佳能發(fā)售適用于i線和KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)的200mm晶圓規(guī)格配件新品——200mm Option 滿足物聯(lián)網(wǎng)(IOT)及車(chē)載半導(dǎo)體元件制造市場(chǎng)的需求
2017-12-14
2017年12月11日, 佳能正式發(fā)售適用于i線半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-5550iZ2”※1和KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”※2的新產(chǎn)品——“200mm Option”。
i線半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-5550iZ2”(2016年12月發(fā)售)和KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”(2012年4月發(fā)售)兩款設(shè)備自發(fā)售以來(lái),,在存儲(chǔ)器,、邏輯電路,、圖像傳感器等物聯(lián)網(wǎng)和車(chē)載半導(dǎo)體元件生產(chǎn)制作等方面的優(yōu)勢(shì),,備受業(yè)界好評(píng)。從即日起,,佳能將正式發(fā)售兩種機(jī)型通用的新品配件——“200mm Option”,。
在存儲(chǔ)器和微處理器等半導(dǎo)體元件的制造領(lǐng)域,需要采用先進(jìn)的微細(xì)加工技術(shù),,目前通常采用的是300mm晶圓規(guī)格,。隨著物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用和車(chē)載設(shè)備的迅速普及,該領(lǐng)域的半導(dǎo)體元件市場(chǎng)需求也不斷擴(kuò)大,,而這個(gè)領(lǐng)域的半導(dǎo)體元件需要利用成熟的工藝進(jìn)行多品種少量的生產(chǎn),,因此元件制造廠商迫切需要能夠應(yīng)對(duì)200mm晶圓需求的設(shè)備。
佳能發(fā)布對(duì)應(yīng)200mm 晶圓需求的新品配件"200mm Option",,能夠通用于i線半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-5550iZ2”,、KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”,更廣泛地滿足客戶需求。
■實(shí)現(xiàn)業(yè)界高水準(zhǔn)※3的高生產(chǎn)效率
通過(guò)配備“200mm Option”,,在200mm晶圓規(guī)格下,,“FPA-5550iZ2”和“FPA-6300ES6a”最快曝光處理速度分別達(dá)到每小時(shí)230片※4和每小時(shí)255片※5。在實(shí)現(xiàn)了同級(jí)別光刻機(jī)中高水準(zhǔn)生產(chǎn)效率的同時(shí)也滿足了降低CoO※6(半導(dǎo)體制造設(shè)備投資和使用所需成本)的需求,。
■在統(tǒng)一化平臺(tái)上可以輕松升級(jí)解決方案并使其多樣化
“FPA-5550iZ2”,、“FPA-6300ES6a”自發(fā)售以來(lái),由于使用了安全,、高品質(zhì)的統(tǒng)一平臺(tái), 因此能夠?yàn)檫\(yùn)行中的設(shè)備提供解決方案,,為提高生產(chǎn)效率和重合精度實(shí)現(xiàn)持續(xù)升級(jí)。
為不斷滿足客戶提高生產(chǎn)效率的需求,,佳能今后也會(huì)持續(xù)地為半導(dǎo)體光刻機(jī)提供更加多樣化的解決方案和升級(jí)服務(wù),。
注釋:
※1 使用i線(水銀燈波長(zhǎng)365nm)光源的半導(dǎo)體光刻機(jī),。1nm(納米)是10億分之1米,。
※2 使用波長(zhǎng)248nm,混合了稀有氣體氪(Kr)和鹵素氣體氟(F)的激光的半導(dǎo)體光刻機(jī),。
※3 同級(jí)別的i線半導(dǎo)體光刻機(jī)以及KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)的范圍內(nèi),。截止2017年12月10日。(佳能數(shù)據(jù))
※4 200mm晶圓,58Shot的條件下,每1小時(shí)的晶圓曝光處理片數(shù),。
※5 200mm晶圓,46Shot的條件下,每1小時(shí)的晶圓曝光處理片數(shù),。
