前級(jí)電荷放大器和積分器電路的運(yùn)放原理圖。單級(jí)折疊共源共柵運(yùn)放相對(duì)于兩級(jí)運(yùn)放而言功耗較小,，同時(shí)70 dB以上的增益也能滿足系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求,。采用開關(guān)電容共模反饋結(jié)構(gòu)能進(jìn)一步降低功耗。由于后級(jí)積分器電路的噪聲能夠被前級(jí)整形,，所以采樣電容值無(wú)需太大,，因此可以降低運(yùn)放的負(fù)載，降低電流消耗,。跟隨器和PID中的運(yùn)放要求比較大的增益,，因此采用兩級(jí)折疊共源共柵結(jié)構(gòu)來(lái)提供較大的直流增益，能有效提高系統(tǒng)的線性度,，降低失真,。同時(shí)第二級(jí)輸出的擺幅比較大，能滿足系統(tǒng)較大的輸出動(dòng)態(tài)范圍,。本文設(shè)計(jì)的兩級(jí)運(yùn)放直流增益大于100 dB,，帶寬約為4 MHz。

    如圖3所示的PID能為系統(tǒng)提供額外的電學(xué)阻尼,，尤其是當(dāng)敏感結(jié)構(gòu)阻尼系數(shù)較低時(shí),，就需要PID提供電學(xué)阻尼來(lái)維持電學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。從理論上來(lái)講,，PID給閉環(huán)傳輸函數(shù)引入一個(gè)位于-K_D/K_P的零點(diǎn)來(lái)補(bǔ)償系統(tǒng)的阻尼比,，其中K_D=-1/R₂C₂，K_P=-R₃/R₂,。

    由于積分器的輸出信號(hào)擺幅不大,，所以積分器電路中的運(yùn)放也采用單級(jí)折疊共源共柵結(jié)構(gòu)，可以有效減少整體的功耗,。因?yàn)榉e分器的噪聲可以被前級(jí)整形,，因此其采樣電容和積分電容可以等比例縮放，只要維持電容比不變即可,。對(duì)于1位AD來(lái)說(shuō),，簡(jiǎn)單來(lái)講就是采用鎖存比較器來(lái)實(shí)現(xiàn),。本設(shè)計(jì)的采樣頻率為250 kHz，對(duì)于比較器速度的要求不高,，需要關(guān)注的是比較器的精度,。

2 測(cè)試

    芯片PAD采用硅鋁絲鍵合和基板進(jìn)行電連接。采用片外晶振在片內(nèi)進(jìn)行分頻,，分別給前級(jí)電荷檢測(cè)部分和后級(jí)積分器提供時(shí)鐘,。電源電壓3.3 V，參考電壓±1.65 V,，為了降低設(shè)計(jì)難度,，敏感結(jié)構(gòu)采用常壓封裝的三明治結(jié)構(gòu)，理論上的機(jī)械噪聲小于1 μg/√Hz,。由于采用了非真空封裝,，所以數(shù)字輸出通路上無(wú)需采用相位補(bǔ)償器進(jìn)行相位補(bǔ)償。為了盡量減少外界環(huán)境干擾對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,，對(duì)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行減震處理^[7],。通過(guò)開關(guān)選擇數(shù)字通路輸出有效，用邏輯分析儀采集加速度計(jì)系統(tǒng)的數(shù)字輸出碼流,，在MATLAB標(biāo)準(zhǔn)程序中對(duì)262 144點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,，其數(shù)字輸出頻譜如圖4所示。經(jīng)過(guò)減震處理后的低頻部分較為平坦,，證明減震系統(tǒng)具有較好的環(huán)境噪聲濾出效果,。如果按照底噪水平提升3 dB作為應(yīng)用帶寬限制的話，從圖4中可以大概估算出應(yīng)用帶寬為1.4 kHz,，實(shí)際上從系統(tǒng)的信號(hào)傳輸曲線來(lái)講,，理論上的應(yīng)用帶寬遠(yuǎn)大于1.4 kHz。

    對(duì)整體結(jié)構(gòu)做±1 g的翻轉(zhuǎn)實(shí)驗(yàn),，測(cè)算出系統(tǒng)的靈敏度約為1.65 V/g,。將圖4中的頻譜歸一化值轉(zhuǎn)換為噪聲密度，得到的數(shù)字輸出噪聲譜密度如圖5所示,。后級(jí)電路的量化噪聲,、運(yùn)放噪聲都得到了充分的噪聲整形，低頻處的噪聲密度小于2 μg/√Hz,，主要受前級(jí)電荷放大器引入的噪聲限制,，可能是參考電壓和開關(guān)熱噪聲。小于10 Hz的低頻處噪聲高于2 μg/√Hz,，這應(yīng)該是環(huán)境噪聲引入的,。雖然本系統(tǒng)采用了減震處理，能夠?yàn)V出大部分的環(huán)境噪聲,，但更低頻處的環(huán)境噪聲消除還需要對(duì)減震系統(tǒng)做進(jìn)一步的優(yōu)化,。模擬輸出帶寬大于2 kHz,，輸出的噪聲密度頻譜圖如圖6所示，圖中的尖峰為50 Hz工頻干擾以及低頻環(huán)境干擾,，輸出噪聲約為-100 dBV,。根據(jù)敏感結(jié)構(gòu)和電源電壓估算系統(tǒng)的量程約為±3 g。

3 結(jié)束語(yǔ)

    本文針對(duì)不同的應(yīng)用需求,，設(shè)計(jì)了帶數(shù)模混合輸出的微機(jī)械加速度計(jì)系統(tǒng),，測(cè)試結(jié)果表明數(shù)字輸出低頻處的噪聲密度小于2 μg/√Hz,，帶寬大于1.4 kHz，模擬輸出噪聲小于-100 dBV,，帶寬大于2 kHz,，經(jīng)過(guò)測(cè)試驗(yàn)證了設(shè)計(jì)的正確性。

參考文獻(xiàn)

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作者信息：

劉曉慧,，劉克成

(南陽(yáng)理工學(xué)院 信息化建設(shè)與管理中心,，河南 南陽(yáng)473004)