禁帶寬度是半導體材料的一個重要特征參量,其大小主要決定于半導體的能帶結構,。禁帶越寬,,意味著電子躍遷到導帶所需的能量越大,也意味著材料能承受的溫度和電壓越高,,越不容易成為導體,;禁帶越窄,意味著電子躍遷到導帶所需的能量越小,,也意味著材料能承受的溫度和電壓越低,,越容易成為導體。
圖 主要半導體材料的禁帶寬度與吸收邊波長
根據(jù)半導體材料的禁帶寬度的不同,,可分為寬禁帶半導體材料和窄禁帶半導體材料,。若禁帶寬度Eg< 2.3eV(電子伏特),則稱為窄禁帶半導體,,如鍺(Ge),、硅(Si)、砷化鎵(GaAs)以及磷化銦(InP),;若禁帶寬度Eg>2.3eV則稱為寬禁帶半導體,,如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN),、H碳化硅(HSiC),、H碳化硅(HSiC)、氮化鋁(AlN)以及氮化鎵鋁(ALGaN)等,。寬禁帶半導體材料具有禁帶寬度大,、擊穿電場強度高、飽和電子漂移速度高,、熱導率大,、介電常數(shù)小、抗輻射能力強以及良好的化學穩(wěn)定性等特點,,非常適合于制作抗輻射,、高頻,、大功率和高密度集成的電子器件。
隨著硅(Si)與化合物半導體材料(GaAs,、GaP,、InP等)在光電子、電力電子和射頻微波等領域器件性能的提升面臨瓶頸,,不足以全面支撐新一代信息技術的可持續(xù)發(fā)展,,難以應對能源與環(huán)境面臨的嚴峻挑戰(zhàn),寬禁帶半導體材料迎來廣闊的發(fā)展機遇,。
在寬禁帶半導體材料中,SiC和GaN最受關注,,由于其寬帶隙特性可以進一步提高功率器件的性能,,因此尤其受到功率半導體市場的青睞。據(jù)預測,, SiC和GaN功率半導體市場規(guī)模將在2020年達到近10億美元,,主要推動力來自混合動力及電動汽車、電力和光伏逆變器等方面的需求,。市場的滲透也在增長,,特別是在中國,肖特基二極管,、MOSFET,、結柵場效應晶體管(JFET)和其他SiC分立器件已經(jīng)出現(xiàn)在量產(chǎn)汽車DC-DC轉換器、車載電池充電器之中,。
在應用上,,SiC 和GaN的優(yōu)勢也是互補的。GaN擁有更高的熱導率和更成熟的技術,,而GaN 直接躍遷,、高電子遷移率和飽和電子速率、成本更低的優(yōu)點則使其擁有更快的研發(fā)速度,。兩者的不同優(yōu)勢決定了應用范圍上的差異,。SiC的市場應用偏向高頻小電力領域,集中在1000V以下,;而SiC 適用于1200V 以上的高溫大電力領域,,兩者的應用領域覆蓋了新能源汽車、光伏,、機車牽引,、智能電網(wǎng)、節(jié)能家電,、通信射頻等大多數(shù)具有廣闊發(fā)展前景的新興應用市場,。
與GaN 相比,,SiC熱導率是GaN 的三倍以上,在高溫應用領域更有優(yōu)勢,;同時SiC單晶的制備技術相對更成熟,,所以SiC 功率器件的種類遠多于GaN。 但是GaN并不完全處于劣勢,,甚至被稱為SiC器件獲得成長的最大抑制因素,。隨著GaN制造工藝在不斷進步,在GaN-on-Si外延片上制造的GaN器件具有相當?shù)偷某杀?,比在SiC晶片上制造任何產(chǎn)品都更為容易,。由于這些原因,GaN晶體管可能會成為2020年代后期逆變器中的首選,,優(yōu)于較昂貴的SiC MOSFET,。數(shù)據(jù)顯示,2023年全球GaN器件市場規(guī)模將達到224.7億美元,。
基于SiC,、GaN功率器件的前景可期,已吸引眾多公司進入這一市場,,英飛凌,、恩智浦、安森美,、ST,、德州儀器、羅姆,、TDK,、松下、東芝,、等實力選手也紛紛加入戰(zhàn)局,。在國內(nèi)電源管理IC廠商中,也有包括矽力杰,、晶豐,、士蘭微、芯朋微,、東科,、比亞迪等戰(zhàn)將,但顯然這一市場仍以日美歐廠商為主角,。
我國早已經(jīng)在大力扶持第三代半導體產(chǎn)業(yè),。2016年國務院就出臺了《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》,明確提出以第三代半導體材料等為核心,搶占先進電子材料技術的制高點,。