※6 Cost of Ownership的縮略語(yǔ)。半導(dǎo)體制造設(shè)備投資和使用所需成本,。是半導(dǎo)體廠商的生產(chǎn)線衡量工程和制造設(shè)備生產(chǎn)效率的指標(biāo)之一,。
佳能集團(tuán)介紹
佳能自1937年創(chuàng)業(yè)以來(lái),,始終秉承“共生”的企業(yè)理念,以創(chuàng)造世界一流產(chǎn)品為奮斗目標(biāo),,向多元化和全球化發(fā)展,。目前,佳能的事業(yè)以光學(xué)技術(shù)為核心,,涵蓋了辦公產(chǎn)品,、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)業(yè)務(wù)以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品等廣泛領(lǐng)域,。位于東京的集團(tuán)總部與美洲,、歐洲、亞洲,、大洋洲以及日本的各區(qū)域總部緊密聯(lián)系,,構(gòu)筑了全球化與本土化有機(jī)結(jié)合的經(jīng)營(yíng)體制。1996年,,佳能啟動(dòng)了旨在實(shí)現(xiàn)以技術(shù)服務(wù)社會(huì),,成為全球范圍內(nèi)被信賴、受尊敬的企業(yè)為目標(biāo)的“全球優(yōu)良企業(yè)集團(tuán)構(gòu)想”,。 2017年是佳能成立80周年,。目前佳能集團(tuán)分布在世界各地的合并結(jié)算子公司已達(dá)373家公司,員工201,173人,。(此數(shù)據(jù)截止至2017年6月30日)
佳能亞洲營(yíng)銷(xiāo)集團(tuán)介紹
佳能亞洲營(yíng)銷(xiāo)集團(tuán)是佳能五大營(yíng)銷(xiāo)集團(tuán)之一,,所管轄亞洲機(jī)構(gòu)遍布中國(guó)、韓國(guó),、新加坡,、泰國(guó)、馬來(lái)西亞,、菲律賓,、印度、越南,、香港,、臺(tái)灣等國(guó)家及地區(qū),目前擁有12家集團(tuán)公司,,員工近7千人,。在“感動(dòng)常在”口號(hào)的指引下,佳能亞洲營(yíng)銷(xiāo)集團(tuán)始終以創(chuàng)造世界卓越產(chǎn)品和提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)為奮斗目標(biāo),,積極推動(dòng)事業(yè)向多元化和全球化發(fā)展,,辦公產(chǎn)品、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)業(yè)務(wù)以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品等廣泛領(lǐng)域都發(fā)揮著巨大的作用,。佳能亞洲營(yíng)銷(xiāo)集團(tuán)總部是位于北京的佳能(中國(guó))有限公司,,在佳能(中國(guó))的帶領(lǐng)下,佳能亞洲營(yíng)銷(xiāo)集團(tuán)加強(qiáng)了多種經(jīng)營(yíng)的戰(zhàn)略,,在全球市場(chǎng)占有越來(lái)越重要的位置,。(以上數(shù)據(jù)截止至2017年6月30日)
佳能(中國(guó))有限公司介紹
佳能的中國(guó)事業(yè)始于上個(gè)世紀(jì)70年代末。從最初的技術(shù)合作到獨(dú)資建廠再到成立銷(xiāo)售公司,,經(jīng)歷了多種經(jīng)營(yíng)模式的探索,。1997年3月,佳能(中國(guó))有限公司成立,,全面負(fù)責(zé)佳能在中國(guó)市場(chǎng)銷(xiāo)售的各項(xiàng)工作,。經(jīng)過(guò)多年努力,目前業(yè)務(wù)已經(jīng)覆蓋辦公產(chǎn)品,、影像系統(tǒng)產(chǎn)品,、醫(yī)療系統(tǒng)業(yè)務(wù)以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品四大領(lǐng)域,已基本建成以6大區(qū)域總部為核心30個(gè)分支機(jī)構(gòu)以及8個(gè)展廳,、6個(gè)快修中心,、5個(gè)特約快修中心、9個(gè)快捷服務(wù)站等組成的銷(xiāo)售服務(wù)網(wǎng)絡(luò),。2017年是佳能(中國(guó))成立20周年,,公司將深深植根于中國(guó)市場(chǎng),致力于成為一家被中國(guó)人民信賴,、尊敬的企業(yè),。(以上數(shù)據(jù)截止至2017年6月30日)