KLA-Tencor公司今日宣布推出兩款全新缺陷檢測產(chǎn)品,，旨在解決各類集成電路（IC）所面臨的封裝挑戰(zhàn)。 Kronos? 1080系統(tǒng)為先進(jìn)封裝提供適合量產(chǎn)的,、高靈敏度的晶圓檢測，為工藝控制和材料處置提供關(guān)鍵的信息,。 ICOS? F160系統(tǒng)在晶圓切割后對封裝進(jìn)行檢查,，根據(jù)關(guān)鍵缺陷的類型進(jìn)行準(zhǔn)確快速的芯片分類，其中包括對側(cè)壁裂縫這一新缺陷類型（影響高端封裝良率）的檢測,。這兩款全新檢測系統(tǒng)加入KLA-Tencor缺陷檢測,、量測和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)的產(chǎn)品系列，將進(jìn)一步協(xié)助提高封裝良率以及芯片分類精度,。
“隨著芯片縮小的速度逐漸放緩,，芯片封裝技術(shù)的進(jìn)步已成為推動元件性能的重要因素，”KLA-Tencor高級副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella表示,， “針對不同的元件應(yīng)用,，封裝芯片需要同時滿足各種元件性能、功耗,、外形尺寸和成本的目標(biāo),。因此，封裝設(shè)計更加復(fù)雜多樣,，具有不同的2D和3D結(jié)構(gòu),，并且每一代都更加密集而且尺寸更小。與此同時,，封裝芯片的價值在大幅增長,，電子制造商對于產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性的期望也在不斷地提升。為了滿足這些期望,，無論是芯片制造廠的后道工序還是在外包裝配測試（OSAT）的工廠,，封裝廠商都需要靈敏度和成本效益更高的檢測、量測和數(shù)據(jù)分析,，同時需要更準(zhǔn)確地識別殘次品,。我們的工程團(tuán)隊(duì)因而開發(fā)出全新Kronos 1080和ICOS F160系統(tǒng),，可以針對各種封裝類型，滿足電子行業(yè)對于適合量產(chǎn)的缺陷檢測不斷增長的需求,?！?/p>
Kronos 1080系統(tǒng)旨在檢測先進(jìn)晶圓級封裝工藝步驟，為在線工藝控制提供各種缺陷類型的信息,。先進(jìn)封裝技術(shù)必然包含更小的特征,、更高密度的金屬圖案和多層再分布層 - 所有這些都對檢測不斷地提出更高要求，并要求創(chuàng)新的解決方案,。 Kronos系統(tǒng)采用多模光學(xué)系統(tǒng)和傳感器以及先進(jìn)的缺陷檢測算法,，從而實(shí)現(xiàn)了領(lǐng)先業(yè)界的性能。 Kronos系統(tǒng)還引入了FlexPointTM,，一項(xiàng)源自KLA-Tencor領(lǐng)先的IC芯片制造檢測解決方案的先進(jìn)技術(shù),。 FlexPoint將檢測集中在芯片的關(guān)鍵區(qū)域，因?yàn)檫@些區(qū)域內(nèi)的缺陷會產(chǎn)生最大的影響,。靈活的晶圓處理能夠檢測高度扭曲晶圓,，這經(jīng)常會出現(xiàn)這扇出型晶圓級封裝中 – 該封裝工藝對移動應(yīng)用已是常規(guī)技術(shù)，并且是網(wǎng)絡(luò)和高性能計算應(yīng)用中的新興技術(shù),。
晶圓級封裝通過測試和切割之后,，ICOS F160執(zhí)行檢測和芯片分類。高端封裝（如移動應(yīng)用）的制造商,，將受益于該系統(tǒng)的新功能 -- 檢測激光溝槽,、發(fā)絲裂縫和側(cè)壁裂縫。這是由密集金屬布線上的所采用的新絕緣材料引起的,，改變絕緣材料是為了提高速度并降低功耗,。新材料易碎，使其在晶圓切割過程中容易出現(xiàn)裂縫,。眾所周知,，側(cè)壁裂縫非常難以檢測，因?yàn)樗鼈兇怪庇谛酒砻?，因而無法用傳統(tǒng)的目測檢測發(fā)現(xiàn),。 ICOS F160系統(tǒng)的靈活性也是其另外一優(yōu)勢，使其有利于許多封裝類型：輸入和輸出模式可以是晶圓,、托盤或磁帶,。系統(tǒng)可以輕松地從一種設(shè)置改換到另一種設(shè)置。其自動校準(zhǔn)和精密芯片攫取也有助于提高批量制造環(huán)境中的設(shè)備利用率,。
Kronos 1080和ICOS F160系統(tǒng)是KLA-Tencor封裝解決方案系列產(chǎn)品的一部分,，旨在滿足各種IC封裝類型的檢測、量測,、數(shù)據(jù)分析和芯片分類的需求,。該系列產(chǎn)品包括CIRCL?-AP全表面晶圓檢測系統(tǒng),，用于晶圓和面板的Zeta-580/680 3D量測系統(tǒng)，ICOS? T890,，T3和T7系列元件檢測和量測系統(tǒng),，以及Klarity? 數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)。