全球一號代工廠臺積電宣布了有關極紫外光刻(EUV)技術的兩項重磅突破,一是首次使用7nm EUV工藝完成了客戶芯片的流片工作,,二是5nm工藝將在2019年4月開始試產,。今年4月開始,臺積電第一代7nm工藝(CLN7FF/N7)投入量產,,蘋果A12,、華為麒麟980、高通“驍龍855”,、AMD下代銳龍/霄龍等處理器都正在或將會使用它制造,,但仍在使用傳統(tǒng)的深紫外光刻(DUV)技術。
而接下來的第二代7nm工藝(CLNFF+/N7+),,臺積電將首次應用EUV,,不過僅限四個非關鍵層,以降低風險,、加速投產,,也借此熟練掌握ASML的新式光刻機Twinscan NXE。
7nm EVU相比于7nm DUV的具體改進公布得還不多,,臺積電只說能將晶體管密度提升20%,,同等頻率下功耗可降低6-12%。
如今在7nm EUV工藝上成功完成流片,,證明了新工藝新技術的可靠和成熟,,為后續(xù)量產打下了堅實基礎。
臺積電沒有透露這次流片成功的芯片來自哪家客戶,,但是想想各家和臺積電的合作關系,,其實不難猜測。
7nm之后,臺積電下一站將是5nm(CLN5FF/N5),,將在多達14個層上應用EUV,,首次全面普及,號稱可比初代7nm工藝晶體管密度提升80%從而將芯片面積縮小45%,,還可以同功耗頻率提升15%,,同頻功耗降低20%。
2019年4月,,臺積電的5nm EUV工藝將開始風險性試產,,量產則有望在2020年第二季度開始,正好滿足后年底各家旗艦新平臺,。
臺積電5nm工藝的EDA設計工具將在今年11月提供,,因此部分客戶應該已經開始基于新工藝開發(fā)芯片了。
隨著半導體工藝的急劇復雜化,,不僅開發(fā)量產新工藝的成本大幅增加,,開發(fā)相應芯片也越來越費錢,目前估計平均得花費1.5億美元,,5nm時代可能要2-2.5億美元,。
然而,Intel剛發(fā)布的秋季桌面平臺仍然都是14nm,,而拖延已久的10nm要到明年才能量產,,7nm則是遙遙無期,5nm就更別提了,。